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公司代码:688138 公司简称:清溢光电深圳清溢光电股份有限公司
重要提示
一、 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实、准确、完整,不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏,并承担个别和连带的法律责任。
二、 重大风险提示
公司已在本报告中详细描述了存在风险因素,敬请查阅第三节“管理层讨论与分析”中关于风险因素的内容。
三、 公司全体董事出席董事会会议。
四、 本半年度报告未经审计。
五、 公司负责人唐英敏、主管会计工作负责人吴克强及会计机构负责人(会计主管人员)熊
成春声明:保证半年度报告中财务报告的真实、准确、完整。
六、 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案无
七、 是否存在公司治理特殊安排等重要事项
□适用 √不适用
八、 前瞻性陈述的风险声明
√适用 □不适用
本报告涉及未来计划等前瞻性陈述,不构成公司对投资者的实质承诺,请投资者注意投资风险。
九、 是否存在被控股股东及其关联方非经营性占用资金情况否
十、 是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况?否
十一、 是否存在半数以上董事无法保证公司所披露半年度报告的真实性、准确性和完整性否
十二、 其他
□适用 √不适用
目录
第一节 释义 .............................................. 4
第二节 公司简介和主要财务指标 ..................................... 6
第三节 管理层讨论与分析 ........................................ 9
第四节 公司治理 ........................................... 35
第五节 环境与社会责任 ........................................ 36
第六节 重要事项 ........................................... 42
第七节 股份变动及股东情况 ...................................... 63
第八节 优先股相关情况 ........................................ 68
第九节 债券相关情况 ......................................... 68
第十节 财务报告 ........................................... 69载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人(会计主管人员)签名并盖章的财务报表
备查文件目录 载有公司法定代表人签字和公司盖章的半年度报告全文和摘要。
报告期内在中国证监会指定网站上公开披露过的所有公司文件的正本及公告的原稿。
第一节 释义
在本报告书中,除非文义另有所指,下列词语具有如下含义:
常用词语释义
发行人、清溢光电、公 指 深圳清溢光电股份有限公司司、本公司控股股东、香港光膜、 指 光膜(香港)有限公司,2006 年 12 月 7 日由美维科技集团有香港光膜公司 限公司更名而来
实际控制人 指 唐英敏、唐英年招股说明书 指 深圳清溢光电股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书
苏锡光膜 指 苏锡光膜科技(深圳)有限公司,公司第二大股东,为香港光膜全资子公司
