芯碁微装:容诚会计师事务所(特殊普通合伙)关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函的专项核查意见（修订稿）

关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
向特定对象发行股票申请文件的
审核问询函的专项核查意见
容诚专字[2022]230Z3156 号
容诚会计师事务所(特殊普通合伙)
中国·北京关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函的专项核查意见
容诚专字[2022]230Z3156 号
上海证券交易所：
贵所于2022年11月7日出具的《关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函》（上证科审（再融资）[2022]269号）（以下简称“《审核问询函》”）已收悉。根据《审核问询函》的要求，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“本所”或“申报会计师”）本着勤勉尽责、诚实信用的原则对审核问询函中涉及本所的有关问题进行了专项核查。
除另有说明外，本专项核查中的简称或名词的释义与《合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票募集说明书》中一致。
现就《审核问询函》提出的有关问题回复如下：
2-1目录
问题一（审核问询函问题2）关于前次募集资金.................................3
问题二（审核问询函问题3）关于融资规模及效益测算.............................12
问题三（审核问询函问题4）关于业务与经营情况...............................55
问题四（审核问询函问题5）关于财务性投资.................................81
问题五（审核问询函问题6）关于其他....................................89
2-2问题一（审核问询函问题2）关于前次募集资金根据申报材料，1）2021年4月，公司首发上市募集资金净额为41635.82万元，截至 2022 年 6 月 30 日整体投入进度为 48.76%，其中“高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”、“晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目”、“平板显示（FPD）光刻设备研发项目”、“微纳制造技术研发中心建设项目”投入进度分别为69.13%、17.33%、51.79%、7.16%。2）2022年 4 月，公司将“高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余资金永久补流，本次变更用途的募集资金占前次募集资金总额的比例为15.40%。
请发行人说明：（1）前次募集资金用途变更前后，前次募集资金中用于非资本性支出占募集资金比例情况；（2）首发募投项目的实施进度是否符合预期、
募集资金是否按计划投入、项目实施是否存在重大不确定性。
请保荐机构及申报会计师核查并发表明确意见。
一、发行人说明
（一）前次募集资金用途变更前后，前次募集资金中用于非资本性支出占募集资金比例情况
1、前次募集资金情况经中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]350号）同意注册，公司于2021年 4 月向社会公开发行人民币普通股（A 股）3020.2448 万股，每股发行价为 15.23元，应募集资金总额为人民币45998.33万元，根据有关规定扣除发行费用
4362.51万元后，实际募集资金净额为41635.82万元。募集资金对应的募投项
目承诺投资金额情况如下：
序号项目名称承诺募集资金投资金额（万元）
1 高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目 20770.00
2 晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目 5880.00
3 平板显示（FPD）光刻设备研发项目 8630.82
2-3序号项目名称承诺募集资金投资金额（万元）
4微纳制造技术研发中心建设项目6355.00
合计41635.82
2、前次募集资金变更情况
公司高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目目前已经结项，晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目、平板显示（FPD）光刻设备研发项目、微纳制造技术研发中心建设项目仍处于建设期。公司的前次募投项目在实施过程中均未发生募集资金的变更。
高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目结项后，产生节余募集资金6849.44万元，主要原因为公司在保证项目建设质量的前提下，结合实际情况，节约了部分设备采购投入；同时公司加强项目实施管控，合理降低了项目投入金额。公司于2022年4月27日召开第一届董事会第十七次会议、第一届监事会第十二次会议，于2022年5月18日召开了2021年度股东大会，审议通过了《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意“高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余募集资金用于永久补充流动资金。公司将该项目节余募集资金6849.44万元（包含实际节余募集资金6411.52万元及利息收入扣除银行手续费后净额437.92万元）永久性补充流动资金。该事项已经公司董事会、股东大会审议通过，独立董事、监事会均发表了明确同意意见，保荐机构出具了核查意见。具体内容详见公司于 2022 年 4 月 28 日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）上披露的相关公告。
3、前次募集资金用途变更前后，用于非资本性投入的占比情况
考虑上述高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目节余募集资金补
流的影响，募集资金用于非资本性投入的占比情况如下表所示：
2-4单位：万元
剔除节余资金补前次募集资金投资前次募集资金拟前次募集资金投资项目流后的投资具体节余补流资金项目状态具体项目投资具体金额金额场地建设及设备
资本性支出16046.0011416.64投资目前该项目已结
高端 PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代 预备费 802.00 - 项并将节余募集
6411.52
项目资金永久补充流
非资本性支出研发费用投资--动资金
铺底流动资金3922.002941.84场地建设及设备
资本性支出5354.005354.00-投资
预备费--该项目仍处于建
晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目设期
非资本性支出研发费用投资526.00526.00-
铺底流动资金--场地建设及设备
资本性支出8620.008620.00-投资
预备费--该项目仍处于建
平板显示（FPD）光刻设备研发项目设期
非资本性支出研发费用投资10.8210.82-
铺底流动资金--场地建设及设备
资本性支出2000.002000.00-投资该项目仍处于建
微纳制造技术研发中心建设项目预备费100.00100.00设期
非资本性支出-
研发费用投资4255.004255.00
2-5铺底流动资金--
募集资金合计（A） - - 41635.82 41635.82 -
其中：资本性支出合计金额（B） - - 32020.00 27390.64 -
非资本性支出合计金额（C） - - 9615.82 7833.66 6411.52 -
资本性支出占比（B/A） - - 76.90% 65.79% -
非资本性支出占比（C/A） - - 23.10% 18.81% 15.40% -
注：上述表格中资本性支出包括场地建设投资、设备投资等，非资本性支出包括预备费、铺底流动资金、研发费用等，非资本性支出的来源均为首发募集资金，其中高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目已结项，其非资本性支出均已经使用完毕；其他三个项目仍处于建设中，其非资本性支出包括已投入使用及拟投入使用。
2-6公司首次公开发行不存在超募资金。自首发上市以来，公司不存在取消或
终止原募投项目、变更募投项目实施主体或变更募投项目实施方式等变更募集
资金用途的情形，不存在在不同募投项目之间调配募集资金的情形，各募投项目中也不存在资本性支出与非资本性支出之间调整的情形。除高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目已结项外，其他项目都按照首发募集资金使用计划进行投入。因公司首次发上市后不存在新增建设项目，因此节余募集资金不存在向其他新增建设项目投入的情形。前次募集资金实际用于非资本性支出（包括节余资金永久补流部分）金额为14245.18万元，超过首发实际募集资金总额的30%（12490.75万元），超出部分为1754.43万元，出于谨慎性原则，公司将从本次发行募集资金总额中扣除1760万元。
（二）首发募投项目的实施进度是否符合预期、募集资金是否按计划投入、项目实施是否存在重大不确定性
1、高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目
高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目拟通过新建现代化的洁净
生产车间，购置引进具有行业先进水平的软硬件设备，引入行业内的高水平产业人才，在发行人现有 LDI 设备产品的基础上，对设备性能进行升级迭代，使其更好地满足下游客户的产品需求，项目建设期为两年。
2022年3月，该项目已基本完成投资，产线及设备已达到可使用状态，产
品已发货到相关客户。本项目拟使用募集资金20770.00万元，结项时累计使用募集资金14358.48万元，节余募集资金6849.44万元（包含利息收入扣除银行手续费后净额437.92万元）用于永久补充流动资金。本项目实施进度符合预期，募集资金已按计划完成投入。
2、晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目
晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目拟通过新建现代化的洁净生产车间，购置引进具有行业先进水平的软硬件设备，引入行业内高水平产业人才，丰富发行人现有主营业务的产品体系，进一步拓展发行人产品在 IC 领域的市场空间，项目建设期为三年。
2-7截至2022年10月末，本项目已经基本完成场地建设，同时完成晶圆级封装
机台的设计、组装，并成功完成首台样机。后续需要持续引进相关人才，并完成所需设备及软件的购置，以及跟进机台的测试、验证。目前该项目有序进行，尚存在部分待支出的投入，预计2023年一季度完成，与原计划结项时间一致。
本项目拟使用募集资金5880.00万元，截至2022年10月末，募集资金实际支付2157.22万元，支付比例不高，主要是由于：项目建设及设备采购合同中通常约定分阶段付款，募集资金已使用金额中未包含已签订合同尚待使用募集资金支付的款项1971.96万元，加上已支出募集资金共计4129.18万元，占拟使用募集资金总额的比重为70.22%，与项目实施进度基本匹配，募集资金已按计划投入。
3、平板显示（FPD）光刻设备研发项目
平板显示（FPD）光刻设备研发项目拟通过新建现代化的洁净生产车间，购置引进具有行业先进水平的软硬件设备，引入行业内高水平产业人才，在发行人现有 OLED 低端产线直写光刻设备的核心技术、产品开发积累的基础上，对OLED 高端产线直写光刻设备进行研发，为将来发行人 OLED 高端产线直写光刻设备的产业化打下坚实的基础，项目建设期为三年。
截至 2022 年 10 月末，本项目已经完成 OLED 高世代生产线（6 代线以上，以下简称“高世代线”）专用直写光刻设备设计、工艺验证，并引进了相关的研发人才。该项目目前正在进行样机的设计更新、组装，后续需要完成机台的调试和客户端验证。目前该项目有序进行，尚存在部分待支出的投入，预计2023年一季度完成，与原计划结项时间一致。
本项目拟使用募集资金8630.82万元，截至2022年10月末，募集资金实际支付4469.85万元，支付比例不高，主要是由于：项目建设及设备采购合同中通常约定分阶段付款，募集资金已使用金额未包含已签订合同尚待使用募集资金支付的款项1420.00万元，加上已支出募集资金共计5889.85万元，占拟使用募集资金总额的比重为68.24%，与项目实施进度基本匹配，募集资金已按计划投入。
4、微纳制造技术研发中心建设项目
2-8微纳制造技术研发中心建设项目拟通过购置先进实验平台、软件与器具，引
进高端技术人才，对现有技术研发平台进行全面升级，改善发行人现有研发环境，加大研发材料、测试费用等研发资金投入，进一步营造更具创新能力的研发氛围，为高精度高速实时数据处理平台持续改善、先进制版设备、灰度和三维光刻的开
发、高精密平台技术、微纳精密光机模块提供坚实技术储备，进一步满足电子信息领域客户的应用需求，实现公司未来收入规模持续增长与结构优化升级，项目建设期为三年。
截至2022年10月末，本项目已经基本完成场地建设，已完成部分软件和器具的购置，已引进近10位研发高层次人才，目前正在进行先进实验平台的购置选型，后期需要完善技术研究中心，后续将加大研发材料、测试费用等研发资金投入，进一步营造更具创新能力的研发环境。预计该项目将在2023年上半年完成，与原计划结项时间一致。
本项目拟使用募集资金6355.00万元，截至2022年10月末，募集资金实际支付539.82万元，支付比例较低，主要是由于：项目建设及设备采购合同中通常约定分阶段付款，募集资金已使用金额未包含已签订合同尚待使用募集资金支付的款项3149.40万元，加上已支出募集资金共计3689.22万元，占拟使用募集资金总额的比重为58.05%，与项目实施进度基本匹配，募集资金已按计划投入。
5、前次募投项目实施不存在重大不确定性
从项目实施进度、募集资金使用情况、下游市场发展趋势及公司产能规划等
方面来看，公司前次募投项目实施不存在重大不确定性。
（1）公司近年来主营业务发展势头良好，客户订单需求快速增长，公司产
能处于饱和状态。公司近年来持续加紧募投项目实施进度，当前项目实施进度符合预期，募集资金正按计划投入。
（2）当前 PCB 和泛半导体行业正处于蓬勃发展阶段，市场需求旺盛，国产
替代进程加速，同时公司近年来产品竞争力不断增强，市场份额保持稳步提升，从未来市场需求和公司现有产能规划来看，公司将面临较大的产能缺口。因此，公司有必要继续加紧前次募投项目剩余产能建设，提高产品交付能力。
2-9（3）公司前次募集资金未使用金额将持续用于相关项目建设，如存在资金
缺口公司将自筹解决，项目实施具有充足的资金保证。
综上，首发募投项目的实施进度符合预期、募集资金按计划投入、项目实施不存在重大不确定性。
二、申报会计师的核查程序及核查意见
（一）核查程序
申报会计师执行的核查程序如下：
1、访谈发行人财务负责人，了解发行人前次募投项目的实施进度、资金使
用情况、项目实施是否存在重大不确定性等情况；
2、查阅发行人关于前次募投项目计划的信息披露文件，对募集资金计划使
用情况、募投项目计划投建情况与实际情况进行对比；
3、查阅发行人《前次募集资金使用情况报告》等文件，获取募集资金使用明细表，核查募集资金大额使用凭证，对募投项目建设进度和募集资金使用情况进行了核查。
（二）核查意见经核查，申报会计师认为：
1、公司前次募集资金首发上市时的拟投资总额中，非资本性支出的占比为
23.10%。
自首发上市以来，公司不存在取消或终止原募投项目、变更募投项目实施主体或变更募投项目实施方式等变更募集资金用途的情形。公司的上述募投项目中，高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目目前已结项，结项后产生节余募集资金6849.44万元，用于永久补流。受上述影响，前次募集资金中用于非资本性支出（除节余资金永久补流外的部分）占前次募集资金比为18.81%，节余用于补流部分的资金占前次募集资金比为15.40%。前次募集资金实际用于非资本性支出（包括节余资金永久补流部分）金额为14245.18万元，超过首发实际募集资金总额的30%（12490.75万元），超出部分为1754.43万元，
2-10出于谨慎性原则，公司将从本次发行募集资金总额中扣除1760万元。
2、首发募投项目的实施进度符合预期、募集资金按计划投入、项目实施不
