中微公司:海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年度募集资金存放与使用情况的核查意见

海通证券股份有限公司
关于中微半导体设备（上海）股份有限公司
2021年度募集资金存放与使用情况的核查意见
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为中微半导
体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）首次公开发行股
票并在科创板上市及2020年度向特定对象发行A股股票项目的持续督导保荐机构，根据中国证监会《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则（2020年12月修订）》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》以及《上海证券交易所上市公司持续督导工作指引》等相关规定，对中微公司2021年度募集资金的存放和使用情况进行了核查，具体情况如下：
一、首次公开发行股票募集资金的基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到账情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》，中微半导体设备（上海）股份有限公司获准向境内投资者首次公开发行人民币普通股53486224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款以人民币缴足，计人民币155163.54万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8782.84万元后，实际收到募集资金计人民币146380.69万元，再扣除发行中介及其他发行费用人民币合计1810.41万元后，实际募集资金净额为人民币144570.28万元（以下简称“首发募集资金”），上述资金于2019年7月16日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2019）第0411号验资报告。
2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金中国证券监督管理委员会于2021年3月3日出具证监许可[2021]645号文《关
1于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》
核准了公司向特定对象发行80229335股人民币普通股A股股票。截至2021年6月
22日止，公司完成了人民币普通股A股80229335股的发行，每股发行价格为人民
币102.29元，股款以人民币缴足，合计人民币8206658677.15元，扣除承销及保荐费用共计人民币82066586.77元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币8124592090.38元，再扣除其他发行费用人民币合计6429649.24元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币8118162441.14元（以下简称“再融资募集资金”），上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资报告。
（二）募集资金使用和结余情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金截至2021年12月31日，公司首发募集资金专户余额为人民币4384.57万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
项目金额（万元）
首发募集资金专户年初余额16150.65
加：年初用于现金管理金额65263.86
首发募集资金年初余额81414.51
减：本年度直接投入募投项目-33000.38
加：募集资金利息收入扣减手续费净额2011.84
减：年末用于现金管理的金额-46041.40
首发募集资金专户年末余额4384.57
2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
截至2021年12月31日，公司再融资募集资金专户余额为人民币167701.42万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
项目金额（万元）
实际收到的再融资募集资金金额811816.24
减：本年度直接投入募投项目-32071.49
减：以自筹资金预先投入募集资金投资项目的置换金额-33105.97
加：募集资金利息收入扣减手续费净额4444.43
2加：尚未以募集资金支付的发行费用422.28
减：年末用于现金管理的金额-583804.08
再融资募集资金专户期末余额167701.42
二、募集资金存放与管理情况
（一）募集资金管理情况
中微公司已按照《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《关于进一步加强股份有限公司公开募集资金管理的通知》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》等相关规定的要求制定《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》，对募集资金实行专户存储制度，对募集资金的存放、使用、项目实施管理、投资项目的变更及使用情况的监督等进行了规定。该办法已经中微公司2019年度第一次临时股东大会审议通过。
1、2019年首次公开发行股票募集资金
截至2021年12月31日，尚未使用的首发募集资金存放专项账户的余额如下：
募集资金专户开户行账号存款方式余额（万元）
招商银行上海金桥支行121910890310602活期1577.64
中信银行上海浦东分行8110201014101024127活期1538.12
中国建设银行上海金桥支行31050161373600004844活期1268.81
总计4384.57
2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
截至2021年12月31日，尚未使用的再融资募集资金存放专项账户的余额如下：
再融资募集资金专户开户行账号存款方式余额（万元）
招商银行上海分行121910890310707活期81092.50
中信银行上海浦东分行8110201013601303837活期912.14
上海浦东发展银行张江科技支行97160078801900002862活期63668.42
中国建设银行上海金桥支行31050161373600006133活期22028.36
总计167701.42
（二）募集资金三方监管协议情况