常裕光电 指 常裕光电(香港)有限公司,公司全资子公司合肥清溢 指 合肥清溢光电有限公司,公司全资子公司京东方 指 京东方科技集团股份有限公司(A 股上市公司,股票代码000725)及其子公司的统称,公司客户天马 指 天马微电子股份有限公司(A股上市公司,股票代码 000050)及其子公司的统称,公司客户维信诺 指 维信诺科技股份有限公司(A股上市公司,股票代码 002387)及其子公司的统称,公司客户信利 指 信利半导体有限公司,信利光电股份有限公司,信利(惠州)智能显示有限公司,信利电子有限公司以及信利(仁寿)高端显示科技有限公司的统称,公司客户华星光电 指 TCL 华星光电技术有限公司(原深圳市华星光电技术有限公司)、武汉华星光电半导体显示技术有限公司、深圳市华星光电半导体显示技术有限公司、武汉华星光电技术有限公司的统称,公司客户群创光电 指 群创光电股份有限公司,中国台湾上市公司(股票代码 3481),公司客户
瀚宇彩晶 指 瀚宇彩晶股份有限公司,中国台湾上市公司(股票代码 6116),公司客户
龙腾光电 指 昆山龙腾光电股份有限公司(A股上市公司,股票代码 688055)及其子公司,公司客户艾克尔 指 艾克尔国际科技股份有限公司(美股上市公司,股票代码 AMKR)及其子公司的统称,公司客户颀邦科技 指 颀邦科技股份有限公司,中国台湾上市公司(股票代码:6147),公司客户长电科技 指 江苏长电科技股份有限公司,A 股上市公司(股票代码:600584),公司客户中芯国际 指 中芯国际集成电路制造有限公司,上市公司(港股股票代码:0981、A股股票代码:688981),公司客户士兰微 指 杭州士兰微电子股份有限公司,A 股上市公司(股票代码:600460),公司客户英特尔 指 Intel Corporation,美股上市公司(股票代码:INTC),公司客户
和辉光电 指 上海和辉光电股份有限公司,A股上市公司(股票代码 688538),公司客户Mycronic AB 指 Mycronic AB,公司设备供应商,瑞典上市公司(股票代码MYCR),生产的光刻机全球范围内领先股东大会 指 深圳清溢光电股份有限公司股东大会
董事会 指 深圳清溢光电股份有限公司董事会
监事会 指 深圳清溢光电股份有限公司监事会
公司章程 指 公司现行有效的《深圳清溢光电股份有限公司章程》
本次发行 指 公司首次公开发行人民币普通股的行为
股票、A股 指 首次公开发行的每股面值人民币 1.00 元的人民币普通股保荐机构 指 广发证券股份有限公司
中国证监会 指 中国证券监督管理委员会
上交所、交易所 指 上海证券交易所上市 指 公司股票在上海证券交易所科创板挂牌交易
报告期 指 2021 年 1 月 1 日至 2021 年 6 月 30 日
元、万元 指 人民币元、人民币万元掩膜版 指 掩膜版(Photomask)又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等,是微电子制造过程中的图形转移工具或母版,用于下游电子元器件行业批量复制生产。掩膜版在生产中起到承上启下的关键作用,是产业链中不可或缺的重要环节TFT 指 TFT(Thin Film Transistor)是薄膜晶体管的缩写。液晶显示器上的每一液晶像素点都是由集成在其后的薄膜晶体管来驱动。从而可以做到高速度高亮度高对比度显示屏幕信息,TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)是多数液晶显示器的一种
AMOLED 指 有源矩阵有机发光二极体面板。相比传统的液晶面板,AMOLED(Active-Matrix Organic Light-Emitting Diode)具有
反应速度较快、对比度更高、视角较广等特点半导体 指 半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。半导体的分类,按照其制造技术可以分为:集成电路器件,分立器件、光电半导体、逻辑 IC、模拟 IC、储存器等大类
IC 指 又称集成电路,英文为 Integrated Circuit,是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构
LTPS 指 LTPS(Low Temperature Poly-silicon)即低温多晶硅技术,是运用于 TFT-LCD 和 AMOLED 面板的一种技术,该技术具有高分辨率、反应速度快、高开口率等优点