存在重大不确定性。
2-11问题二（审核问询函问题3）关于融资规模及效益测算根据申报材料，1）本次募集资金总额不超过82528.57万元，“直写光刻设备产业应用深化拓展项目”、“IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目”、
“关键子系统、核心零部件自主研发项目”拟分别使用募集资金26598.00万元、17583.75万元、15172.00万元。2）本次募集资金总额中拟补充流动资金23174.82万元。
请发行人说明：（1）建筑工程、设备投资、安装工程等具体内容及测算过程，建筑面积、设备购置数量的确定依据及合理性，与新增产能的匹配关系；
（2）结合本次募投项目非资本性支出情况，说明实质上用于补流的规模，相关
比例是否超过本次募集资金总额的30%；（3）结合发行人现有资金余额、资
金用途和资金缺口，说明本次融资规模的必要性及规模合理性；（4）效益测算的数据明细和计算过程，单价、销量等关键测算指标的确定依据及合理性，与现有类似产品及同行业可比公司的对比情况。
请保荐机构和申报会计师：（1）对上述事项进行核查并发表明确意见；（2）
根据《科创板上市公司证券发行上市审核问答》第4问进行核查并发表明确意
见；（3）根据《再融资业务若干问题解答》第22问进行核查并发表明确意见。
一、发行人说明
（一）建筑工程、设备投资、安装工程等具体内容及测算过程，建筑面积、设备购置数量的确定依据及合理性，与新增产能的匹配关系
1、建筑工程、设备投资、安装工程等具体内容及测算过程，建筑面积、设
备购置数量的确定依据及合理性
发行人 2022 年度向特定对象发行 A 股股票所实施的募投项目中，各项目建筑工程、设备投资、安装工程等具体内容及测算过程，建筑面积、设备购置数量的确定依据如下：
（1）直写光刻设备产业应用深化拓展项目
本项目拟投资金额为31756.19万元，拟投入募集资金26598.00万元，具体
2-12投资明细如下：
拟使用募集资
序号项目金额（万元）比例比例金（万元）
1建设投资27927.9087.94%26598.00100.00%
1.1工程及设备投资26568.0083.66%26568.0099.89%
1.1.1建筑工程13716.0043.19%13716.0051.57%
1.1.2设备投资12240.0038.54%12240.0046.02%
1.1.3安装工程612.001.93%612.002.30%
1.2工程建设其他费用投资30.000.09%30.000.11%
1.3预备费1329.904.19%--
2铺底流动资金3828.2912.06%--
合计31756.19100.00%26598.00100.00%
*建筑工程
本项目的建筑工程费用13746.00万元，占总投资比例43.19%。建筑工程费用主要为厂区洁净厂房和配套厂房的建设、装修以及相关配套系统及设备费用。
在建筑面积方面，主要根据公司历史工程经验及项目规划设计，在建筑造价方面，由于前次募投仅涉及装修投资，因此，本次募投项目土建部分根据现有市场定价进行估算，装修部分根据市场定价并结合前募历史装修成本进行估算。此外，本次项目生产的直写光刻设备对生产环境要求较高，需要使用千级洁净车间，各厂房土建、装修及配套系统设备具体情况如下：
序总建筑面积建筑单价总价项目明细定价依据号（平米）（元/平米）（万元）
1洁净厂房（土建）8000.004000.003200.00根据市场定价估算
2配套（土建）10000.004000.004000.00根据市场定价估算
根据市场定价结合
3配套（装修）10000.002500.002500.00
历史装修成本估算
洁净厂房装修-结构根据市场定价结合
48000.001500.001200.00
装饰历史装修成本估算
洁净厂房装修-消防根据市场定价结合
58000.0080.0064.00
改造历史装修成本估算
洁净厂房装修-弱电根据市场定价结合
68000.0090.0072.00
智能化历史装修成本估算
7空压系统8000.00300.00240.00根据市场定价估算
2-138真空系统8000.00320.00256.00根据市场定价估算
9通风空调系统8000.001200.00960.00根据市场定价估算
设备工艺用冷水系
108000.00650.00520.00根据市场定价估算
统
11蒸汽系统8000.00150.00120.00根据市场定价估算
12防静电装置8000.0080.0064.00根据市场定价估算
13强电8000.00650.00520.00根据市场定价估算
14电梯（台）2.00300000.0030.00根据市场定价估算
合计18000.00-13746.00-
*设备投资
本项目设备购置费用12240.00万元，占总投资比例38.54%。设备投资主要系购置配套生产设备所产生的支出。在设备数量方面，生产设备数量系基于该项目210（台/套）直写光刻设备产品预计需求而确定；在设备单价方面，生产设备的价格主要参照相同或类似规格/型号设备的供应商询价情况，并结合公司历史、前募采购经验测算。设备投资的具体明细如下：
序设备数量设备单价设备总价设备名称定价依据号（台）（万元）（万元）一生产设备
1 PVDtube 1.00 1200.00 1200.00 供应商询价
2丝网印刷机（光伏用）3.00200.00600.00供应商询价
3隧道式烘干炉2.0050.00100.00供应商询价LDI 曝光机（光伏用研发
42.00400.00800.00供应商询价
自制）
5显影机（定制）3.0060.00180.00供应商询价
6光注入1.00200.00200.00供应商询价
IV 测试，AOI 检测、分
71.00200.00200.00供应商询价
选
8物料周转搬运系统1.00300.00300.00供应商询价
9光伏老化测试样机2.00300.00600.00供应商询价
引线框架老化测试样机
102.00250.00500.00供应商询价
材料防焊老化测试测试样机
112.00300.00600.00供应商询价
材料引线框架配套卷对卷机
122.00100.00200.00供应商询价
构
2-1413防焊配套调试用自动线1.00120.00120.00供应商询价
MINIled 老化测试样机材
141.00600.00600.00供应商询价
料
15精密加工中心3.00270.00810.00结合历史采购价格
16五轴高精密加工中心1.00300.00300.00结合历史采购价格
17数控铣床1.00200.00200.00结合历史采购价格
18精密线切割1.00200.00200.00结合历史采购价格
19振动测试仪2.0020.0040.00结合历史采购价格
20显微镜2.0020.0040.00结合历史采购价格
21电子显微测量仪1.00180.00180.00结合历史采购价格
22双频激光干涉仪1.00200.00200.00结合历史采购价格
23准直仪和角度测量仪2.0050.00100.00结合历史采购价格
24球面干涉仪1.00300.00300.00结合历史采购价格
25自制测角仪4.0040.00160.00结合历史采购价格
26功率计10.006.0060.00结合历史采购价格
27积分球1.0025.0025.00结合历史采购价格
28光谱仪1.0050.0050.00结合历史采购价格
29紫外分光光度计1.0040.0040.00结合历史采购价格
30镜头离线装调平台3.00100.00300.00结合历史采购价格
全自动光学镜头定心装
311.00180.00180.00结合历史采购价格
校设备光学镜头传递函数测试
321.00220.00220.00结合历史采购价格
仪
33自制畸变测量平台3.00120.00360.00结合历史采购价格
34常用装调工具10.0020.00200.00结合历史采购价格
平台位置精度 mapping
353.00100.00300.00结合历史采购价格
系统
36高速率数字示波器3.0010.0030.00结合历史采购价格
高频数字电路逻辑分析
371.0022.0022.00结合历史采购价格
仪
38光路组件10.005.0050.00结合历史采购价格
39 DMD 组件 10.00 8.00 80.00 结合历史采购价格
40测距传感器组件78.002.00156.00结合历史采购价格
41对焦运动平台78.004.00312.00结合历史采购价格
42 XYZ 运动平台 1.00 40.00 40.00 结合历史采购价格
43环控和整机结构1.0010.0010.00结合历史采购价格
2-1544标定和对准系统1.0010.0010.00结合历史采购价格
45控制和数据处理1.0010.0010.00结合历史采购价格
46 UVLED 光源 12.00 5.00 60.00 结合历史采购价格
47 UVDMD 10.00 10.00 100.00 结合历史采购价格
48显影机1.0060.0060.00结合历史采购价格
49425激光器5.0015.0075.00供应商询价
50355激光器5.0030.00150.00供应商询价
51405激光器10.0015.00150.00供应商询价
52375激光器10.0020.00200.00供应商询价
二环保设备废气处理（水洗+二级活
18000.000.0196.00供应商询价
性炭）（单位：平米）
焊烟净化器+二级活性炭
28000.000.02120.00供应商询价
装置处理（单位：平米）
碱液喷淋塔+除湿装置
38000.000.00324.00供应商询价（单位：平米）
4废水调节池（单位：平米）8000.000.0012510.00供应商询价废液收集存储装置（单
58000.000.0012510.00供应商询价位：平米）
合计--12240.00-
*安装工程
本项目安装工程投资612.00万元。项目生产的产品工艺流程相对复杂，自动化控制水平较高，购置设备达到试产要求需要投入较多设备安装费。设备所需安装费参考公司以往项目经验，按设备总额的5%进行测算。
*工程建设其他费用投资
本项目工程建设其他费用投资30.00万元，主要为项目环评、安评、职评、验收等其他费用。
*预备费
本项目预备费为1329.90万元，系参考公司前募项目经验，按工程费用和工程建设其他费用投资的5%测算，主要为解决在项目实施过程中，因国家政策性调整以及为解决意外事件而采取措施所增加的不可预见的费用。
2-16*铺底流动资金
本项目铺底流动资金3828.29万元，是项目建成后，在试运转阶段用于购买原材料、燃料、支付工资及其他经营费用等所需的周转资金。本项目铺底流动资金根据公司近期的财务报告中的资产周转率，参照类似企业的流动资金占用情况，按项目测算期流动资金增加额的10%进行估算。
（2）IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目
本项目拟投资金额为23408.27万元，拟投入募集资金17583.75万元，具体投资明细如下：
拟使用募集资
序号项目金额（万元）比例比例金（万元）
1建设投资18462.9478.87%17583.75100.00%
1.1工程及设备投资17553.7574.99%17553.7599.83%
1.1.1建筑工程9675.0041.33%9675.0055.02%
1.1.2设备投资7524.0032.14%7524.0042.79%
1.1.3安装工程354.751.52%354.752.02%
1.2工程建设其他费用投资30.000.13%30.000.17%
1.3预备费879.193.76%--
2铺底流动资金4945.3321.13%--
合计23408.27100.00%17583.75100.00%
*建筑工程
本项目的建筑工程费用9675.00万元，占总投资比例41.33%。建筑工程费用主要为厂区洁净厂房和配套厂房的建设、装修以及相关配套系统及设备费用。在建筑面积方面，主要根据公司历史工程经验及项目规划设计，在建筑造价方面，由于前次募投仅涉及装修投资，因此，本次募投项目土建部分根据现有市场定价进行估算，装修部分根据市场定价并结合前募历史装修成本进行估算。此外，本次项目生产的直写光刻设备对生产环境要求较高，需要使用千级洁净车间，各厂房土建、装修及配套系统设备具体情况如下：
序总建筑面积建筑单价总价项目明细定价依据号（平米）（元/平米）（万元）
2-171洁净厂房（土建）6000.004000.002400.00根据市场定价估算
2配套（土建）6000.004000.002400.00根据市场定价估算
根据市场定价结合
3配套（装修）6000.002500.001500.00
历史装修成本估算
洁净厂房装修-结构根据市场定价结合
46000.002000.001200.00
装饰历史装修成本估算
洁净厂房装修-消防根据市场定价结合
56000.0085.0051.00
改造历史装修成本估算
洁净厂房装修-弱电根据市场定价结合
66000.0090.0054.00
智能化历史装修成本估算
7空压系统6000.00300.00180.00根据市场定价估算
8真空系统6000.00320.00192.00根据市场定价估算
9通风空调系统6000.001200.00720.00根据市场定价估算
10空调水系统6000.00650.00390.00根据市场定价估算
11蒸汽系统6000.00150.0090.00根据市场定价估算
12防静电装置6000.0080.0048.00根据市场定价估算
13强电6000.00650.00390.00根据市场定价估算
14电梯（单位：台）2.00300000.0060.00根据市场定价估算
合计12000.00-9675.00-
*设备投资
本项目设备购置费用7524.00万元，占总投资比例32.14%。其中硬件设备投资7095.00万元，软件使用权投资429.00万元。
本项目硬件设备投资主要系购置配套生产设备所产生的支出。在设备数量方面，生产设备数量系基于该项目70（台/套）直写光刻设备产品预计需求而确定；在设备单价方面，生产设备的价格主要参照相同或类似规格/型号设备的市场价格、供应商询价情况，并结合公司历史、前募采购经验测算。
设备投资的具体明细如下：
设备数量设备单价设备总价序号设备名称定价依据
（台）（万元）（万元）一生产设备
1真空压膜机1.00180.00180.00结合历史采购价格
2光阻涂胶机1.00510.00510.00结合历史采购价格
3自动厚膜测量仪1.00250.00250.00结合历史采购价格
2-184显微镜1.0020.0020.00结合历史采购价格
5 CD-SEM 1.00 300.00 300.00 结合历史采购价格
6显影机1.00100.00100.00结合历史采购价格
7压膜机1.0010.0010.00供应商询价
8 3D 光学影像测量仪 1.00 50.00 50.00 结合历史采购价格
高精度 3D 光学影像测量
91.00100.00100.00结合历史采购价格
仪
10精密加工中心2.00270.00540.00结合历史采购价格
11精密立式加工中心1.0070.0070.00结合历史采购价格
12振动测试仪1.0020.0020.00结合历史采购价格
14双频激光干涉仪1.00100.00100.00结合历史采购价格
15球面干涉仪1.0080.0080.00结合历史采购价格
16偏心测量仪1.0070.0070.00结合历史采购价格
17准直仪和角度测量仪1.0050.0050.00结合历史采购价格
平台位置精度 mapping
181.0080.0080.00结合历史采购价格
系统
19自制测角仪1.0030.0030.00结合历史采购价格
20镜头离线曝光测试系统1.00100.00100.00供应商询价
21镜头离线装调系统1.00100.00100.00供应商询价
22紫外分光光度计1.0030.0030.00结合历史采购价格
全自动光学镜头定心装
231.00180.00180.00结合历史采购价格
校设备光学镜头传递函数测试
241.00220.00220.00结合历史采购价格
仪
25光谱仪1.0050.0050.00结合历史采购价格
自制镜头畸变离线测量
261.00100.00100.00结合历史采购价格
系统
27 赛灵思 40G 通信 IP 核 1.00 50.00 50.00 结合历史采购价格
28透反式定心仪器1.00100.00100.00供应商询价
29光路组件22.008.00176.00结合历史采购价格
30 DMD 组件 20.00 8.00 160.00 结合历史采购价格
31测距传感器组件20.007.00140.00结合历史采购价格
32纳米运动平台20.007.00140.00供应商询价
33多轴运动平台2.00180.00360.00供应商询价
34环控和整机结构2.0050.00100.00结合历史采购价格
35标定和对准系统2.0050.00100.00结合历史采购价格
2-1936控制和数据处理2.0050.00100.00结合历史采购价格
37标定板4.0010.0040.00供应商询价
38425激光器10.0015.00150.00供应商询价