根据上海证券交易所及有关规定的要求采取专户存储管理，中微公司及保荐
3机构已于2019年7月分别与首发募集资金专户的监管银行招商银行股份有限公司
上海金桥支行、中信银行股份有限公司上海分行及中国建设银行股份有限公司上
海浦东分行签订了《募集资金专户存储三方监管协议》。
中微公司及保荐机构于2021年4月分别与再融资募集资金专户的监管银行招
商银行股份有限公司上海分行、上海浦东发展银行股份有限公司张江科技支行、
中国建设银行股份有限公司上海浦东分行、中信银行股份有限公司上海分行签署
了《募集资金专户存储三方监管协议》。
三方监管协议与上海证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，且在
2021年度得到了切实履行。
三、2021年度募集资金的实际使用情况
（一）募集资金使用情况对照表公司2021年度募集资金实际使用情况对照表参见“附件1：首发募集资金使用情况对照表”和“附件2：再融资募集资金使用情况对照表”。
（二）募投项目的预先投入及置换情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
本报告期公司不存在募投项目预先投入或置换情况。
2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
2021年8月24日，公司第一届董事会第二十二次会议和第一届监事会第十六
次会议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用本次发行募集资金置换预先投入的自筹资金合计人民币33326.67万元，其中预先投入到募投项目的自筹资金为33105.98万元，预先支付发行费用的自筹资金为220.69万元。上述置换符合监管要求。
（三）使用闲置募集资金进行现金管理情况
公司为提高募集资金使用效益，将部分暂时闲置募集资金通过结构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产品等方式进
行现金管理，投资产品的期限不超过12个月。
41、2019年首次公开发行股票募集资金
2020年6月30日，公司第一届董事会第十三次会议及第一届监事会第九次会
议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意在不影响募集资金项目建设和募集资金使用的情况下，使用额度不超过100000万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限为该次自董事会审议通过之日起不超过12个月，在决议有效期内公司可在不超过上述额度及决议有效期内循环滚动使用，公司独立董事发表了明确同意的独立意见。
保荐机构于2021年4月27日出具了《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司使用闲置募集资金进行现金管理的核查意见》。
截至2021年12月31日，公司使用闲置首发募集资金进行现金管理的情况如下：
5金额（万是否期限收益（万受托方类型起止时间收益类型年化收益率
元）到期（天）元）
上海银行股份有限公司张江支行结构性存款8000.002021.9.23-2022.3.23保本浮动收益3.2000%是181126.95中国建设银行股份有限公司上海浦东
结构性存款20000.002021.10.13-2022.1.13保本浮动收益3.1500%是92158.79分行
招商银行股份有限公司上海金桥支行结构性存款8000.002021.11.05-2022.2.07保本浮动收益3.1500%是9464.90七天通知存
上海银行股份有限公司张江支行10000.002021.11.23保本固定收益2.1000%否不适用不适用款
62、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
2021年7月9日，公司第一届董事会第二十一次会议及第一届监事会第十五次
会议审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过8000000000元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自该次董事会审议通过起12个月内，在决议有效期内公司可在不超过上述额度及决议有效期内循环滚动使用。
截至2021年12月31日，公司使用闲置再融资募集资金进行现金管理的情况如下：
7金额收益
年化收是否期限受托方类型（万起止时间收益类型（万益率到期（天）元）元）
上海银行股份有限公司张江支行结构性存款300002021.7.22-2022.1.19保本浮动收益3.30%是181126.95
兴业银行股份有限公司上海分行结构性存款80002021.10.13-2022.1.20保本浮动收益3.12%是92158.79
中信银行股份有限公司上海分行结构性存款200002021.10.21-2022.1.17保本浮动收益3.05%是9464.90
中国光大银行股份有限公司上海分行结构性存款100002021.10.19-2022.1.19保本浮动收益3.15%是9278.75
中国建设银行股份有限公司上海浦东分行结构性存款500002021.11.3-2022.2.3保本浮动收益3.15%是92396.99
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行结构性存款400002021.11.01-2022.4.1保本浮动收益3.28%否151542.77
中信银行股份有限公司上海分行7天通知存款600002021.7.16保本固定收益2.100%否不适用不适用
国家开发银行股份有限公司上海市分行7天通知存款1300002021.7.16保本固定收益2.025%否不适用不适用
中国进出口银行上海分行7天通知存款400002021.7.16保本固定收益1.755%否不适用不适用
中国民生银行股份有限公司上海华山支行7天通知存款100002021.7.16保本固定收益2.100%否不适用不适用
中国光大银行股份有限公司上海分行7天通知存款70002021.7.16保本固定收益2.100%否不适用不适用
平安银行股份有限公司上海张江支行7天通知存款50002021.7.19保本固定收益2.100%否不适用不适用中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区
7天通知存款200002021.7.28保本固定收益1.850%否不适用不适用
新片区分行
中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行7天通知存款236002021.9.16保本固定收益1.850%否不适用不适用
国家开发银行股份有限公司上海市分行7天通知存款770652021.11.29保本固定收益2.03%否不适用不适用