第三代半导体 指 第三代半导体材料以氮化镓、碳化硅、氧化锌、金刚石等为代
表具有更宽的禁带宽度、更高的导热率、更高的抗辐射能力、更大的电子饱和漂移速率等特性,可以实现更好的电子浓度和运动控制,更适合于制作高温、高频、抗辐射及大功率电子器件
IGZO 指 IGZO(indium gallium zinc oxide)为铟镓锌氧化物的缩写,非晶 IGZO材料是用于新一代薄膜晶体管技术中的沟道层材料
是金属氧化物(Oxide)面板技术的一种
MicroLED 指 MicroLED 显示技术是指以自发光的微米量级的 LED 为发光像素单元,将其组装到驱动面板上形成高密度 LED阵列的显示技术
第二节 公司简介和主要财务指标
一、 公司基本情况
公司的中文名称 深圳清溢光电股份有限公司
公司的中文简称 清溢光电
公司的外文名称 Shenzhen Qingyi Photomask Limited
公司的外文名称缩写 SQM
公司的法定代表人 唐英敏
公司注册地址 深圳市南山区朗山二路北清溢光电大楼
公司注册地址的历史变更情况 无
公司办公地址 深圳市南山区朗山二路北清溢光电大楼
公司办公地址的邮政编码 518053
公司网址 http://www.supermask.com
电子信箱 qygd@supermask.com
报告期内变更情况查询索引 无
二、 联系人和联系方式董事会秘书(信息披露境内代 证券事务代表表)
姓名 秦莘 刘元
联系地址 深圳市南山区朗山二路北清溢 深圳市南山区朗山二路北清溢
光电大楼 光电大楼
电话 0755-86359868 0755-86359868
传真 0755-86352266 0755-86352266
电子信箱 qygd@supermask.com qygd@supermask.com
三、 信息披露及备置地点变更情况简介
公司选定的信息披露报纸名称 《中国证券报》、《上海证券报》 、《证券时报》、《证券日报》
登载半年度报告的网站地址 www.sse.com.cn
公司半年度报告备置地点 公司证券事务部
报告期内变更情况查询索引 不适用
四、 公司股票/存托凭证简况
(一) 公司股票简况
√适用 □不适用公司股票简况
股票种类 股票上市交易所 股票简称 股票代码 变更前股票简称及板块
A股 上海证券交易所 清溢光电 688138 /科创板
(二) 公司存托凭证简况
□适用 √不适用
五、 其他有关资料
√适用 □不适用
名称 天健会计师事务所(特殊普通合伙)公司聘请的会计师事务所
办公地址 杭州市江干区钱江路 1366 号华润大厦 B座(境内)
签字会计师姓名 金顺兴、李鑫名称 广发证券股份有限公司
办公地址 广东省广州市天河区马场路 26 号广发证券
报告期内履行持续督导职责 大厦
的保荐机构 签字的保荐代表 万小兵、王锋人姓名
持续督导的期间 2019 年 11 月 20 日-2022 年 12 月 31 日
六、 公司主要会计数据和财务指标
(一) 主要会计数据
单位:元 币种:人民币本报告期比上本报告期
主要会计数据 上年同期 年同期增减
(1-6月)
(%)
营业收入 227573063.49 261318881.59 -12.91
归属于上市公司股东的净利润 20704048.31 39502929.44 -47.59归属于上市公司股东的扣除非经常
15537525.42 36905740.33 -57.90性损益的净利润
经营活动产生的现金流量净额 39828575.69 87285683.67 -54.37本报告期末比
本报告期末 上年度末 上年度末增减
(%)
归属于上市公司股东的净资产 1174929734.98 1178237686.67 -0.28
总资产 1487707076.20 1425066322.85 4.40
(二) 主要财务指标
本报告期 本报告期比上年同期
主要财务指标 上年同期
(1-6月) 增减(%)
基本每股收益(元/股) 0.08 0.15 -46.67
稀释每股收益(元/股) 0.08 0.15 -46.67扣除非经常性损益后的基本每股收
0.06 0.14 -57.14益(元/股)