39355激光器10.0030.00300.00供应商询价
40405激光器20.0015.00300.00供应商询价
41375激光器20.0020.00400.00供应商询价
42 IC 载板配套自动化系统 2.00 100.00 200.00 供应商询价
43物料周转搬运系统1.00150.00150.00供应商询价
PLC、FPGA、ARM 和其
4430.005.00150.00供应商询价
他各类芯片
45驱动器6.003.0018.00供应商询价
46直线电机6.005.0030.00供应商询价
47导轨6.005.0030.00供应商询价
48光栅尺6.005.0030.00供应商询价
49多轴运动控制器6.0020.00120.00供应商询价
50常用装调工具5.0020.00100.00结合历史采购价格
51高精度功率计4.005.0020.00供应商询价
52超声波清洗台1.0010.0010.00供应商询价
53基板前处理台1.0020.0020.00供应商询价
二环保设备废气处理（水洗+二级活
16000.000.0293.00供应商询价
性炭）（单位：平米）
焊烟净化器+二级活性炭
26000.000.02114.00供应商询价
装置处理（单位：平米）
碱液喷淋塔+除湿装置
36000.000.00424.00供应商询价（单位：平米）
4废水调节池（单位：平米）6000.000.001710.00供应商询价废液收集存储装置（单
56000.000.003320.00供应商询价位：平米）
合计--7095.00-
本项目软件使用权投资主要系购置配套生产所需的软件，相关软件价格主要参照相同或类似软件的市场价格、供应商询价情况，软件使用权投资的具体明细如下：
序号软件使用权名称数量（套）单价（万元）总价（万元）定价依据
1 AutoCAD 3.00 1.00 3.00 供应商询价
2-202 Matlab 5.00 2.00 10.00 供应商询价
3 ANSYS 1.00 75.00 75.00 供应商询价
4 ProE 15.00 3.00 45.00 供应商询价
5 Solidworks 2.00 10.00 20.00 供应商询价
6 Labview 1.00 15.00 15.00 供应商询价
7 AltiumDesigner 2.00 15.00 30.00 供应商询价
8 Eplan 1.00 15.00 15.00 供应商询价
9 zemax 2.00 40.00 80.00 供应商询价
10 light-tools 1.00 40.00 40.00 供应商询价
11 codev 1.00 60.00 60.00 供应商询价
12数据处理软件2.0010.0020.00供应商询价
13图像处理软件2.008.0016.00供应商询价
合计38.00-429.00-
*安装工程
本项目安装工程投资354.75万元。项目生产的产品工艺流程相对复杂，自动化控制水平较高，购置设备达到试产要求需要投入较多设备安装费。设备所需安装费参考公司以往项目经验，按硬件设备总额的5%进行测算。
*工程建设其他费用投资
本项目工程建设其他费用投资30.00万元，主要为项目环评、安评、职评、验收等其他费用。
*预备费
本项目预备费为879.19万元，系根据公司以往项目经验，按工程费用和工程建设其他费用投资的5%测算，主要为解决在项目实施过程中，因国家政策性调整以及为解决意外事件而采取措施所增加的不可预见的费用。
*铺底流动资金
本项目铺底流动资金4945.33万元，是项目建成后在试运转阶段用于购买原材料、燃料、支付工资及其他经营费用等所需的周转资金。本项目铺底流动资金根据公司近期的财务报告中的资产周转率，参照类似企业的流动资金占用情况，按项目测算期流动资金增加额的30%进行估算。
2-21（3）关键子系统、核心零部件自主研发项目
本项目拟投资金额为24758.22万元，拟投入募集资金15172.00万元，具体投资明细如下：
拟使用募集资
序号项目金额（万元）比例比例金（万元）
1建设投资15930.6064.34%15172.00100.00%
1.1工程及设备投资15142.0061.16%15142.0099.80%
1.1.1建筑工程5688.0022.97%5688.0037.49%
1.1.2设备投资9454.0038.19%9454.0062.31%
1.2工程建设其他费用投资30.000.12%30.000.20%
1.3预备费758.603.06%--
2研发费用8827.6235.66%--
合计24758.22100.00%15172.00100.00%
*工程建设投资
本项目的建筑工程费用5688.00万元，占总投资比例22.97%。建筑工程费用主要为厂区洁净厂房的建设、装修、公共配套设施费用以及项目环评、
安评、职评、验收等其他费用。在建筑面积方面，主要根据公司历史工程经验及项目规划设计，在建筑造价方面，由于前次募投仅涉及装修投资，因此，本次募投项目土建部分根据现有市场定价进行估算，装修部分根据市场定价并结合前募历史装修成本进行估算。各厂房土建、装修及配套系统设备具体情况如下：
序总建筑面积建筑单价总价项目明细定价依据号（平米）（元/平米）（万元）
1洁净厂房（土建）6000.004000.002400.00根据市场定价估算
根据市场定价结合
2厂房装修-结构装饰6000.001500.00900.00
历史装修成本估算根据市场定价结合
3洁净厂房装修-消防改造6000.0090.0054.00
历史装修成本估算
洁净厂房装修-弱电智能根据市场定价结合
46000.0090.0054.00
化历史装修成本估算公共设备设施（空调、
56000.003800.002280.00根据市场定价估算空压机等）
合计6000.00-5688.00-
2-22*设备投资
本项目设备购置费用9454.00万元，占总投资比例38.19%。其中硬件设备投资7563.00万元，软件使用权投资1891.00万元。
本项目设备投资主要系为了匹配公司关键子系统、核心零部件相关研发、
测试需求所产生的支出。在设备数量方面，研发设备数量系基于高精度运动平台开发项目、先进激光光源、高精度动态环控系统、超大幅面高解析度曝
光引擎、半导体设备前端系统模组（EFEM）、高稳定性全自动化线配套、基于深度学习算法的智能化直写光刻系统等课题需求而确定；在设备单价方面，研发设备的价格主要参照相同或类似规格/型号设备的市场价格、供应商询价情况，并结合公司历史、前募采购经验测算。设备投资的具体明细如下：
序数量单价设备总价设备名称定价依据号（台）（万元）（万元）
1电子常用小工具和设备3.0010.0030.00结合历史采购价格
2恒温冷水机10.002.0020.00结合历史采购价格
3机械常用小工具和设备3.005.0015.00结合历史采购价格
光学常用实验室工具和设
42.005.0010.00结合历史采购价格
备
5震动老化测试平台1.0030.0030.00结合历史采购价格
6高低温老化测试平台1.0050.0050.00结合历史采购价格
7多轴双频率激光干涉仪2.00150.00300.00结合历史采购价格
8局部高精度恒温系统2.0080.00160.00结合历史采购价格
9陀螺仪1.0060.0060.00结合历史采购价格
10高位置精度金版1.0060.0060.00结合历史采购价格
11 平台位置精度mapping系统 1.00 120.00 120.00 结合历史采购价格
12高精度纳米运动轴6.0010.0060.00结合历史采购价格
13主动隔震仪2.0040.0080.00结合历史采购价格
14被动隔震仪2.005.0010.00结合历史采购价格
15 L 型反光镜 1.00 30.00 30.00 结合历史采购价格
16震动测振仪1.0020.0020.00结合历史采购价格
17大理石平台3.0010.0030.00结合历史采购价格
PLC、FPGA、ARM 和其他
1830.005.00150.00结合历史采购价格
各类芯片
2-2319驱动器14.002.0028.00结合历史采购价格
20无尘拖链3.005.0015.00结合历史采购价格
21无尘线缆3.005.0015.00结合历史采购价格
22高精度功率计4.005.0020.00结合历史采购价格
23积分球1.0025.0025.00结合历史采购价格
24光谱仪1.0010.0010.00结合历史采购价格
25耦合仪1.0050.0050.00结合历史采购价格
26静电测试仪1.0010.0010.00结合历史采购价格
27高精度大功率电源模块3.0030.0090.00结合历史采购价格
28 LD 光管 100.00 0.50 50.00 结合历史采购价格
29375大功率激光器1.0020.0020.00结合历史采购价格
30355大功率激光器1.0030.0030.00结合历史采购价格
31各种光学镜片和镜座等100.001.00100.00结合历史采购价格
32大功率芯片和类芯片10.003.0030.00结合历史采购价格
33高精度多点温度测量系统2.0030.0060.00结合历史采购价格
34静电去除仪2.0010.0020.00结合历史采购价格
35高精度压力计5.005.0025.00结合历史采购价格
36高精度风速测量仪5.005.0025.00结合历史采购价格
37空气有机分子分析仪1.0050.0050.00结合历史采购价格
38激光环境粒子测试仪2.0020.0040.00结合历史采购价格
39高精度大功率恒温水源2.0020.0040.00结合历史采购价格
40多种芯片5.003.0015.00结合历史采购价格
41多通道数字示波器1.0090.0090.00结合历史采购价格
42网络分析仪1.0080.0080.00结合历史采购价格
43 赛灵思 40G 通信 IP 核 1.00 50.00 50.00 供应商询价
44高频数字电路逻辑分析仪1.00100.00100.00供应商询价
45数字锁相放大器1.0015.0015.00结合历史采购价格
46多通道动态信号分析仪2.0030.0060.00结合历史采购价格
47电能质量分析仪1.0010.0010.00结合历史采购价格
48数据采集仪1.005.005.00结合历史采购价格
FPGA、ARM 和其他各类芯
4910.005.0050.00结合历史采购价格
片
50静电放电发生器1.005.005.00结合历史采购价格
51函数/任意波形发生器1.005.005.00结合历史采购价格
2-2452 Xilinx 开发板 2.00 8.00 16.00 结合历史采购价格
53准直仪和角度测量仪1.00120.00120.00供应商询价
54大口径激光球面干涉仪1.00300.00300.00结合历史采购价格
55能量精密测量仪1.0010.0010.00结合历史采购价格
波前探测技术光学镜头多
561.00130.00130.00结合历史采购价格
功能测试装置全自动光学镜头定心装校
571.00190.00190.00结合历史采购价格
设备
58 3D 表面测量仪 1.00 160.00 160.00 结合历史采购价格
59光学镜头传递函数测试仪1.00280.00280.00结合历史采购价格
60精密光学实验平台5.0025.00125.00结合历史采购价格
61中心厚度测试仪1.0025.0025.00结合历史采购价格
62透反式定心仪器1.00120.00120.00结合历史采购价格
63超精单点金刚石车床1.00300.00300.00结合历史采购价格
64 光谱仪（Maya2000-Pro） 1.00 200.00 200.00 结合历史采购价格
65紫外分光光度计1.0050.0050.00结合历史采购价格
66高精度电子自准直仪0.03''1.00280.00280.00结合历史采购价格
67镜头离线装调平台2.00100.00200.00结合历史采购价格
自制镜头畸变离线测量系
681.00150.00150.00结合历史采购价格
统
69镜头曝光性能检测平台2.00150.00300.00结合历史采购价格
70405大功率激光器4.0015.0060.00结合历史采购价格
71425激光器4.0015.0060.00结合历史采购价格
72355激光器3.0030.0090.00结合历史采购价格
73深紫外激光器3.0080.00240.00结合历史采购价格
74375激光器3.0020.0060.00结合历史采购价格
75多轴运动控制器12.0020.00240.00结合历史采购价格
76精密洁净室机械手3.0030.0090.00结合历史采购价格
77寻边预对准模块3.0015.0045.00结合历史采购价格
78装载接口3.0015.0045.00结合历史采购价格
79 PLC 和芯片 9.00 10.00 90.00 结合历史采购价格
80直线电机14.002.0028.00结合历史采购价格
81导轨33.002.0066.00结合历史采购价格
82光栅尺14.002.0028.00结合历史采购价格
83多轴机械手6.0015.0090.00结合历史采购价格
2-2584除尘器6.0015.0090.00结合历史采购价格
85移栽机6.0010.0060.00结合历史采购价格
86运动轴30.005.00150.00结合历史采购价格
87各种传感器60.001.0060.00结合历史采购价格
88高精度大尺寸相机3.003.009.00结合历史采购价格
89人工智能服务器1.0050.0050.00结合历史采购价格
90图像采集镜头3.003.009.00结合历史采购价格
各种高速多种采图照明系
913.005.0015.00结合历史采购价格
统
92图像处理软件3.0015.0045.00供应商询价
93集成测试系统1.0040.0040.00结合历史采购价格
94红外相机2.0012.0024.00结合历史采购价格
95低温相机2.0030.0060.00结合历史采购价格
96相机畸变校正系统1.0030.0030.00结合历史采购价格
97环保设备--260.00结合历史采购价格
合计620.00-7563.00-本项目软件使用权投资主要系购置配合上述研发设备及课题所需的软件，相关软件价格主要参照相同或类似软件的市场价格、供应商询价情况，软件使用权投资的具体明细如下：
序号软件使用权名称数量（套）单位（万元）总价（万元）定价依据
1 AutoCAD 5 1 5.00 供应商询价
2 Matlab 15 2 30.00 供应商询价
3 Cadence 1 30 30.00 供应商询价
4 ANSYS 2 75 150.00 供应商询价
5 ProE（租赁） 30 3 90.00 供应商询价
6 Solidworks 3 10 30.00 供应商询价
7 Labview 1 15 15.00 供应商询价
8 Origin 2 10 20.00 供应商询价
9 AltiumDesigner 3 15 45.00 供应商询价
10 MDK-ARM-ES 2 6 12.00 供应商询价
11 Eplan 2 15 30.00 供应商询价
12 mysql 4 20 80.00 供应商询价
13 vivado 2 10 20.00 供应商询价
2-2614 keyshot 2 2 4.00 供应商询价
15 zemax 4 40 160.00 供应商询价
16 light-tools 4 40 160.00 供应商询价
17 codev 2 60 120.00 供应商询价
18数据处理软件51050.00供应商询价
19图像处理软件5840.00供应商询价
20网络安全软件1100100.00供应商询价
21 ERP 系统 1 300 300.00 供应商询价
22 PLM 系统 1 400 400.00 供应商询价
合计97.00-1891.00-
*工程建设其他费用投资
本项目工程建设其他费用投资30.00万元，主要为项目环评、安评、职评、验收等其他费用。
*预备费
本项目预备费758.60万元，系根据公司以往项目经验，按工程建设投资、设备投资及软件使用权投资总和的5%测算，主要为解决在项目实施过程中，因国家政策性调整以及为解决意外事件而采取措施所增加的不可预见的费用。
*研发费用
本项目研发费用8827.62万元，占总投资比例35.66%，系根据各项研发项目所需新增的研发人员所需薪酬以及研发样机材料费、研发样机测试费等各项研发费用前三年费用总和。项目人员薪酬是根据企业现有研发人员薪资水平结合当地招聘薪酬水平估算，其他研发费用是根据企业历史研发项目、在研项目并结合本项目实际开展需求估算。
单位：万元
序号 项目 T+1 T+2 T+3 合计
1研发人员薪酬费用1622.002196.992728.636547.62
2研发样机材料费300.00400.00500.001200.00
3研发样机测试费200.00300.00400.00900.00
2-274参展费40.0050.0060.00150.00
5专利申报及维护费10.0010.0010.0030.00
合计2172.002956.993698.638827.62