中国银行股份有限公司南昌市青云谱支行7天通知存款50002021.7.22保本固定收益1.85%否不适用不适用
招商银行股份有限公司南昌高新支行7天通知存款426122021.7.22保本固定收益2.00%否不适用不适用
8中国建设银行股份有限公司南昌高新开发区
7天通知存款50002021.7.22保本固定收益1.61%否不适用不适用
支行
9四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
截至2021年12月31日，公司不存在变更募集资金投资项目的情况。
五、募集资金投资项目已对外转让或置换情况
截至2021年12月31日，公司不存在募集资金投资项目对外转让或置换情况。
六、募集资金使用及披露中存在的问题
公司已经披露的募集资金相关信息及时、真实、准确、完整；已使用的募集
资金均投向所承诺的募集资金投资项目，不存在违规使用募集资金的情形。
七、保荐机构核查工作
保荐代表人通过资料审阅、访谈沟通等多种方式，对中微公司的募集资金的存放、使用及募集资金投资项目实施情况进行了核查。主要包括：查阅公司募集资金存放银行对账单、募集资金使用凭证、中介机构相关报告、募集资金使用情
况的相关公告等资料，并与公司相关人员沟通交流等。
八、保荐机构核查意见经核查，保荐机构认为：公司2021年度募集资金的存放与使用符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则（2020年12月修订）》以及《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》等法律法规和规范性文件的规定；公司2021年度对募集资金进行了专户存储和专项使用，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形。公司本年度募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。
综上，保荐机构对中微公司2021年度募集资金存放与使用情况无异议。
（以下无正文）10（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年度募集资金存放与使用情况的核查意见》之签字盖章页）
保荐代表人签名：
吴志君孙剑峰海通证券股份有限公司年月日
11附件1：首发募集资金使用情况对照表：
金额单位：人民币万元
募集资金总额144570.28本年度投入募集资金总额33000.38
变更用途的募集资金总额-
已累计投入募集资金总额99983.48
变更用途的募集资金总额比例-截至期末截至期项目已变更累计投入末投入项目达可行项目，本年是否截至期末承截至期末金额与承进度到预定性是含部分募集资金承调整后投资本年度投度实达到
承诺投资项目诺投入金额累计投入诺投入金（%）可使用否发变更诺投资总额总额入金额现的预计
（1）金额（2）额的差额（4）＝状态日生重
（如效益效益
（3）＝（2）（2）/期大变
有）
-（1）（1）化高端半导体设不适不适
备扩产升级项无40000.0040000.0040000.0022770.9039991.03-8.9799.98%不适用否用用目技术研发中心不适不适
无40000.0040000.0040000.0010729.4839992.45-7.5599.98%不适用否建设升级项目用用不适不适
补充流动资金无20000.0020000.0020000.00-20000.00-100%不适用否用用
合计—100000.00100000.00100000.0033000.3899983.48-16.52—————
未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用。
项目可行性发生重大变化的情况说明不适用。
募集资金投资项目先期投入及置换情况本年度不存在募集资金投资项目先期投入及置换的情况。
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况本年度不存在以闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
12对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况详见“三、2021年度募集资金的实际使用情况（三）”
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。
募集资金结余的金额及形成原因本年度募集资金尚在投入过程中，不存在募集资金结余的情况。
募集资金其他使用情况不适用。
13附件2：再融资募集资金使用情况对照表：
金额单位：人民币万元
募集资金总额811816.24本年度投入募集资金总额65177.46
变更用途的募集资金总额-
已累计投入募集资金总额65177.46
变更用途的募集资金总额比例-已变更项截至期项目达项目可截至期末累计投目，含截至期末承截至期末累末投入到预定本年度是否达行性是募集资金承调整后投资本年度投入入金额与承诺投
承诺投资项目部分诺投入金额计投入金额进度（%）可使用实现的到预计否发生诺投资总额总额金额入金额的差额
变更（1）（2）（4）＝状态日效益效益重大变
（3）＝（2）-（1）
（如（2）（/1）期化有）中微产业化基
无317000.00317000.00317000.0038286.6338286.63-278713.3712.08%不适用不适用不适用否地建设项目中微临港总部
和研发中心项无375000.00375000.00375000.0026890.8326890.83-348109.177.17%不适用不适用不适用否目
科技储备资金无308000.00119816.24119816.24---119816.240.00%不适用不适用不适用否
合计—1000000.00811816.24811816.2465177.4665177.46-746638.78—————
未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用。
项目可行性发生重大变化的情况说明不适用。
募集资金投资项目先期投入及置换情况详见“三、2021年度募集资金的实际使用情况之（二）”用闲置募集资金暂时补充流动资金情况本年度不存在以闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
14对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况详见“三、2021年度募集资金的实际使用情况之（三）”
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。
募集资金结余的金额及形成原因本年度募集资金尚在投入过程中，不存在募集资金结余的情况。
募集资金其他使用情况不适用。
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