加权平均净资产收益率(%) 1.76 3.49 减少1.73个百分点扣除非经常性损益后的加权平均净
1.32 3.26 减少1.94个百分点
资产收益率(%)
研发投入占营业收入的比例(%) 7.75 3.97 增加3.78个百分点公司主要会计数据和财务指标的说明
√适用 □不适用
归属于上市公司股东的净利润同比下降 47.59%,一是本期子公司合肥清溢同比去年增加亏损 1204.97 万元,合肥清溢在二季度已正式投产,相应的折旧费用及运营成本增加,由于产能爬坡需要时间及磨合,第二季度产销规模尚较低,造成整个上半年出现亏损;二是母公司整体产销规模有所下滑,受新冠疫情影响,平板显示行业订单出现一定程度的下滑,虽然公司在半导体芯片行业的订单持续增长,但整体产销规模仍然有所下降,造成母公司利润也有所下滑。
经营活动产生的现金流量净额同比下降 54.37%,主要系本期收到的客户回款及政府补助款减少所致。
基本每股收益(元/股)同比下降 46.67%,主要系本期净利润下降所致。
七、 境内外会计准则下会计数据差异
□适用 √不适用
八、 非经常性损益项目和金额
√适用 □不适用
单位:元 币种:人民币
非经常性损益项目 金额 附注(如适用)
非流动资产处置损益 -350991.66越权审批,或无正式批准文件,或偶发性的税收返还、减免
计入当期损益的政府补助, 6330268.21但与公司正常经营业务密切相关,符合国家政策规定、按照一定标准定额或定量持续享受的政府补助除外计入当期损益的对非金融企业收取的资金占用费
企业取得子公司、联营企业及合营企业的投资成本小于取得投资时应享有被投资单位可辨认净资产公允价值产生的收益非货币性资产交换损益委托他人投资或管理资产的损益
因不可抗力因素,如遭受自然灾害而计提的各项资产减值准备债务重组损益
企业重组费用,如安置职工的支出、整合费用等交易价格显失公允的交易产生的超过公允价值部分的损益同一控制下企业合并产生的子公司期初至合并日的当期净损益与公司正常经营业务无关的
或有事项产生的损益除同公司正常经营业务相关
的有效套期保值业务外,持有交易性金融资产、衍生金融资产、交易性金融负债、衍生金融负债产生的公允价值变动损益,以及处置交易性金融资产、衍生金融资产、交易性金融负债、衍生金融负债和其他债权投资取得的投资收益单独进行减值测试的应收款
项、合同资产减值准备转回对外委托贷款取得的损益采用公允价值模式进行后续计量的投资性房地产公允价值变动产生的损益
根据税收、会计等法律、法规的要求对当期损益进行一次性调整对当期损益的影响受托经营取得的托管费收入
除上述各项之外的其他营业 12799.67外收入和支出其他符合非经常性损益定义的损益项目少数股东权益影响额
所得税影响额 -825553.33
合计 5166522.89
九、 非企业会计准则业绩指标说明
□适用 √不适用
第三节 管理层讨论与分析
一、 报告期内公司所属行业及主营业务情况说明
(一) 主要业务、主要产品或服务情况
公司主要从事掩膜版的研发、设计、生产和销售业务,是国内成立最早、规模最大的掩膜版生产企业之一。公司的主要产品为掩膜版(Photomask),又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等,是下游行业产品制造过程中的图形“底片”转移用的高精密工具,是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。掩膜版用于下游电子元器件制造业批量生产,是下游行业生产流程的关键模具,是下游产品精度和质量的决定因素之一。报告期内,公司主营业务及产品未发生重大变化。
公司生产的掩膜版产品根据基板材质的不同主要可分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)。产品主要应用于平板显示、半导体芯片、触控、电路板等行业,是下游行业产品制程中的关键工具。
(二) 主要经营模式
报告期内,公司主要经营模式未发生变化,详细情况请参见公司 2020 年年报披露部分。
(三) 所处行业情况
1. 公司所属行业的发展阶段、周期性特点以及公司所处的行业地位1)平板显示市场