综上所述，建筑工程、设备投资、安装工程等具体内容中，相关建筑面积、设备数量根据项目实际开展需要，结合历史工程、项目经验综合估算，各项单价根据供应商询价、类似规格/型号设备的市场价格情况，并结合公司历史、前募采购、实施经验测算，具备合理性和公允性。
2、募投项目新增产能的匹配关系
直写光刻设备属于高端装备，其产品性能越精密、复杂程度越高，对洁净制造车间的要求越高，对调试、测试、验证等相关设备要求的投资金额越大。
发行人本次募投项目为直写光刻设备产业应用深化拓展项目和 IC载板、类载板
直写光刻设备产业化项目，其规划产品的性能和复杂程度介于前次募投项目规划产品之间。无论从单位产能规划总投资金额还是单位产能规划设备投资金额来看，本次两个募投项目的指标均落于前次募投项目之间，如单位产能规划投资金额，按照产品的性能由低到高，单位产能规划投资金额为103.85万元、
151.22万元、334.40万元和1563.33万元，因此本次募投项目投资金额具有合理性，与新增产能具有匹配关系。前后两次募投项目的对比情况如下：
2-28单位产能规单位产能规划单位产能规划规划投资金规划工程投资规划设备投资规划产能（台项目阶段项目名称划投资金额工程投资额设备投资额额（万元）金额（万元）金额（万元）/套）（万元）（万元）（万元）
高端 PCB 激光直接成像
20770.005380.0010446.00200.00103.8526.9052.23（LDI）设备升级迭代项目
前次募投 晶圆级封装（WLP）直写光
9380.001230.004124.006.001563.33205.00687.33
刻设备产业化项目
平均15075.003305.007285.00103.00833.59115.95369.78直写光刻设备产业应用深
31756.1913746.0012852.00210.00151.2265.4661.20
化拓展项目
IC 载板、类载板直写光刻
本次募投23408.279705.007878.7570.00334.40138.64112.55设备产业化项目
平均27582.2311725.5010365.38140.00242.81102.0586.88
2-29发行人本次募投项目拟生产的直写光刻设备属于高端装备，应用于泛半导体
及 PCB 产业，由于该领域内设备产品品类繁多，且各类型产品的体积大小、结构复杂程度各异，因此生产所需的建筑面积及设备金额呈现差异化特征。在此，选取近年来该领域内 A 股上市企业再融资募投项目进行对比，具体情况如下所示：
2-30单位产能规单位产能规划单位产能规划
规划投资金规划工程投资规划设备投资规划产能公司名称项目名称划投资金额工程投资额设备投资额额（万元）金额（万元）金额（万元）（台/套）（万元）（万元）（万元）中微公司中微产业化基地建
（688012，2020206775.0019650.401150.00276.29179.8017.09设项目317732.66年再融资）芯源微（688037，上海临港研发及产
64000.0028830.8418232.6521.003047.621372.90868.22
2021年再融资）业化项目
北方华创半导体装备产业化（002371，2021基地扩产项目（四296794.0051727.002000.00190.82148.4025.86
381631.00年再融资）期）长川科技探针台研发及产业
（300604，202130001.041520.003026.44485.0061.863.136.24化项目年再融资）精测电子精测新能源智能装
（300567，202266978.3151594.775666.28160.00418.61322.4735.41备生产项目年再融资）
平均水平-172，068.60117102.9219660.55763.20799.04405.34190.57直写光刻设备产业
31756.1913746.0012852.00210.00151.2265.4661.20
应用深化拓展项目
IC 载板、类载板直
发行人写光刻设备产业化23408.279705.007878.7570.00334.40138.64112.55项目
平均27582.2311725.5010365.38140.00242.81102.0586.88
注：发行人本次募投规划建筑面积包括规划生产面积和规划配套面积。
2-31如上表所示，高端装备领域上市公司因募投规划产品差异较大导致单位产
能规划投资金额、单位产能规划投资面积等指标差别非常大，如单位产能规划投资总金额处于61.86万元-3047.62万元区间之间。公司的单位产能规划建筑面积、单位产能规划投资总金额、单位产能规划工程投资、单位产能规划设备
投资等指标落于上述可比项目区间之内，均低于可比项目平均水平。
由于长川科技募投项目规划产品为探针台，与发行人及其他公司募投项目规划的产品设备相比较，该产品体积相对较小，且其募投规划的面积仅为洁净车间的面积，因此其单位产能建筑面积及单位产能规划投资金额等相对较小；
芯源微的募投项目规划产品为单片式化学清洗机，体积较大、产品的单价较高、性能复杂，其单位产能建筑面积及单位产能规划投资金额都大幅高于其他可比项目。
剔除上述长川科技及芯源微可比项目的影响外，发行人的单位产能规划总投资金额与中微公司、北方华创、精测电子可比项目相差不大，但其单位产能规划设备投资额要显著高于上述三家公司，主要原因为：一方面，在拓展方面，由于公司产品在引线框架、新型显示、光伏等拓展领域内尚处于早期，因此前期调试、测试、验证相关设备投资金额较大，例如针对光伏领域，因采取铜电镀工艺，本项目拟规划一条中试验证线，该验证线投资金额相对较高，约为4200万元；另一方面，在深化领域，由于 IC 载板市场对曝光精度等性能指标要求较高，除国内市场外，公司还规划积极开拓日本等海外市场，对产品的各项性能要求进一步提升，配套的工艺验证及检测设备价格较高，此外，公司 IC 载板直写光刻设备尚未实现大批量的供货，因此在前期的设备调试、性能测试等方面所需的时间较长，所需设备较多，因此项目设备投资金额较高。
综上所述，结合发行人本次募投的建筑工程、设备投资、安装工程等的测算以及与同行业可比项目的对比，发行人本次募投项目总体产能规划对应新增建筑面积及规划投资金额较为合理、谨慎，与新增产能具有合理的匹配关系。
（二）结合本次募投项目非资本性支出情况，说明实质上用于补流的规模，相关比例是否超过本次募集资金总额的30%
本次各募投项目资本性投入及非资本性支出具体情况如下：
2-321、直写光刻设备产业应用深化拓展项目
是否属拟使用募序号项目单位金额于资本比例集资金性投入
1建设投资万元27927.90是26598.00100.00%
1.1工程及设备投资万元26568.00是26568.0099.89%
1.1.1建筑工程万元13716.00是13716.0051.57%
1.1.2设备投资万元12240.00是12240.0046.02%
1.1.3安装工程万元612.00是612.002.30%
1.2工程建设其他费用投资万元30.00是30.000.11%
1.3预备费万元1329.90否--
2铺底流动资金万元3828.29否--
3总投资金额万元31756.1926598.00100.00%
拟使用募集资金资本性投入合计26598.00100.00%
拟使用募集资金非资本性支出合计--
2、IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目
是否属拟使用募序号项目单位金额于资本比例集资金性投入
1建设投资万元18462.94是17583.75100.00%
1.1工程及设备投资万元17553.75是17553.7599.83%
1.1.1建筑工程万元9675.00是9675.0055.02%
1.1.2设备投资万元7524.00是7524.0042.79%
1.1.3安装工程万元354.75是354.752.02%
1.2工程建设其他费用投资万元30.00是30.000.17%
1.3预备费万元879.19否--
2铺底流动资金万元4945.33否--
3总投资金额万元23408.2717583.75100.00%
拟使用募集资金资本性投入合计17583.75100.00%
拟使用募集资金非资本性支出合计--
3、关键子系统、核心零部件自主研发项目
是否属拟使用募序号项目单位金额比例于资本集资金
2-33性投入
1建设投资万元15930.60是15172.00100.00%
1.1工程及设备投资万元15142.00是15142.0099.80%
1.1.1建筑工程万元5688.00是5688.0037.49%
1.1.2设备投资万元9454.00是9454.0062.31%
1.2工程建设其他费用投资万元30.00是30.000.20%
1.3预备费万元758.60否--
2铺底流动资金万元-否--
3研发费用万元8827.62否--
4总投资金额万元24758.2215172.00100.00%
拟使用募集资金资本性投入合计15172.00100.00%
拟使用募集资金非资本性支出合计--
4、补充流动资金项目
公司拟使用20414.82万元募集资金用于补充流动资金，补充流动资金支出全部属于非资本性支出。
综上，通过对上述各募投项目汇总，本次募投项目资本性投入及非资本性支出整体情况如下：
是否属拟使用募序号项目单位金额于资本比例集资金性投入
1建设投资万元62321.44是59353.7574.41%
1.1工程及设备投资万元59263.75是59263.7574.29%
1.1.1建筑工程万元29079.00是29079.0036.45%
1.1.2设备投资万元29218.00是29218.0036.63%
1.1.3安装工程万元966.75是966.751.21%
1.2工程建设其他费用投资万元90.00是90.000.11%
1.3预备费万元2967.69否--
2铺底流动资金万元8773.62否--
3补充流动资金万元30000.00否20414.8225.59%
4研发费用万元8827.62否--
5总投资金额万元109922.6879768.57100.00%
拟使用募集资金资本性投入合计59353.7574.41%
2-34拟使用募集资金非资本性支出合计20414.8225.59%
由上表可见，本次79768.57万元的募集资金总额中，20414.82万元用于非资本性支出，均用于补充流动资金，占募集资金总额的比例为25.59%，未超过本次募集资金总额的30%。
（三）结合发行人现有资金余额、资金用途和资金缺口，说明本次融资规模的必要性及规模合理性
1、本次募投项目建设资金需求较大，现有资金存在较大缺口
作为国内领先的直写光刻设备厂商，公司直写光刻设备主要应用于泛半导体领域和 PCB 领域。其中，在泛半导体领域，公司产品目前主要应用于IC、FPD 掩膜版制版、半导体器件制造、先进封装领域；在 PCB 领域，公司产品主要应用于 HDI、FPC 等中高端产品的线路层曝光。
随着公司主营业务深度发展，产品体系将不断升级与完善。首先，公司将积极推动核心技术转化，深化直写光刻设备在 PCB 阻焊层领域的产业化应用，并开发出应用于新型显示、引线框架和新能源光伏等新兴领域的直写光刻设备，持续丰富产品应用领域；其次，公司将加速 IC 载板及类载板直写光刻设备的产业化进程；此外，公司还将不断提高关键子系统、核心零部件自主研发水平，进一步提升供应链自主可控能力。
因此，公司积极响应国家产业政策支持，顺应我国泛半导体及 PCB 设备产业发展趋势和市场需求变化，拟投资建设“直写光刻设备产业应用深化拓展项目”、“IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目”和“关键子系统、核心零部件自主研发项目”等三个项目，该等项目投资总额共计79922.68万元，拟使用募集资金59353.75万元。
截至2022年9月30日，公司货币资金情况如下：
2022年9月30日
项目金额（万元）占比
库存现金0.130.001%
银行存款11615.5056.343%
2-35其他货币资金9000.0043.656%
货币资金余额20615.63100.000%
截至2022年9月30日，公司可自由支配货币资金如下：
项目金额（万元）
*货币资金余额20615.63
*交易性金融资产余额11022.73
*受限制的保函保证金1217.27
*首发上市募集资金余额14208.44
可自由支配的资金小计（*+*-*-*）16212.65
由上表可见，公司现有货币资金余额为20615.63万元，占资产总额的
14.81%，截至2022年9月30日公司首发上市募集资金尚有未使用部分，公
司前次募投项目仍在建设当中，剩余募集资金将持续用于项目建设。扣除首发上市募集资金及受限货币资金后，公司账面可供自由支配的货币资金为
16212.65万元。现有货币资金余额以及可自由支配的资金主要用于维持日常经营，不足以支撑公司进行营运资本扩张和产能投资建设，本次融资具有必要性。
综上所述，公司现有货币资金余额以及可自由支配的资金均处于相对较低水平，且主要用于维持公司日常经营。通过本次融资可为相关募投项目的建设提供资金保障，增加公司的流动资金储备，增强公司的资金实力，为公司未来业务及产品发展战略夯实基础，本次融资规模具有必要性和合理性。
2、发行人未来三年营运资金缺口及本次募集资金投资项目的自筹投入
部分
（1）营运资金需求
在其他经营要素不变的情况下，根据2019年至2021年经营情况，结合对未来三年（2022年至2024年）市场情况的预判以及发行人自身的业务规划，采用销售百分比法对发行人未来三年的运营资金缺口情况进行测算，发行人本次使用募集资金补充流动资金的具体测算过程如下：
*基本假设
2-36A、销售百分比法是以估算企业的营业收入为基础，对构成企业日常生
产经营所需流动资金的主要经营性流动资产和流动负债分别进行估算，进而预测企业未来期间生产经营对流动资金的需求程度。
B、发行人以 2019-2021 年收入为基础预测了 2022 年末、2023 年末和
2024年末的经营性流动资产和经营性流动负债，并分别计算了各年末的营运
资金需求金额（即经营性流动资产和经营性流动负债的差额）。
C、发行人未来三年新增流动资金缺口计算公式如下：
新增流动资金缺口=2024年末营运资金需求金额-2021年末营运资金需求金额。
*营业收入预测
发行人2019-2021年销售收入复合增长率为56.00%，结合目前市场需求情况与未来发展趋势，根据合理性与谨慎性原则，预测发行人2022至2024年的营业收入复合增长率为30%，2022-2024年的营业收入分别为63991.87万元、83189.43万元、108146.26万元。
*主要经营性资产和经营性负债占营业收入比重情况假设预测期主要经营性资产和经营性负债占营业收入比重情况与发行
人2021年度相同，各计算指标情况如下：
单位：元
2021年
项目2019年度2020年度2021年度销售百分比
经营性流动资产251824452.32392738029.90597544886.63-
应收票据12328423.3228402513.4441646481.248.46%
应收账款98504330.58181026203.45282842937.8857.46%
应收账款融资922606.734798346.378881477.981.80%
预付账款9615175.309630131.4819218841.343.90%
存货130453916.39168880835.16234404664.0047.62%
合同资产--10550484.192.14%
经营性流动负债81443656.80105649091.33207603331.25-
应付票据11967666.31101287064.8320.58%
2-37应付账款62890898.1080038471.2490247546.7118.33%
预收款项18552758.70--0.00%
合同负债-13642953.7816068719.713.26%
营运资金需求170380795.52287088938.57389941555.38-
营业收入总额202261172.30310087589.97492245130.08-
收入增长率-53.31%58.74%-
*流动资金需求测算结果
综合考虑到以上因素，在其他经营要素不变的情况下，发行人2022年至2024年营运资金需求情况如下所示：
单位：元基期预测期项目
2021年度2022年度2023年度2024年度
经营性流动资产597544886.63776808352.621009850858.401312806115.93
应收票据41646481.2454140425.6170382553.3091497319.28
应收账款282842937.88367695819.24478004565.02621405934.52
应收账款融资8881477.9811545921.3715009697.7919512607.12
预付账款19218841.3424984493.7432479841.8642223794.42
存货234404664.00304726063.20396143882.16514987046.81
合同资产10550484.1913715629.4517830318.2823179413.77