新冠疫情改变了全球的购物消费、休闲娱乐和学习工作等生活方式,影响了全球平板显示行业需求和供应端的短周期波动。平板显示业长期发展呈现像素高精度化、尺寸大型化、竞争白热化、转移加速化、产品定制化等特点。受益于电视平均尺寸增加,大屏手机、车载显示和公共显示等需求的拉动,根据 Omdia 2020 年 9 月预测,2018 年-2027 年全球新型显示面板需求面积的复合年增长率(CAGR)预计将达 4%。
我国平板显示产业集中度进一步提高,京津唐、长三角、珠三角以及成渝鄂等四大产业聚集区都拥有高精度、高世代线。我国平板显示产业呈现以下特征:①产业规模持续扩大,自给能力稳步提升,市场占有率持续增长,中国大陆已经成为全球面板产能最多的地区。根据 Omdia 2021年预计,中国大陆 TFT-LCD 面板产能全球占比由 2014 年 18%增长到 2025 年 74%,AMOLED 产能全球占比由 2014 年 1%增长到 2025 年 47%。②技术水平进一步提高,量产进程稳步推进。多条AMOLED/LTPS 生产线建设进展顺利,京东方、华星光电、天马、维信诺、和辉光电等企业在AMOLED/LTPS 高分辨率、折叠屏、全面屏、高饱和度等新技术上加大投入。③本土产业链不断完善,配套体系逐步形成,平板显示产业上游设备和材料领域国产化率进一步提升。根据 Omdia 2020年 9 月统计分析,截至 2022 年,中国大陆 8.5 代及以上 TFT-LCD 工厂预计有 21 座,5.5 代以上工厂(LTPS、OLED、IGZO)预计有 21 座。 由于供应紧张、面板工厂利用率高、利润率高,促使许多面板厂商提高产能。
根据 Omdia 2021 年 7 月分析,2021 年平板显示行业掩膜版需求达到 944 亿日元。中国大陆平板显示行业对掩膜版产品尤其是高世代、高精度掩膜版产品的需求将持续增长。中国大陆平板显示行业掩膜版需求占全球市场比重,从 2016 年的 26%上升到 2020 年的 51%。高精度掩膜版是生产 AMOLED及高分辨率 TFT-LCD显示屏的关键要素,随着中国大陆 AMOLED/LTPS、高世代面板线的陆续投产,对高精度、大尺寸的掩膜版需求将大幅增加。中国大陆掩膜版的发展滞后于平板显示投资的增长,特别在 AMOLED/LTPS高精度掩膜版上国产化率不足,仍严重依赖进口,国产替代的空间巨大。未来随着相关产业进一步向国内转移,中国大陆平板显示行业掩膜版的需求将持续上升,预计到 2025 年,中国大陆平板显示行业掩膜版需求全球占比将达到 60%。
综上,报告期内及未来可预见的期间内,中国大陆的平板显示行业处于快速发展期,发展前景乐观,对掩膜版的需求持续增加。
2)半导体芯片市场
根据 IC Insights、WSTS等市场研究机构预测,2021 年 IC市场规模将增至 5000 亿美元以上,历史上首次突破 5000 亿美元。
中国大陆地区半导体行业起步较晚,在政策支持、市场拉动及资本推动等因素合力下,中国大陆半导体行业不断发展。受全球半导体产品需求旺盛影响,中国集成电路产业继续保持稳定增长态势。中国半导体行业协会统计,2021 年 1-6 月中国集成电路产业销售额为 4103 亿元,同比增长 16%。其中,设计业同比增长 19%,销售额为 1766 亿元;制造业同比增长 21%,销售额为1172 亿元;封装测试业同比增长 7.6%,销售额 1165 亿元。根据海关统计,2021 年 1-6 月中国进口集成电路 3123 亿块,同比增长 29%;进口金额 1979 亿美元,同比增长 28%。出口集成电路1514 亿块,同比增长 39%;出口金额 664 亿美元,同比增长 32%。
未来,半导体芯片产能将进一步向中国大陆转移,在智能汽车、人工智能、存储器市场、物联网、5G通信、光伏并网等领域快速发展的带动下,半导体芯片产业迎来新一轮的发展高潮。
据 Yole的研究,碳化硅器件市场收入继续增长,预计到 2025 年将超过 30 亿美元。在 GaN 射频器件市场,到 2025 年 GaN 射频器件市场总额将超过 20 亿美元。Yole 分析 2019 年至 2025年间的复合年增长率为 12%。目前第三代半导体已实现 6 英寸产线量产,正升级到 8 英寸产线。