经营性流动负债207603331.25269884330.63350849629.81456104518.76
应付票据101287064.83131673184.28171175139.56222527681.43
应付账款90247546.71117321810.72152518353.94198273860.12
预收款项----
合同负债16068719.7120889335.6227156136.3135302977.20
营运资金需求389941555.38506924021.99659001228.59856701597.17
营业收入总额492245130.08639918669.10831894269.841081462550.79
收入增长率-30%30%30%
注：上述营业收入增长的假设及测算仅为测算本次向特定对象发行股票募集资金用于计算
未来三年新增营运资金需求的合理性，不代表发行人对2022-2024年经营情况及趋势的判断，亦不构成盈利预测。
综上所述，按照销售百分比法测算，发行人2022至2024年流动资金缺口预计46676.00万元。
2-38（2）本次募集资金投资项目的自筹投入部分
本次募投建设项目中的基本预备费、铺底流动资金、研发费用均为自筹投入，自筹投入资金合计为20568.93万元。具体如下：
序号项目金额（万元）
1直写光刻设备产业应用深化拓展项目-
1.1预备费1329.90
1.2铺底流动资金3828.29
2 IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目 -
2.1预备费879.19
2.2铺底流动资金4945.33
3关键子系统、核心零部件自主研发项目-
3.1预备费758.60
3.2研发费用8827.62
合计20568.93
综上所述，结合公司日常运营需要及本次募集资金投资项目的自筹投入部分，前述资金缺口合计为67244.93万元，本次募集资金融资规模具有合理性和必要性。在本次向特定对象发行股票募集资金到位之前，公司若以自有资金先行投入上述建设项目，公司将在募集资金到位后按照相关法律法规规定，履行相关审批程序予以置换。
（四）效益测算的数据明细和计算过程，单价、销量等关键测算指标的确
定依据及合理性，与现有类似产品及同行业可比公司的对比情况
1、效益测算的数据明细
发行人 2022 年度向特定对象发行 A 股股票所实施的募投项目中，预计实现效益的为直写光刻设备产业应用深化拓展项目与 IC 载板、类载板直写光刻设备
产业化项目，其中：
（1）直写光刻设备产业应用深化拓展项目经济效益指标如下：
项目单位金额
总投资金额万元31756.192-39内部收益率（IRR)税后 - 14.95%内部收益率（IRR)税前 -- 17.25%净现值（NPV）税后 万元 6891.91
净现值（NPV）税前 万元 12437.49
回收期(税后)（含建设期）年8.07
回收期(税前)（含建设期）年7.34
项目达产后平均收入万元49631.40
项目达产后平均净利润万元8421.23
项目达产后平均毛利率-33.36%
项目达产后平均净利率-16.91%
（2）IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目经济效益指标如下：
项目单位金额
总投资金额万元23408.27内部收益率（IRR)税后 - 19.58%内部收益率（IRR)税前 - 22.51%净现值（NPV）税后 万元 9896.27
净现值（NPV）税前 万元 13958.46
回收期(税后)（含建设期）年6.43
回收期(税前)（含建设期）年5.91
项目达产后平均收入万元22548.95
项目达产后平均净利润万元5737.67
项目达产后平均毛利率-43.77%
项目达产后平均净利率-25.42%
2、效益测算的计算过程，单价、销量等关键测算指标的确定依据及合理性
本次各募投项目各项经济效益指标的具体测算过程及测算依据如下：
（1）直写光刻设备产业应用深化拓展项目
直写光刻设备产业应用深化拓展项目的建设期为36个月，项目期第一年为厂房建设，不产生收入；工程投入使用后第一年综合达产率17%，第二年综合达产率53%，第三年综合达产率89%，第四年达到设计生产能力，整体效益测算过程如下：
2-40单位：万元
序号 项目 T+1 T+2 T+3 T+4 T+5 T+6
1营业收入-8910.0028759.7247678.6352952.7851796.46
2营业成本-8891.6320271.0731118.1634690.6633850.93
3税金及附加---324.54379.97361.93
4销售费用-356.401150.391907.152118.112071.86
5管理费用2060.44334.75858.991336.171468.021439.11
6研发费用-534.601725.582860.723177.173107.79
7利润总额-2060.44-1207.384753.6810131.9011118.8610964.85
8所得稅--222.881519.781667.831644.73
9净利润-2060.44-1207.384530.808612.119451.039320.12
10毛利率-0.21%29.52%34.73%34.49%34.65%
11净利率--13.55%15.75%18.06%17.85%17.99%
续上表：
序号 项目 T+7 T+8 T+9 T+10 T+11
1营业收入50670.5149574.0648506.2747466.3246453.41
2营业成本32816.4232503.5832455.9832504.3932482.08
3税金及附加344.36327.26310.60294.38278.58
4销售费用2026.821982.961940.251898.651858.14
5管理费用1415.291387.881361.181339.641314.32
6研发费用3040.232974.442910.382847.982787.20
7利润总额11027.3910397.949527.888581.287733.10
8所得稅1654.111559.691429.181287.191159.96
9净利润9373.288838.258098.707294.086573.13
10毛利率35.24%34.43%33.09%31.52%30.08%
11净利率18.50%17.83%16.70%15.37%14.15%
*营业收入
直写光刻设备产业应用深化拓展项目建成投产后，发行人计划主要生产 PCB阻焊层直写光刻设备90台/套和新型显示、引线框架以及新能源光伏等新领域直
写光刻设备120台/套，达产年预计实现营业收入总额52952.78万元。
在项目产能设计方面，发行人主要依据下游客户产线建设进度及其采购需求、
2-41市场供需和竞争状况以及行业国产替代环境，并结合企业经营发展规划以及项目
场地建设规划，对本项目设计产能进行合理预测。
在项目价格预测方面，PCB 阻焊层直写光刻设备参考发行人报告期内同类在售产品价格，并考虑每年产品单价会有1%的降幅，新型显示、引线框架以及新能源光伏等新领域直写光刻设备参考发行人报告期内直写光刻设备产品价格，并考虑每年产品单价会有3%的降幅，达产年募投项目产品单价均略低于发行人历史产品单价水平，具备谨慎性与可实现性。
企业历史不含达产年募投项目产量总额产品名称税单价不含税单价取整占比（台/套）（万元)（万元/台/套）（万元/台/套）
PCB 阻焊层直写
90.00254.70240.1521613.4138.86%
光刻设备
新型显示、引线框架以及新能源
120.00295.35261.1631339.3761.14%
光伏等新领域直写光刻设备
合计210.00--52952.78100.00%
*生产成本
本项目的生产成本主要为用于生产上述产品的直接材料成本、直接人工成本、
折旧与摊销、运输费用与其他制造费用，发行人主要根据不同产品的实际生产耗用、材料和现有人力成本等因素进行测算，具体情况如下：
单位：万元
序号 项目 T+1 T+2 T+3 T+4 T+5 T+6
1营业成本-8891.6320271.0731118.1634690.6633850.93
1.1材料成本-4500.0014813.4025126.8028596.0028596.00
PCB 阻焊层直写
1.1.1-4500.007875.0011250.0011250.0011250.00
光刻设备
新型显示、引线
1.1.2框架、新能源光--6938.4013876.8017346.0017346.00
伏直写光刻设备
1.2人工成本-1925.002240.002307.202307.202307.20
1.3折旧与摊销-2199.332488.112512.272512.271697.83
1.4运输费用-44.55143.80238.39264.76258.98
2-421.5其他制造费用-222.75585.76933.501010.43990.92
续上表：
序号 项目 T+7 T+8 T+9 T+10 T+11
1营业成本32816.4232503.5832455.9832504.3932482.08
1.1材料成本28596.0028596.0028596.0028596.0028596.00
PCB 阻焊层直
1.1.111250.0011250.0011250.0011250.0011250.00
写光刻设备
新型显示、引线
框架、新能源光
1.1.217346.0017346.0017346.0017346.0017346.00
伏直写光刻设备
1.2人工成本2376.422376.422376.422447.712447.71
1.3折旧与摊销618.76329.97305.82305.82305.82
1.4运输费用253.35247.87242.53237.33232.27
1.5其他制造费用971.89953.33935.21917.54900.29其中，本项目材料成本系公司以现有材料成本为基础，根据未来产品升级发展规划与工艺技术改进需求进行取值，运输费用与其他制造费用根据发行人
2019年-2022年1-6月成本占收入比例，取值略高于历史水平，具备谨慎性。
材料成本运输费用其他制造费用历史占收入历史占收入历史占收入项目募投项募投项募投项
比重(三年一比重(三年比重(三年一目取值目取值目取值期平均）一期平均）期平均）
PCB系列 LDI
52.22%50.00%0.41%0.50%2.48%2.50%
产品
PCB阻焊层直
51.81%49.00%0.26%0.50%1.33%1.50%
写光刻设备
注 1：PCB阻焊层直写光刻设备参考公司历史同类产品数据，新型显示、引线框架、新能源光伏直写光刻设备参考公司历史 PCB直写光刻设备产品综合数据；
注2：三年一期平均系公司2019年至2022年1-6月份产品收入成本平均。
直接人工根据前次募投项目平均工资水平、发行人当前员工平均工资水平，并结合项目规划人员数量测算，此外，根据社会经济发展状况，本项目考虑每3年薪酬增长3%，测算具备谨慎性；本次项目整体人员薪酬水平与前次募投平均薪酬水平对比如下：
2-43前募平均薪酬（万元）
本次募投项目薪
薪酬对比 高端 PCB 激光直接成像 晶圆级封装（WLP）直写光酬（万元）（LDI）设备升级迭代项目 刻设备产业化项目项目人员整体
13.1714.1014.88
平均年薪
固定资产折旧政策为房屋与建筑物按照40年折旧，生产设备按照5年折旧，残值率取3%。软件按照3年摊销，残值率取0%，与企业采用的会计计量方法保持一致。
*主要税费测算过程本项目增值税按照应纳税增值额（应纳税额按应纳税销售额乘以适用税率、扣除当期允许抵扣的进项税、加免抵退税不得免征和抵扣金额后的余额）计算；
城市维护建设税按实际缴纳流转税额的7%计缴，教育费附加按实际缴纳流转税额的5%计缴。
*期间费用
本项目预计的期间费用为销售费用、管理费用和研发费用。销售费用、管理费用、研发费用比例参考发行人历史财务报表并结合本项目预期情况估算。
销售费用主要包括市场营销、推广等相关的费用，本项目达产年销售费用占当期营业收入比例为4.00%。报告期内，发行人销售费用在剔除原有销售人员薪酬及折旧费用后占营业收入的比例平均为3.99%，本次募投项目测算的销售费用率测算较为谨慎、合理。
管理费用主要包括差旅费、服务管理等运营管理费用与及新增项目经理等管
理人员薪酬，本项目达产年的运营管理费用占当期营业收入的比例为2.50%。报告期内，发行人管理费用剔除原有管理人员薪酬、股份支付、折旧费用后占营业收入比例为2.10%，本次募投项目测算的管理费用率测算较为谨慎、合理。
研发费用主要包括研发投入相关费用，本项目达产年的研发费用占当期营业收入的比例为6.00%。报告期内，发行人研发费用剔除原有研发人员薪酬及折旧费用后占营业收入比例为5.66%，本次募投项目测算的研发费用率测算较为谨慎、合理。
2-44募投项目不含薪
项目2019年度2020年度2021年度平均酬取值比例销售费用率（剔除
4.18%3.96%3.92%3.99%4.00%
薪酬）管理费用率（剔除
2.51%2.68%1.56%2.10%2.50%
薪酬）研发费用率（剔除
7.08%5.00%5.50%5.66%6.00%
薪酬）
*所得税
本项目的所得税按15%测算。
（2）IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目
IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目的建设期为 36 个月，项目期第一年为厂房建设，不产生收入；工程投入使用后第一年综合达产率26%，第二年综合达产率71%，第三年综合达产率91%，第四年达到设计生产能力，整体效益测算过程如下：
单位：万元
序号 项目 T+1 T+2 T+3 T+4 T+5 T+6
1营业收入-6789.6018291.0722784.8024094.6423556.24
2营业成本-5386.6110830.3613053.1913643.9713129.40
3税金及附加--22.34202.99214.14205.74
4销售费用-271.58731.64911.39963.79942.25
5管理费用1205.10281.74569.28684.98717.73704.27
6研发费用-407.381097.461367.091445.681413.37
7利润总额-1205.10442.295039.986565.177109.357161.21
8所得稅--641.58984.771066.401074.18
9净利润-1205.10442.294398.405580.396042.956087.03
10毛利率-20.66%40.79%42.71%43.37%44.26%
11净利率-6.51%24.05%24.49%25.08%25.84%（续上表）
序号 项目 T+7 T+8 T+9 T+10 T+11
1营业收入23032.1422521.9422025.2421541.6521070.79
2营业成本12542.8112367.7812321.3112350.9512342.57
3税金及附加197.56189.60181.85174.31166.96
2-454销售费用921.29900.88881.01861.67842.83
5管理费用694.62681.87669.45660.93649.16
6研发费用1381.931351.321321.511292.501264.25
7利润总额7293.937030.506650.106201.305805.02
8所得稅1094.091054.57997.52930.19870.75
9净利润6199.845975.925652.595271.104934.27
10毛利率45.54%45.09%44.06%42.66%41.42%
11净利率26.92%26.53%25.66%24.47%23.42%
*营业收入
IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目建成投产后，发行人计划主要生产 IC 载板直写光刻设备 30 台/套和类载板直写光刻设备 40 台/套，达产年预计实现营业收入总额24094.64万元。
在项目产能设计方面，发行人主要依据下游客户产线建设进度及其采购需求、市场供需和竞争状况以及行业国产替代环境，并结合企业经营发展规划以及项目场地建设规划，对本项目设计产能进行合理预测。
在项目价格预测方面，IC 载板直写光刻设备参考发行人报告期内同类在售产品（MAS6 与 MAS8）价格，并考虑每年产品单价会有 1%的降幅，类载板直写光刻设备参考发行人报告期内同类在售产品（MAS12 和 MAS15）价格，并考虑每年产品单价会有3%的降幅，达产年募投项目产品单价均略低于发行人历史产品单价水平，具备谨慎性与可实现性。
企业历史不达产年募投项目产量总额（万产品名称含税单价（万不含税单价取整占比（台/套）元)元/台套）（万元/台套）
IC 载板直写光刻设备 30.00 327.36 307.39 9221.72 36.36%类载板直写光刻设备
40.00423.54371.8214872.9263.64%
产品
合计70.00--24094.64100.00%
*生产成本
本项目的生产成本主要为用于生产上述产品的直接材料成本、直接人工成本、
折旧与摊销、运输费用与其他制造费用，发行人主要根据不同产品的实际生产耗
2-46用、材料和现有人力成本等因素进行测算，具体情况如下：
单位：万元
序号 项目 T+1 T+2 T+3 T+4 T+5 T+6
1营业成本-5386.6110830.3613053.1913643.9713129.40
1.1材料成本-2812.807699.209772.8010368.0010368.00
IC 载板直
1.1.1-595.201785.602380.802976.002976.00
写光刻设备类载板直写
1.1.2-2217.605913.607392.007392.007392.00
光刻设备
1.2人工成本-1070.001201.001237.031237.031237.03
1.3折旧与摊销-1373.451571.121589.811539.191034.09
1.4运输费用-33.9591.46113.92120.47117.78
其他制造费
1.5-96.41267.59339.63379.27372.50
用
续上表：
序号 项目 T+7 T+8 T+9 T+10 T+11
1营业成本12542.8112367.7812321.3112350.9512342.57
1.1材料成本10368.0010368.0010368.0010368.0010368.00
IC 载板直写
1.1.12976.002976.002976.002976.002976.00
光刻设备类载板直写
1.1.27392.007392.007392.007392.007392.00
光刻设备
1.2人工成本1274.141274.141274.141312.371312.37
1.3折旧与摊销419.61253.59215.91215.91215.91
1.4运输费用115.16112.61110.13107.71105.35
其他制造费
1.5365.89359.44353.13346.96340.94
用其中，本项目材料成本系公司以现有材料成本为基础，根据未来产品升级发展规划与工艺技术改进需求进行取值，运输费用与其他制造费用根据发行人
2019年-2022年1-6月成本占收入比例，取值略高于历史水平，具备谨慎性。
材料成本运输费用其他制造费用历史占收历史占收入历史占收入
项目入比重(三募投项募投项募投项
比重(三年比重(三年一年一期平目取值目取值目取值一期平均）期平均）
均）
2-47IC载板LDI产品 34.85% 31.00% 0.31% 0.50% 2.05% 2.50%
类载板 LDI产品 47.17% 44.00% 0.32% 0.50% 0.87% 1.00%
注 1：IC 载板、类载板直写光刻设备参考企业历史同类产品水平数据；
注2：三年一期平均系企业历史2019年至2022年1-6月份产品收入成本平均。
直接人工根据前次募投项目平均工资水平、发行人当前员工平均工资水平，并结合项目规划人员数量测算，此外，根据社会经济发展状况，本项目考虑每3年薪酬增长3%，测算具备谨慎性；本次项目整体人员薪酬水平与前次募投平均薪酬水平对比如下：
前募平均薪酬（万元）本次募投项目薪
薪酬对比 高端 PCB激光直接成像 晶圆级封装（WLP）直写酬（万元）（LDI）设备升级迭代项目 光刻设备产业化项目项目人员整体
13.1714.1014.59
平均年薪
固定资产折旧政策为房屋与建筑物按照40年折旧，生产设备按照5年折旧，残值率取3%。软件按照3年摊销，残值率取0%，与企业采用的会计计量方法保持一致。
*主要税费测算过程本项目增值税按照应纳税增值额（应纳税额按应纳税销售额乘以适用税率、扣除当期允许抵扣的进项税、加免抵退税不得免征和抵扣金额后的余额）计算；
城市维护建设税按实际缴纳流转税额的7%计缴，教育费附加按实际缴纳流转税额的5%计缴。
*期间费用
本项目预计的期间费用为销售费用、管理费用和研发费用。销售费用、管理费用、研发费用比例参考发行人历史财务报表并结合本项目预期情况估算。
销售费用主要包括市场营销、推广等相关的费用，本项目达产年销售费用占当期营业收入比例为4.00%。报告期内，发行人销售费用在剔除原有销售人员薪酬及折旧费用后占营业收入的比例平均为3.99%，本次募投项目测算的销售费用率测算较为谨慎、合理。
管理费用主要包括差旅费、服务管理等运营管理费用与及新增项目经理等管
2-48理人员薪酬，本项目达产年的运营管理费用占当期营业收入的比例为2.50%。报告期内，发行人管理费用剔除原有管理人员薪酬、股份支付、折旧费用后占营业收入比例为2.10%，本次募投项目测算的管理费用率测算较为谨慎、合理。
研发费用主要包括研发投入相关费用，本项目达产年的研发费用占当期营业收入的比例为6.00%。报告期内，发行人研发费用剔除原有研发人员薪酬及折旧费用后占营业收入比例为5.66%，本次募投项目测算的研发费用率测算较为谨慎、合理。
募投项目不含薪项目2019年度2020年度2021年度平均酬取值比例销售费用率（剔除
4.18%3.96%3.92%3.99%4.00%
薪酬）管理费用率（剔除
2.51%2.68%1.56%2.10%2.50%
薪酬）研发费用率（剔除
7.08%5.00%5.50%5.66%6.00%
薪酬）
*所得税
本项目的所得税按15%测算。
3、募投项目与现有类似产品及同行业可比公司的对比情况
（1）本次募投项目与现有类似产品效益情况对比
*直写光刻设备产业应用深化拓展项目
直写光刻设备产业应用深化拓展项目产品主要为 PCB 阻焊层直写光刻设备
和新型显示、引线框架以及新能源光伏等新领域直写光刻设备。其中 PCB 阻焊层直写光刻设备达产年毛利率为 35.85%，公司现有 PCB 阻焊层直写光刻设备产品2019年-2022年1-6月三年一期平均毛利率为42.19%；新型显示、引线框架
以及新能源光伏等新领域直写光刻设备达产年毛利率 33.55%，公司现有 PCB 系列直写光刻设备产品2019年-2022年1-6月三年一期平均毛利率为39.79%。
直写光刻设备产业应用深化拓展项目产品毛利均比公司现有类似产品毛利低，主要是由于：一方面公司现有生产设备基本已经折旧完毕，本次募投项目投入新设备折旧比较高；另一方面，未来随着产品单价下滑，上游原材料不随单价
2-49同步下降，毛利率会降低，整体测算效益具备谨慎性与合理性。
* IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目
IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目产品主要为 IC 载板直写光刻设备
产品和类载板直写光刻设备产品。其中 IC 载板直写光刻设备达产年毛利率为
53.21%，公司现有 IC 载板直写光刻设备产品 2019 年-2022 年 1-6 月三年一期平
均毛利率为60.31%；类载板直写光刻设备达产年毛利率37.28%，公司现有类载板直写光刻设备产品2019年-2022年1-6月三年一期平均毛利率为49.22%。
直写光刻设备产业应用深化拓展项目产品毛利均比公司现有类似产品毛利低，主要是由于：一方面公司现有生产设备基本已经折旧完毕，本次募投项目投入新设备折旧比较高；另一方面，未来随着产品单价下滑，类载板直写光刻设备产品单价下降幅度较 IC 载板直写光刻设备高，上游原材料不随单价同步下降，毛利率降低幅度存在差异，整体测算效益具备谨慎性与合理性。
（2）本次募投项目与可比公司效益情况、同行业可比公司可比项目效益情况对比情况
本次生产型募投项目包括直写光刻设备产业应用深化拓展项目和 IC 载板、
类载板直写光刻设备产业化项目，与近年来可比公司再融资可比项目效益情况对比，属于合理范围内，整体效益的关键测算指标的确定具有合理性，效益实现具备可行性，具体对比如下：
中微公司
公司芯碁微装（688630）芯源微（688037）
（688012）
IC 载板、直写光刻高端晶圆类载板直上海临港设备产业中微产业化基处理设备项目写光刻设研发及产应用深化地建设项目产业化项备产业化业化项目
拓展项目目（二期）项目
总投资（万元）31756.1923408.27317732.6664000.0028939.27
达产后收入（万元）49631.4022548.95746644.0092700.0074500.00
达产后净利润（万元） 8421.23 5737.67 N/A 17548.75 13352.18
毛利率 33.36% 43.77% N/A 43.09% 43.16%
净利率 16.91% 25.42% N/A 18.93% 19.01%
2-5011.83%；
内部收益率（税后）14.95%19.58%15.76%20.03%
10.25%
投资回收期（税后，年）8.076.4310.00；11.127.837.59单位固定资产投资产出
1.871.283.301.973.15
比
单位固定资产净利润 0.32 0.33 N/A 0.37 0.56
单位投资产出比1.560.962.351.452.57
续上表：
长川科技
公司北方华创（002371）精测电子（300567）
（300604）
上海精测 Micro-LED半导体装高精密电半导体技显示全制备产业化子元器件探针台研发术有限公程检测设项目基地扩产产业化基及产业化项司研发及备的研发
项目（四地扩产项目产业化建及产业化
期）目（三期）设项目项目
总投资（万元）381632.0080000.0030001.04120000.0036477.00
达产后收入（万元）746008.0044272.8824570.00129200.0069300.00
达产后净利润（万元）80667.0013260.883252.8527513.009936.00
毛利率 N/A N/A 50.00% 54.87% 46.24%
净利率 N/A N/A 13.24% 21.29% 14.34%
内部收益率（税后）16.21%13.20%12.00%16.75%18.36%
投资回收期（税后，年） 7.09 7.80 6.53 N/A N/A单位固定资产投资产出比 2.14 N/A 5.40 1.50 2.29
单位固定资产净利润 0.23 N/A 0.72 0.32 0.33
单位投资产出比 1.95 N/A 0.82 1.08 1.90
二、申报会计师的核查程序及核查意见
（一）核查程序
申报会计师执行的核查程序如下：
根据《科创板上市公司证券发行上市审核问答》第4问以及《再融资业务若干问题解答》第22问的相关规定，保荐机构和申报会计师履行了如下核查程序：
1、查阅了发行人关于本次发行的董事会决议、股东大会决议、本次募集资
金投资项目的可行性研究报告，了解了相关项目的投资构成，对补充流动资金、
2-51偿还贷款、非资本性投入金额进行了识别、分析、复核；
2、查阅了发行人招股说明书、2020至2021年度审计报告、2022年第三季度报告，以及前次募集资金使用情况报告及鉴证报告，了解了发行人的业务规模及增长情况、现金流状况、资产构成及资金占用情况，复核了公司非资本性投入的原因及合理性；
3、查阅同行业可比上市公司公开信息，了解了可比上市公司资产负债率情况；
4、查阅第三方机构编制的本次募投项目的可行性研究报告，复核各项投资
金额、效益预测的具体测算依据、测算假设和测算过程；
5、对本次募投项目参考数据进行复核，包括比较产品单价、毛利率、销售
费用率、管理费用率、研发费用率等；
6、与同行业可比上市公司同类募投项目的效益情况进行对比分析；
7、访谈发行人管理层，结合对本次募投产品公开资料检索及公开报告查询，
复核本次募投项目产品销售可实现性；
8、对募投项目折旧、摊销金额、募投项目利润指标进行测算，复核募投项
目折旧、摊销对公司未来财务状况、资产结构的影响；
9、对本募投项目预测的各年达产率设置的测算依据进行复核。
（二）核查意见经核查，申报会计师认为：
1、（1）公司募投项目的建筑面积、设备购置数量的确定具有合理性，与新
增产能相匹配；（2）本次79768.57万元的募集资金总额中，20414.82万元用于非资本性支出，均用于补充流动资金，占募集资金总额的比例为25.59%，未超过本次募集资金总额的30%；（3）经测算，发行人本次融资规模具有必要性和合理性；（4）本次生产型募投项目包括直写光刻设备产业应用深化拓展项
目和 IC 载板、类载板直写光刻设备产业化项目，与近年来可比公司再融资可比项目效益情况对比，属于合理范围内，整体效益的关键测算指标的确定具有合理
2-52性，效益实现具备可行性。
2、根据《科创板上市公司证券发行上市审核问答》第4问，逐项发表核查
意见如下：
（1）本次募投项目中各项目用于补流资金及研发费用等视同补流的金额合
计占募集资金总额的比例未超过30%；
（2）本次补流资金规模具有合理性和必要性；
（3）本次募投建设项目在场地建设、设备投入和研发费用支出等方面与产
能规划、人员规模、研发能力和发展水平等相匹配，各募投项目的具体构成及测算依据具有合理基础，本次募投建设项目募集资金规模具有合理性。
3、根据《再融资业务若干问题解答》第22问，逐项发表核查意见如下：
（1）对于披露预计效益的募投项目，上市公司应结合可研报告、内部决策
文件或其他同类文件的内容，披露效益预测的假设条件、计算基础及计算过程。
发行前可研报告超过一年的，上市公司应就预计效益的计算基础是否发生变化、变化的具体内容及对效益测算的影响进行补充说明。
申报会计师认为：公司已结合可研报告、内部决策文件，披露了效益预测的假设条件、计算基础及计算过程，公司本次募投项目的可研报告出具时间为2022年，截至本回复出具日未超过一年。
（2）公司披露的效益指标为内部收益率或投资回收期的，应明确内部收益
率或投资回收期的测算过程以及所使用的收益数据，并说明募投项目实施后对公司经营的预计影响。
申报会计师认为：公司本次募投项目内部收益率及投资回收期的计算过程及
所使用的收益数据合理，公司已补充披露募投项目实施后对公司经营的预计影响。
（3）上市公司应在预计效益测算的基础上，与现有业务的经营情况进行纵向对比，说明增长率、毛利率、预测净利率等收益指标的合理性，或与同行业可比公司的经营情况进行横向比较，说明增长率、毛利率等收益指标的合理性。
申报会计师认为：公司已在预计效益测算的基础上，与现有业务的经营情况
2-53进行纵向对比、与同行业可比公司的经营情况进行横向对比。公司本次募投项目
的预计效益测算的收入增长率、毛利率收益指标具有合理性。
（4）保荐机构应结合现有业务或同行业上市公司业务开展情况，对效益预
测的计算方式、计算基础进行核查，并就效益预测的谨慎性、合理性发表意见。
效益预测基础或经营环境发生变化的，保荐机构应督促公司在发行前更新披露本次募投项目的预计效益。
申报会计师认为：发行人本次募投项目效益预测具备谨慎性、合理性。发行人已在募集说明书中披露募投项目预计效益情况、效益测算的主要过程及影响要素，并充分提示募投项目新增产能可能无法及时消化、折旧大幅增加导致利润下滑等风险。
2-54问题三（审核问询函问题4）关于业务与经营情况
4.1根据申报材料，1）报告期内，公司主营业务收入分别为20226.12万元、
30741.02万元、48953.76万元和25269.13万元，公司采用直销为主，经销为辅的销售模式。2）报告期内，公司经营活动产生的现金流量净额分别为-1587.63万元、-5970.96万元、3021.87万元和-2613.30万元。3）报告期内，公司向前五名客户合计销售金额占当期营业收入的比例分别为55.89%、38.26%、23.42%
和34.42%，前五大客户变动较大。
发行人说明：（1）公司采用直销、经销相结合模式的具体背景、是否符合
行业惯例，列示不同销售模式下的收入金额、对应产品或客户类型、收入确认方式；（2）量化分析公司经营活动现金流量净额波动原因，相关因素是否将对公司经营发展及本次募投项目实施造成影响；（3）报告期内，前五大客户销售额占比波动的原因、主要客户变动原因。
请保荐机构、申报会计师对上述问题进行核查并发表明确意见。
一、发行人说明
（一）公司采用直销、经销相结合模式的具体背景、是否符合行业惯例，列示不同销售模式下的收入金额、对应产品或客户类型、收入确认方式
1、公司采用直销、经销相结合模式的具体背景、是否符合行业惯例
公司采用直销为主，经销为辅的销售模式。报告期初，公司全部采用直销模式进行销售，公司根据产品的应用领域和市场特点，借助产品和技术优势不断拓展国内外行业知名客户资源，深入挖掘客户需求，获取在细分市场的业务机会。
随着公司产品知名度、产品性能的提升，公司产品拥有同国外同类别竞品竞争国外市场的能力，由于部分经销代理商熟悉国际市场环境，且其拥有丰富的国外和国内的客户资源，因此公司为争取更多的国际市场份额，与知名的经销代理商建立合作关系，经销代理商与公司签订经销代理协议，向公司提供市场和客户信息，推荐意向客户，公司与客户商谈后签署销售合同。
同行业公司中大族数控、天准科技均披露了存在经销代理模式的销售业务，公司采用直销、经销代理相结合模式符合行业惯例。