根据 SEMI 2021 年 5 月最新报告显示,全球半导体制造商有望从 2020 年到 2024 年将 200mm晶圆厂的产能提高 17%,达到每月 660 万片晶圆的历史新高。200mm Fab Outlook Report 显示,在同一时期,晶圆制造商将增加 22 个新的 200mm Fab厂,产品涵盖了 IC、MOSFET、微控制器单元和传感器、电源管理和显示驱动器等,以帮助满足对 5G、汽车和物联网(IoT)设备不断增长的需求。 2021 年,中国大陆将以 200mm的产能居全球领先地位,其市场份额将达到 18%,其次是日本和中国台湾地区,分别达到 16%。中国大陆半导体芯片产业生产线的投资布局将进一步拓展,半导体芯片相关产品技术将继续加快变革,中国大陆半导体芯片、第三代半导体芯片、MicroLED芯片、半导体先进封装领域均有望实现突破。
根据 SEMI在 SEMICON Japan 2020 年 12 月的分析报告,2019 年全球半导体芯片用掩膜版市场规模 41 亿美元,预计 2022 年市场规模将达到 44 亿美元。受益于过去几年中国大陆半导体制造的快速发展,中国大陆半导体芯片用掩膜版市场规模出现快速增长的趋势。
综上,报告期及未来可预见的期间内,中国大陆半导体芯片行业处于快速发展期,半导体芯片行业用掩膜版市场空间巨大。
3)公司所处的行业地位分析及其变化情况
根据 Omdia 2021 年 7 月分析,2020 年全球平板显示掩膜版企业销售金额排名如下:
排名 公司 备注
第 1 名 PKL 母公司福尼克斯为美国上市公司,股票代码:PLAB第 2 名 SKE 日本上市公司,股票代码:6677第 3 名 HOYA 日本上市公司,股票代码:7741第 4 名 LG-IT 韩国上市公司,股票代码:011070第 5 名 清溢光电 中国大陆公司
第 6 名 DNP 日本上市公司,股票代码:7912根据 Omdia 2021 年 7 月统计的 2020 年全球平板显示掩膜版企业销售金额排名,公司位列全
球第五名,相较 2019 年上升一名。公司产品和技术在业内有相应的知名度,受到下游客户的认可,整体市场地位较高。
2. 报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势随着新一代信息技术的发展,消费者对显示产品的要求逐步提高,手机、平板电脑等移动终端向着更高清、色彩度更饱和、更轻薄化发展,终端产品对半导体芯片和平板显示掩膜版等下游运用方面提出了更高的技术和精度要求,线缝精度要求越来越高。如近年来微型发光二极管MicroLED因其发光效率高和显示效果好而被认为是具有潜力的下一代显示技术,但由于技术难点较多,成本高,距离量产仍需时间。 在 MicroLED 技术开发期,Mini LED 作为折中技术率先推出,有望在背光端和直显端重塑产业格局。根据 Omdia 预测,全球 Mini LED 背光 TV 产品销量将由 2019 年的 400 万台增长至 2025 年的 5280 万台,年均复合增速 54%。2025 年MicroLED显示器出货量将达 500 万片,产生 70 亿美元的收入。到 2027 年,市场将增长到超1100 万台。随着下游行业的产品和技术更新升级,掩膜版行业也涌现出诸多新技术,用以支持更高端产品的生产,例如 AMOLED/LTPS用掩膜版生产技术、FMM用掩膜版生产技术、MicroLED/Mini LED芯片技术、3D厚胶生产技术、4K/8K高分辨率显示屏掩膜版生产技术以及平板显示用HTM、PSM等先进的掩膜版工艺技术。
近年来,随着半导体芯片和新型平板显示等新一代信息技术产业的快速发展,产业内出现更多新兴的需求,如低温多晶硅(LTPS)、金属氧化物(IGZO)、有源矩阵有机发光二极体
(AMOLED)、MicroLED显示、硅基半导体显示、第三代半导体等技术均需要更高要求的掩膜版产品与之配套。
1)掩膜版行业未来发展趋势