2-552、不同销售模式下的收入金额、对应产品或客户类型、收入确认方式
报告期内，公司直销和经销代理模式的营业收入及占比情况如下：
单位：万元
2022年1-9月2021年度2020年度2019年度
销售模式金额占比金额占比金额占比金额占比
直销40141.6698.4246748.5495.5030741.02100.0020226.12100.00
经销646.021.582205.224.50----
合计40787.68100.0048953.76100.0030741.02100.0020226.12100.00
由上表可知，公司自2021年度开始采用直销和经销代理相结合的销售模式，报告期内经销代理模式收入占比较小。直销模式的客户主要为 PCB 及泛半导体制造厂商，直销模式下的主要产品类型为 DI-LINE 系列、MAS 系列、NEX 系列等 PCB 设备及 LDW 系列、MLL 系列等泛半导体设备，直销模式的收入确认方式为：完成设备安装调试后经客户验收确认收入；经销代理模式下的终端客户主
要为 PCB 制造厂商，目前销售的主要产品类型为 MAS 系列和 DILINE 系列的PCB 设备，经销代理模式的收入确认方式为：完成设备安装调试后经终端客户验收确认收入。
（二）量化分析公司经营活动现金流量净额波动原因，相关因素是否将对公司经营发展及本次募投项目实施造成影响
报告期内，公司经营活动现金流的变动情况及各项目变动金额统计如下：
单位：万元
项目2022年1-9月2021年度2020年度2019年度
销售商品、提供劳务收到的现金28071.3441530.9622821.1315806.75
收到的税费返还375.25997.44--
收到其他与经营活动有关的现金6535.013144.004299.991114.21
经营活动现金流入小计34981.6045672.3927121.1316920.96
购买商品、接受劳务支付的现金27323.8529901.3724800.1113470.47
支付给职工以及为职工支付的现金5474.154832.433213.342046.11
支付的各项税费3430.462839.831520.50336.85
支付其他与经营活动有关的现金3994.345076.903558.142655.17
经营活动现金流出小计40222.8042650.5233092.0918508.59
2-56经营活动产生的现金流量净额-5241.213021.87-5970.96-1587.63
由上表可知，报告期内，公司经营活动产生的现金流量净额分别为-1587.63万元、-5970.96万元、3021.87万元和-5241.21万元，经营活动现金流量净额波动较大。
报告期内，公司经营活动现金流量与净利润的关系具体如下：
单位：万元
项目2022年1-9月2021年度2020年度2019年度
净利润8778.3710615.737103.894762.51
加：资产减值准备66.4155.30-0.3246.10
信用减值损失429.601283.23389.01518.05
固定资产折旧、油气资产折耗、生
651.53584.06345.49219.81
产性生物资产折旧
使用权资产摊销10.6813.60--
无形资产摊销26.293.90-3.68
长期待摊费用摊销11.237.48-24.94
处置固定资产、无形资产和其他长
86.38-0.44-0.67-
期资产的损失（收益以“-”号填列）公允价值变动损失（收益以“-”号
167.09-154.28-35.54-
填列）
财务费用（收益以“-”号填列）-241.38188.72186.10-13.18
投资损失（收益以“-”号填列）-563.69-554.10-215.08-30.46递延所得税资产减少（增加以“-”-730.13-279.88-489.21-148.68号填列）递延所得税负债增加（减少以“-”-25.0621.523.02-号填列）
存货的减少（增加以“-”号填列）-7842.73-6552.16-3816.20-6390.02经营性应收项目的减少（增加以-11135.53-14663.84-12713.20-9303.98“-”号填列）经营性应付项目的增加（减少以
5069.7312453.043271.757677.66“-”号填列）
股权激励费用---1045.93
经营活动产生的现金流量净额-5241.213021.87-5970.96-1587.63
报告期内，经营活动现金流量净额波动具体原因分析如下：
（1）2020年度经营活动现金流量净额为负且相比2019年度下降较大，主
要原因系：*公司2020年度相比2019年度在手订单持续增加，销售规模快速增
2-57长，公司 2020 年度增加了原材料备货，其中 DMD 集成块类和曝光光源类材料分
别采购了6757.67万元和6275.77万元，占2020年度公司原材料备货总量的
60.18%，导致2020年度购买商品、接受劳务支付的现金较多，增加11329.64万元；*公司2020年第四季度确认收入金额为18320.63万元，相比2019年第四季度收入增加了62.58%，2020年第四季度确认的收入占比较高，2020年末信用期内的应收账款较大，2020年末公司应收胜宏科技（惠州）股份有限公司
3325.00万元、应收红板（江西）有限公司2954.24万元，占2020年末公司
应收账款余额比例为32.33%，上述大额应收账款导致公司2020年度经营性应收增加较大。
（2）2021年度经营活动现金流量净额相比2020年度由负转正，主要原因
系：*公司2020年第四季度确认的收入在2021年度形成回款，2021年度第四季度收入金额为19903.75万元，相比2020年第四季度收入增加8.64%，较为稳定，公司2021年度营业收入相比2020年度增加了18215.75万元，应收账款及应收票据只增加了12620.96万元，导致公司2021年度销售商品、提供劳务收到的现金相比2020年度增加较多；*因公司上市后，给公司开具承兑汇票的银行增加了，公司2021年度根据自身的经营政策增加了使用应付票据的形式支付货款来改善经营活动现金流，2021年末应付票据余额较2020年末上涨较多，由 1196.77 万元上涨到 10128.71 万元，导致公司 2021 年度虽 DMD 集成块类原材料备货持续较多，但经营性应付增加金额高于存货增加金额，增加承兑汇票形式支付供应商款项改善了公司2021年度经营活动现金流量。
（3）2022年1-9月经营活动现金流量净额相比2021年度由正转负，主要原
因系：*公司2022年1-9月营业收入金额少于2021年度，但2022年9月末应收票据及应收账款余额相比2021年末增加了8598.45万元，主要为应收生益电子股份有限公司3882.50万元、江西科翔电子科技有限公司3321.60万元，占2022年9月末公司应收账款余额比例为17.34%，上述情况导致公司2022年
1-9月销售商品、提供劳务收到的现金少于2021年度。*公司2022年度在手订
单持续增加，销售规模持续增长，公司继续采购及领用了较多的原材料，同时由于疫情、贸易摩擦原因的战略备货，综合导致存货金额增加较大，公司2022年
9月末原材料和在产品金额相比2021年末增加了5614.84万元，加上2021年
2-58末开给供应商的承兑汇票在2022年度承兑付款，导致2022年1-9月购买商品、接受劳务支付的现金较多，仅比2021年度少8.62%。
综上，公司经营活动现金流量净额波动的原因主要是受收入季节性特征和原材料备货的影响，导致年度之间经营性应收和应付金额变动存在差异。公司目前货币资金余额充裕，各项偿债能力指标良好，偿债风险和流动性风险较小，故公司经营活动现金流量净额波动对公司的经营发展及本次募投项目实施不存在重大影响。
（三）报告期内，前五大客户销售额占比波动的原因、主要客户变动原因
1、报告期内，发行人前五大客户情况
（1）2022年1-9月前五大客户情况序占营业收入是否长
客户名称金额（万元）其他合同情况
号比例（%）期合作
生益电子股份截至目前，有正在走用印流
14685.8411.39%是
有限公司程的在途订单定颖电子（黄
23034.807.38%是2021年签订4份销售合同
石）有限公司广东世运电路
3科技股份有限2362.835.74%是2022年签订1份销售合同
公司江门崇达电路
41380.533.35%是2021年签订1份销售合同
技术有限公司
宏锐兴（湖北）
5电子有限责任1353.983.29%是2021年签订1份销售合同
公司
合计12817.9831.15%--
注：上表中的其他合同是除当年（期）确认收入之外的其他业务关系，下表同。
（2）2021年度前五大客户情况序占营业收入是否长
客户名称金额（万元）其他合同情况
号比例（%）期合作江西科翔电子
13068.086.23是2022年签订2份销售合同
科技有限公司胜宏科技（惠
2州）股份有限公2496.835.07是2022年签订2份销售合同
司江苏世之高智
2020年签订2份销售合同；
3能装备有限公2159.294.39是
2021年签订2份销售合同
司
2-59深圳市景旺电
4子股份有限公2142.484.35是2022年签订1份销售合同
司柏承（南通）微
5电子科技有限1663.513.38是2022年签订1份销售订单
公司
合计11530.1923.42--
（3）2020年度前五大客户情况序占营业收入是否长
客户名称金额（万元）其他合同情况
号比例（%）期合作胜宏科技（惠*2021年签订3份销售合
1州）股份有限公4628.3214.93是同；*2022年签订2份销
司售合同
*2021年签订2份销售合红板（江西）有
23350.4410.80是同；*2022年签订2份销
限公司售合同柏承科技（昆山）股份有限公是2022年签订1份销售合同司
31741.695.62柏承（南通）微电子科技有限是2021年签订1份销售合同公司无锡深南电路是2021年签订2份销售合同有限公司
41473.134.75
深南电路股份是2021年签订1份销售合同有限公司深圳优诺辰智
5能控制科技有1423.014.59是2021年签订1份销售合同
限公司
合计12616.5940.69--
注：上表中，受同一实际控制人控制的销售客户，已合并计算销售额。
（4）2019年度前五大客户情况序占营业收入是否长
客户名称金额（万元）其他合同情况
号比例（%）期合作浙江罗奇泰克科技股份有限是2022年签订1份销售合同公司
17231.9435.76
南京市罗奇泰克电子有限公是2021年签订1份销售合同司深南电路股份是2021年签订1份销售合同有限公司
21674.088.28
无锡深南电路是2021年签订2份销售合同有限公司
3红板（江西）有1061.955.25是*2020年签订4份销售合
2-60限公司同；*2021年签订2份销
售合同；*2022年签订2份销售合同
珠海元盛电子*2020年签订2份销售合
4科技股份有限672.573.33是同；*2021年签订2份销
公司售合同
*2020年签订1份销售合宏华胜精密电同；*2021年签订3份销
5子（烟台）有限661.253.27是
售合同；*2022年签订1公司份销售合同
合计11301.7855.89--
注：上表中，受同一实际控制人控制的销售客户，已合并计算销售额。
2、前五大客户销售额占比波动的原因、主要客户变动原因
（1）报告期内，公司前五大客户销售额占比分别为55.89%、40.69%、23.42%
和31.15%，总体呈下降趋势，主要客户变动较大，主要是由于报告期内公司业务规模不断扩大，营业收入快速增长，公司处于快速成长阶段，2019年度、2020年度、2021年度和2022年1-9月客户数量分别为47个、90个、127个和129个，新增客户较多，同时公司客户均为国内知名 PCB 制造商，客户自身规模较大，需求设备数量较多，采购金额较大。营业收入规模及客户数量的增加导致前五大客户销售额占比下降、主要客户变动较大；
（2）公司产品为专用设备，具有单台设备价格高、使用周期较长的特点，公司设备销售收入与客户设备购置支出计划密切相关，客户设备采购及更新周期受到产能扩建及 PCB 工艺更新等因素的影响，公司产品并非为下游客户每年需重复采购的设备，下游客户生产线的更新换代具有一定的时间周期，单个客户每年的采购需求并不均衡，如2022年1-9月份，因生益电子东莞厂区建设以及吉安厂区产线替代购买设备导致当年度生益电子成为公司第一大客户；2021年度，因科翔电子九江及赣州工厂新建投产导致其当年度其成为公司第一大客户；
2020年度，因胜宏科技惠州工厂新设及产线建设导致其成为公司当年度第一大客户；2019年度浙江罗奇泰克科技股份有限公司和南京市罗奇泰克电子有限公
司因新建生产线向公司购置了一批 PCB 设备，成为当年第一大客户，因此报告期内公司前五大客户有较大的变化具有合理性。
同行业公司大族数控披露的2018年度至2021年1-6月前五大客户数量（剔
2-61除重复客户后）为15个，前五大客户重合度均较低，变动幅度较大，公司报告
期前五大客户变动大，与同行业可比公司具有一致性。
综上，由于报告期内发行人销售规模快速增长，不断开拓行业内的知名客户，同时发行人产品的使用周期较长，光刻设备采购及更新周期受到下游客户产能扩建及设备工艺更新等因素的影响，具有一定的周期性，公司与主要客户均为长期合作关系，报告期内发行人前五大客户销售额占比下降及前五大客户变动较大符合行业特点和自身经营状况，具有合理性。
二、申报会计师的核查程序及核查意见
（一）核查程序
申报会计师执行的核查程序如下：
1、对发行人管理层进行访谈，了解发行人采用直销与经销代理相结合的销
售模式的具体背景、报告期内经营活动现金流量净额波动原因及报告期前五大客户销售额占比波动及主要客户变动的真实原因；
2、获取发行人报告期各期的财务报表及现金流量表，分析公司经营活动现
金流量波动原因；
3、获取发行人报告期各期的分客户收入明细表，分析发行人报告期前五大
客户销售额占比波动的原因及前五大客户变动大的原因；
4、通过查询同行业可比公司的公开资料，分析发行人采用直销经销相结合
的销售模式及报告期主要客户变动较大是否符合行业惯例。
（二）核查意见经核查，申报会计师认为：
1、公司采用直销、经销代理相结合模式是为了争取更多的市场份额，具有
合理的业务背景，符合行业惯例；
2、公司经营活动现金流量净额波动的原因主要是受收入季节性特征和原材
料备货的影响，导致年度之间经营性应收和应付金额变动存在差异，波动原因具
2-62有合理性，公司经营活动现金流量净额波动对公司的经营发展及本次募投项目实
施不存在重大影响；
3、报告期内公司前五大客户销售额占比总体呈下降趋势及前五大客户变动
较大符合行业特点和自身经营状况，具有合理性。
4.2根据申报材料，1）报告期各期末，公司应收账款分别为9850.43万元、
18102.62万元、28284.29万元、32102.50万元，应收票据分别为1232.84万元、2840.25万元、4164.65万元、3004.27万元，均呈上升趋势。2）报告期各期末，公司存货分别为13045.40万元、16888.08万元、23440.47万元、
31318.82万元，呈上升趋势。3）报告期各期末，公司长期应收款净额分别为
592.42万元、785.91万元、316.86万元和880.35万元，系分期收款销售产品所致。4）报告期各期末，公司合同资产分别为0万元、0万元、1055.05万元和1787.42万元，系未到期的质保金，呈上升趋势。
请发行人说明：（1）分析应收账款、应收票据增长的原因及合理性，资产规模及账龄分布与同行业可比公司是否一致及差异原因，是否存在款项逾期或持续无法收回情况，减值计提是否充分；（2）结合在手订单或意向性订单、产品及原材料备货、下游安装及验收周期等，说明存货规模增长及各存货项目变化的具体原因，是否存在积压或滞销情形，减值计提是否充分；（3）公司针对不同客户采取不同收款政策的具体原因及依据，以及分期收款政策内容、主要客户情况、是否存在关联关系、款项收回情况；（4）分析质保金具体内容及上升原因。
请保荐机构、申报会计师对上述问题进行核查并发表明确意见。
一、发行人说明
（一）分析应收账款、应收票据增长的原因及合理性，资产规模及账龄分
布与同行业可比公司是否一致及差异原因，是否存在款项逾期或持续无法收回情况，减值计提是否充分
1、应收账款、应收票据增长的原因及合理性
2-63报告期各期末，公司应收账款、应收票据账面余额情况如下：
单位：万元
2019年12月
2022年9月30日2021年12月31日2020年12月31日
项目31日
/2022年1-9月/2021年度/2020年度
/2019年度
应收账款余额41535.3030507.3319419.7010613.54
应收票据余额1977.064406.582873.251249.40应收票据及应收账
43512.3634913.9122292.9511862.94
款余额合计
当期营业收入41148.7649224.5131008.7620226.12应收账款及应收票
据余额占当期营业105.74%70.93%71.89%58.65%收入的比例应收账款及应收票