掩膜版行业的发展主要受下游平板显示行业、半导体芯片行业、触控行业和电路板行业的发展影响,与下游终端行业的主流消费电子(手机、平板、可穿戴设备)、笔记本电脑、车载电子、网络通信、家用电器、LED照明、物联网、医疗电子等产品的发展趋势密切相关,未来几年掩膜版将向更高精度和全产业链方向发展。
(1)掩膜版产品精度趋向精细化
在半导体方面,目前境内主流先进制造工艺为 28nm工艺,境外主流为 14nm,台积电已试产3nm,未来集成电路的制造工艺将进一步精细化工艺发展,这对与之配套的半导体芯片及封装用掩膜版提出了更高要求,对线缝精度的要求越来越高。第三代半导体方面,以 4 英寸、6 英寸为主,逐步扩展到 8 英寸产线,其成熟制造工艺为 0.5μm 工艺,正逐步升级 0.13μm 工艺。
随着消费者对显示产品的要求逐步提高,手机、平板电脑等移动终端向着更高清、色彩度更饱和、更轻薄化发展。对平板显示掩膜版的半导体层、光刻分辨率、最小过孔、CD均匀性、套合精度、缺陷大小、洁净度均提出了更高的技术要求。根据 Omdia对 2020 年至 2022 年平板显示掩膜版技术路线分析,除了降低允许缺陷尺寸,其他技术指标保持稳定。
综上,未来掩膜版产品的精度将趋向精细化。
(2)掩膜版产品尺寸趋向稳定
自 2007 年液晶电视开始占据主流市场后,其平均尺寸大约按照每年增加 1 英寸的速度平稳增长。根据 Omdia 2021 年预测,在 2019 年和 2022 年之间,LCD和 OLED电视平均尺寸预计将从45.6 英寸增加到 50.2 英寸。电视尺寸趋向大型化,国内面板基板从 2018 年开始稳定在 11 代2940 mm x3370 mm,平板显示行业掩膜版产品尺寸稳定在 1620 mm x1780 mm以内。
根据 Omdia 2021 年 7 月报告,2016 年全球 8.6 代及以下平板显示行业掩膜版的销售额为620 亿日元,占全球平板显示行业掩膜版销售额的比例为 92%;2020 年 8.6 代及以下平板显示行业掩膜版的销售收入为 824 亿日元,占全球平板显示行业掩膜版销售额的比例为 91%。预计 2025年 8.6 代及以下全球平板显示行业掩膜版销售收入为 972 亿日元,占全球平板显示行业掩膜版销售额的比例为 88%,8.6 代及以下平板显示行业用掩膜版需求保持稳定增长。
数据来源:Omdia 2021 年
(3)掩膜版行业产业链向上游拓展
掩膜版的主要原材料为掩膜版基板。同时,随着掩膜版行业下游客户对其最终产品的品质要求不断提高,促使掩膜版企业不断追求产品品质上的突破,而掩膜版基板的质量,对掩膜版产品最终品质具有重大影响。因此,从降低原材料采购成本和控制终端产品质量出发,掩膜版企业陆续向上游产业链延伸,部分企业已经具备了研磨、抛光、镀铬、涂胶等掩膜版基板全产业链的生产能力,这不仅可以有效降低原材料的采购成本,而且能够有效提升掩膜版产品质量。未来掩膜版行业内具有一定实力的企业,将逐步向上游产业链拓展。
(四) 主营业务收入情况
主营业务收入情况,详见本报告中“第三节管理层讨论与分析”之“四、经营情况的讨论与分析” 。
二、 核心技术与研发进展
1. 核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况
公司主要依靠自主研发,在生产实践中不断完善和提高工艺技术水平。报告期内,公司共拥有 33 项核心工艺技术,具体情况如下:
序 技术 对应的专 是否属于成
核心技术 技术简介 应用
号 来源 利情况 熟技术
在 800mm×960mm的尺寸范围,实现最小线/间宽 获得降低8μm 图形的精度与缺陷控 光掩模板
3.5 代 Touch 成熟技术,制达到:线/间(CD)精 自主 条纹的方1 panel用大尺寸 触控 已应用于生
度=±0.75μm;总长 研发 法及装置
掩膜版制造技术 产(TP)精度=±1.5μm;允 1 项发明
许缺陷尺寸≤5.0μm。 专利该技术属国内先进。
获得液体感旋光性
液晶显 树脂凸版印刷 PI模厚偏差(固化示器 表面除粘
后):±30?;印刷 PI尺(LCD 方法、带 成熟技术,液体感旋光性树 寸偏差(单边): 自主2 )制造 凹槽的液 已应用于生
脂凸版技术 ±0.1mm。 研发过程中 体感旋光 产
该技术获得深圳市 2003
定向材 性树脂凸年科技进步三等奖。
料移印 版的制作
方法 2 项发明专利
获得 FPD掩膜版制作设备制
在 152.4mm×152.4mm的作尺寸范围,实现最小线/Reticle
间宽 1.5μm 图形的精度与
掩膜版的 成熟技术,IC Bumping用掩 缺陷控制达到:线/间 自主3 IC封装 方法、一 已应用于生膜版制造技术 (CD)精度=±0.1μm;总 研发
种 IC专用 产长(TP)精度=±0.2μm;
掩膜版上
允许缺陷尺寸≤2μm。
黑点类缺该技术属国际先进。
陷的修补
方法 2 项发明专利
在 520mm×800mm的尺寸 获得一种
5 代 a-Si TFT- 范围,实现最小线/间宽 TFT- 光刻机曝 成熟技术,自主
4 LCD用掩膜版制 2μm 图形的精度与缺陷控 LCD用 光系统及 已应用于生研发
造技术 制达到:线/间(CD)精 掩膜版 其控制方 产度=±0.35μm;总长 法、一种序 技术 对应的专 是否属于成
核心技术 技术简介 应用
号 来源 利情况 熟技术(TP)精度=±0.5μm;允 检版平台
许缺陷尺寸≤3.0μm。 的移动方该技术属国内先进。 法、检版平台移动装置及检
测系统、降低光掩模条纹的方法及装
置 3 项发明专利
在 850mm×1400mm的尺寸范围,实现最小线/间5.5 代 Touch 宽 8μm 图形的精度与缺陷成熟技术,Panel用超大尺 控制达到:线/间(CD) 大尺寸 自主 未单独申5 已应用于生
寸掩膜版制造技 精度=±0.75μm;总长 触控 研发 请专利产术 (TP)精度=±1.5μm;允
许缺陷尺寸≤5.0μm。
该技术属国内先进。
除 5 代 a-
Si TFT-
LCD用掩膜版制造技术使用
的 3 项专利外,还在 520mm×610mm的尺寸获得半灰范围,实现最小线/间宽阶掩模板
2μm 图形的精度与缺陷控
4.5 代及以下 AMOLED 半曝光区 成熟技术,制达到:线/间(CD)精 自主6 AMOLED用掩膜版 用掩膜 的设计方 已应用于生
度=±0.2μm;总长(TP) 研发
制造技术 版 法及其制 产
精度=±0.4μm;允许缺陷
造方法 1尺寸≤2μm。
项发明专该技术属国内先进。
利,一种旋覆与狭缝液帘配合的显影
设备 1 项实用新型专利
在 800mm×920mm的尺寸 除 5 代 a-范围,实现最小线/间宽 Si TFT-2μm 图形的精度与缺陷控 LCD用掩 成熟技术,5.5 代 LTPS用掩 LTPS用 自主
7 制达到:线/间(CD)精 膜版制造 已应用于生膜版制造技术 掩膜版 研发
度=±0.10μm;总长 技术使用 产(TP)精度=±0.30μm; 的 5 项专
允许缺陷尺寸≤1.0μm。 利外,还序 技术 对应的专 是否属于成
核心技术 技术简介 应用
号 来源 利情况 熟技术
该技术属国内先进。 获得降低光掩模板条纹的方法及装置
1 项发明专利
除 5 代 a-
Si TFT-
在 1220mm×1400mm的
LCD用掩尺寸范围,实现最小线/膜版制造
间宽 2μm 图形的精度与缺技术使用
陷控制达到:线/间8.5 代及以下 的 5 项专 成熟技术,
(CD)精度=±0.35μ;总 大尺寸 自主
8 TFT-LCD用掩膜 利外,还 已应用于生长(TP)精度 面板 研发
版制造技术 获得一种 产
=±0.50μm;允许缺陷尺通过加曝
寸≤3.0μm。
图形制作
该技术属国际水平,国内掩模板的先进。
方法 1 项发明专利获得激光气相沉积方式修补白缺陷的
方法、一种铬版修补胶及采
修(ZAP激光祛除黑缺用该铬版陷)/补(LCVD激光化学修补胶修 成熟技术,激光修补图形缺 气相沉积补白缺陷)最小 缺陷修 自主
9 补铬版白 已应用于生
陷技术 尺寸:2μm/3μm;精度达 补 研发缺陷的方 产
到 0.16μm/0.45μm。
法 2 项发该技术属国内先进。
明专利和一种半透膜掩模版
LCVD修补
系统 1 项实用新型专利获得一种显微镜透
线/间宽(CD)精度测 射照明系
量:重复精度 统、一种 成熟技术,线/间宽(CD)精 自主
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