24.63%56.61%87.92%-
据余额同比增长率营业收入同比增长
-58.74%53.31%-率
注：2022年9月30日应收账款及应收票据余额增长率24.63%是相比2021年12月31日余额的增长率。
报告期内，应收账款、应收票据增长的原因及合理性分析如下：
（1）公司应收账款及应收票据增长较快受业务规模迅速扩大影响
报告期各期末，公司应收账款及应收票据金额分别为11862.94万元、
22292.95万元、34913.91万元和43512.36万元，占同期营业收入的比重分别为
58.65%、71.89%、70.93%和105.74%（未年化），占比较高且近两年度占比较为稳定。报告期内，公司营业收入增长迅速，随着公司业务规模的不断扩大，公司应收账款及应收票据也相应出现较大幅度增长，2020年度，应收账款及应收票据占当期营业收入的比例增长较大，且应收账款及应收票据余额增长率明显高于营业收入增长率，主要系公司2020年第四季度确认收入金额较高，为18320.63万元，占当年度营业收入比例为59.60%，相比2019年第四季度收入金额增加了
62.58%，第四季度确认的收入占比较高导致2020年末信用期内的应收账款金额较大，如公司2020年度第一大客户胜宏科技（惠州）股份有限公司实现收入
4628.32万元，其中在第四季度实现收入3491.15万元。公司2020年末主要
应收账款明细情况如下：
单位：万元
2-642020年末余占应收账款截至2022年
序号单位名称
额比例（%）10月末回款
1胜宏科技（惠州）股份有限公司3325.0017.123325.00
2红板（江西）有限公司2954.2415.212954.24
3浙江罗奇泰克科技股份有限公司1886.859.721301.44
4深圳优诺辰智能控制科技有限公司1125.605.801125.60
5奥士康科技股份有限公司1051.255.411051.25
合计10342.9353.269757.53
由上表可知，2020年末的大额应收账款期后基本均已回款，浙江罗奇泰克科技股份有限公司剩余货款预计2022年末可以收回，不存在实质性坏账情况。
2021年度，应收账款及应收票据余额占当期营业收入的比例变动较小，应
收账款及应收票据增长率与营业收入增长率基本一致。
（2）客户付款流程较为复杂
公司客户多为规模较大的 PCB 及泛半导体制造厂商，支付款项的审批流程较为复杂，导致公司实际收款周期相对较长，但客户资信良好，应收账款的回收风险整体较低。
综上，报告期内公司应收账款及应收票据增长主要系业务规模增长和部分客户付款流程较长所致，公司对客户的信用政策报告期内未发生重大变化，公司与客户进行商业谈判时，对客户背景、资信情况、合作年限等因素综合考虑后，对于客户给予信用政策，并在销售合同中予以约定，一般在约定预付款、到货款、验收款等合同付款节点后，余款分期收款，具有合理的商业背景，不存在放宽信用政策来刺激销售收入的情形，应收账款期后基本均可收回，回收风险整体较低。
2、资产规模及账龄分布与同行业可比公司是否一致及差异原因，是否存在
款项逾期或持续无法收回情况，减值计提是否充分
（1）资产规模及账龄分布与同行业可比公司是否一致及差异原因
报告期各期末，公司应收账款及应收票据规模及账龄分布与同行业公司对比如下：
2-65*2022年9月末
同行业可比公司未披露2022年9月末应收账款及应收票据规模及账龄分布情况。
*2021年末账龄段占比情况大族数控天准科技同行业平均数发行人
1年以内95.47%95.21%95.34%85.52%
1-2年4.42%3.10%3.76%9.50%
2-3年0.10%1.68%0.89%4.97%
3-4年0.01%-0.01%-
4-5年-0.01%0.01%-
5年以上----
合计100.00%100.00%100.00%100.00%应收账款及应收票据
62.12%23.25%42.69%31.91%
余额占流动资产比例
*2020年末账龄段占比情况大族数控天准科技同行业平均数发行人
1年以内96.41%88.56%92.49%88.56%
1-2年3.52%11.09%7.31%11.37%
2-3年0.07%0.34%0.21%-
3-4年-0.02%0.01%0.07%
4-5年----
5年以上----
合计100.00%100.00%100.00%100.00%应收账款及应收票据
46.97%12.82%29.90%41.14%
余额占流动资产比例
*2019年末账龄段占比情况大族数控天准科技同行业平均数发行人
1年以内86.78%98.66%92.72%98.28%
1-2年13.02%1.28%7.15%1.53%
2-3年0.18%0.05%0.12%0.19%
3-4年----
2-664-5年0.02%-0.01%-
5年以上----
合计100.00%100.00%100.00%100.00%应收账款及应收票据
58.88%7.46%33.17%26.43%
余额占流动资产比例
注：天准科技未披露应收票据分账龄段情况，故上表中报告期内账龄段占比为应收账款账龄段占比
报告期内，公司应收账款及应收票据余额占流动资产比例与同行业公司存在差异，高于天准科技但低于大族数控。其中，天准科技2019年上市收到首发募集资金，使其流动资产里的货币资金及理财金额较大，同时其客户主要为苹果、三星等知名外企，回款习惯相对较好，报告期应收账款及应收票据余额相对较少，故2019年末和2020年末应收账款及应收票据占流动资产的比例较低，2021年末与公司相差不大；大族数控与公司的下游客户群体较为接近，但大族数控的营业收入规模较大，报告期的应收账款及应收票据余额较大，因此各年度其应收账款及应收票据余额占流动资产的比例高于公司。
综上，因不同公司的资产规模和资产结构和下游客户群体不同，导致公司应收账款及应收票据余额占流动资产比例与同行业公司存在差异，具有合理性报告期内，公司应收账款及应收票据规模及账龄分布与同行业公司相比存在一定差异，公司2020年末和2021年末账龄1年以上的应收账款及应收票据余额占比高于同行业平均水平，主要受胜宏科技和罗奇泰克回款周期较长所致。公司
2020年末和2021年末账龄1年以上的应收账款及应收票据客户情况主要如下：
2021
2021年末金
科目客户名称年末期后回款（万元）额（万元）账龄
应收票据胜宏科技（惠州）股份有限公司2330.071-2年2330.07
应收账款浙江罗奇泰克科技股份有限公司1686.852-3年1101.44
合计4016.92-3431.51
注：公司对浙江罗奇泰克科技股份有限公司应收账款2020年末余额为1886.85万元，账龄为1-2年。
由上表可知，公司2020年末和2021年末账龄1年以上的应收账款及应收票据余额占比高于同行业平均水平主要系胜宏科技（惠州）股份有限公司及浙
江罗奇泰克科技股份有限公司回款较慢所致，扣除该影响因素，公司2020年末2-67和2021年末账龄1年以内的应收账款及应收票据比例分别为96.84%和96.73%，
高于同行业可比公司，且报告期内较为稳定，上述2021年末账龄较长的应收账款和应收票据期后回款情况良好，回收风险较低，应收胜宏科技（惠州）股份有限公司款项截至目前已全部收回，浙江罗奇泰克科技股份有限公司剩余货款预计
2022年末可以收回。
（2）是否存在款项逾期或持续无法收回情况，减值计提是否充分
*公司应收账款及应收票据（商业承兑汇票）坏账准备计提政策与同行业公司比较
可比公司1年以内1-2年2-3年3-4年4-5年5年以上
大族数控3%10%30%50%50%100%
天准科技3%10%20%30%60%100%
平均值3%10%25%40%55%100%
发行人5%10%30%50%80%100%
由上表可知，公司与同行业可比公司执行的应收账款及应收票据坏账准备计提政策相比更为谨慎。
*公司坏账准备实际计提比例与同行业公司比较
报告期各期末，发行人与同行业可比公司的应收账款及应收票据坏账准备实际计提比例（期末应收账款及应收票据坏账准备余额/应收账款及应收票据余额）
情况如下：
可比公司2022年9月末2021年末2020年末2019年末
大族数控-3.08%2.99%3.78%
天准科技-3.09%3.84%2.42%
平均值-3.09%3.42%3.10%
发行人-4.73%5.08%6.44%
注：*同行业可比公司未披露2022年9月末应收账款及应收票据坏账准备计提情况；
*公司及同行业可比公司未对应收银行承兑汇票计提坏账准备，故存在应收账款及应收票据实际坏账准备计提比例低于坏账计提政策最小比例3%或5%的情况。
由上表可知，报告期内公司应收账款及应收票据坏账准备计提政策和实际计提比例与同行业可比公司相比不存在重大差异，减值准备计提充分。
2-68*报告期各期末，公司应收账款的期后回款情况
报告期各期主要客户的回款周期基本控制在180天以内回款50%，360天以内全部回款，同一客户不同时期的信用政策相对稳定，不存在通过不同信用政策刺激收入的情况。
报告期内，发行人应收账款逾期及回款情况如下：
单位：万元项目2022年9月末2021年末2020年末2019年末应收账款（含合同
43737.0531617.9019419.7010613.54
资产）余额*
逾期金额*4329.062363.672447.262200.23
逾期金额占比*=
9.90%7.48%12.60%20.73%
*/*截至2022年10月
1828.6718605.5217995.049739.29
31日回款金额*
回款比例*=*/*4.18%58.84%92.66%91.76%
注：逾期金额为超过合同约定的信用期限而尚未付款的应收账款。
由上表可知，报告期各期末，公司应收账款逾期比例分别为20.73%、12.60%、
7.48%和9.90%，应收账款存在逾期主要是由于部分境内大型企业客户内部付款
审批流程较长等原因，出现实际付款晚于合同约定付款期限的情形，逾期客户均为行业内知名企业，仍在持续经营，不存在长期资金压力，上述应收款项基本均能收回，公司根据上述客户的账龄情况、客户质量以及信用状况相应计提了信用损失准备，并已采取相关措施以积极回收上述应收账款。
公司应收账款期后回款情况总体正常，报告期各期末的回款比例分别为
91.76%、92.66%、58.84%及4.18%，回款情况良好。具体情况如下：
A、2019 年末应收账款期后回款比例为 91.76%，主要系 2019 年末应收浙江罗奇泰克科技股份有限公司及其子公司南京市罗奇泰克电子有限公司4168.14万元（截至2022年10月末，已回款3532.73万元，预计本年末余款会还清），应收乐昌市俊耀电子科技有限公司及广州市俊耀电子有限公司229.58万元（已于2019年全额计提坏账准备）。
B、2020 年末应收账款期后回款比例为 92.66%，主要系 2020 年末应收大连
2-69崇达电路有限公司656.36万元、苏州福莱盈电子有限公司380.00万元和浙江
罗奇泰克科技股份有限公司及其子公司南京市罗奇泰克电子有限公司1936.85万元，截至2022年10月末，分别已回款360.20万元、177.50万元和1301.44，剩余尚未收回的应收账款金额较小，公司正在积极催收中，不存在应收账款回收纠纷和实质性回收风险。
C、2021 年末应收账款期后回款比例为 58.84%，主要系 2021 年末应收江西科翔电子科技有限公司2912.00万元、柏承（南通）微电子科技有限公司
1253.07万元和浙江罗奇泰克科技股份有限公司及其子公司南京市罗奇泰克电
子有限公司1750.66万元，截至2022年10月末，分别已回款150.40万元、
67.00万元和1115.25万元，形成了较大的待收回款项，上述客户均为规模较
大的 PCB 制造厂商，因付款审批流程及现金流管理的原因会于年末陆续回款，客户资信良好，应收账款的回收风险整体较低。
D、2022 年 9月末应收账款期后回款比例为 4.18%，主要系期后回款统计截止日为2022年10月31日，时间间隔较短，部分2022年度销售形成的应收客户款项未达到合同约定的付款时间或客户尚处于付款审批流程，如应收生益电子股份有限公司3882.50万元。
报告期内，部分客户应收账款存在逾期主要是因为部分境内大型企业客户内部付款审批流程较长，可能出现实际付款晚于合同约定付款期限的情形，但上述应收款项基本均能收回，出现实质性坏账的情形较少。
综上，公司应收账款及应收票据账龄分布、坏账准备计提政策及坏账准备实际计提情况与同行业公司相比不存在重大差异，报告期内，公司因客户付款流程原因存在部分逾期情况，对于较少的无法收回的款项已单项100%计提坏账准备，应收账款期后回款良好，坏账准备计提充分。
（二）结合在手订单或意向性订单、产品及原材料备货、下游安装及验收周期等，说明存货规模增长及各存货项目变化的具体原因，是否存在积压或滞销情形，减值计提是否充分
1、存货规模增长及各存货项目变化情况分析
2-70报告期各期末，公司存货分别为13045.40万元、16888.08万元、23440.47
万元、31283.19万元，公司存货构成情况如下：
单位：万元
2022.9.302021.12.31
项目账面余额跌价准备账面价值账面余额跌价准备账面价值
发出商品9589.54-9589.547289.19-7289.19
库存商品1404.59-1404.591522.6045.551477.06
原材料6987.45-6987.4510006.64-10006.64
在产品13301.61-13301.614667.58-4667.58
合计31283.19-31283.1923486.0145.5523440.47
2020.12.312019.12.31
项目账面余额跌价准备账面价值账面余额跌价准备账面价值
发出商品6891.40-6891.404900.8846.104854.78
库存商品1515.7345.781469.952029.39-2029.39
原材料4095.75-4095.753371.09-3371.09
在产品4430.98-4430.982790.13-2790.13
合计16933.8645.7816888.0813091.4946.1013045.39
报告各期末，存货余额持续增长，主要原因如下：*报告期内，产销量持续增长，业务规模持续扩大，生产和研发所需的原材料备货规模和处于生产过程中的在产品规模相应增长；*报告期内客户拓展良好，在手订单持续增加，截至本回复出具之日，公司在手订单共计设备242台，其中：正式销售合同159台、试用合同67台以及正在走签约流程的在途合同16台，已签订销售合同待验收的产品及客户试用产品的规模均持续扩大，发出商品金额相应增长；*对于市场需求稳定、销量高的标准化产品，公司会维持一定数量的产品库存，库存商品规模较为稳定。
各存货项目变化情况分析：
*发出商品
2019年末、2020年末、2021年末和2022年9月末，公司发出商品账面余
额分别为4900.88万元、6891.40万元、7289.19万元和9589.54万元，占各期末存货账面余额的比例分别为37.44%、40.70%、31.04%和30.65%。报告期各期
2-71末，随着公司经营规模的扩大，销售订单及发货数量增加，期末发出商品余额也相应增加。2020年末，公司发出商品较2019年末增长较大，主要系2020年末公司发给胜宏科技（惠州）股份有限公司尚未验收的设备金额较大，为1120.44万元，该批设备在2021年度实现收入，成为当年度公司第二大客户。2022年9月末，公司发出商品较2021年末增加较大，主要系2022年第二、三季度发货金额较大，部分设备尚未完成验收，如2022年5月及7月陆续发给沪士电子股份有限公司的3台/套设备合计671.49万元于2022年9月末尚未完成安装调试及验收。
发出商品主要为已发货尚未验收的各类设备产品。公司产品发往客户车间进行安装，并通过客户的验收后，方可满足收入确认条件。公司发出商品的验收周期通常为1-3个月，不同客户验收流程的差异也导致验收周期存在一定的差异。
*库存商品
报告期各期末，公司库存商品账面余额分别为2029.39万元、1515.73万元、
1522.60万元和1404.59万元，占各期末存货账面余额的比例分别为15.50%、
8.95%、6.48%和 4.49%，库存商品余额较为稳定，主要为 MAS 系列、NEX 系列设备。PCB 直接成像设备主要为标准化产品，公司库存商品的生产周期通常为 1-3个月，对于市场需求稳定、销量高的设备，公司会维持一定数量的产品库存，以保证较短的交货周期，故报告期各期末，公司库存商品余额变动不大。
*原材料
报告期各期末，公司原材料账面余额分别为3371.09万元、4095.75万元、
10006.64万元和6987.45万元，占各期末存货余额的比例分别为25.75%、24.19%、
42.61%和22.34%，2021年末，原材料较2020年末增长较大，主要系因国内外
疫情以及国际贸易环境的影响，为保证物资材料供应的持续以及公司生产经营活动的安全，公司于 2021 年末加大了 DMD 集成块等原材料的战略性备货，2021 年末原材料余额中 DMD 集成块类材料金额为 2394.40 万元，占比 23.93%。2022年9月末，原材料较2021年末有所下降，主要系2021年末备货的原材料于2022年用于生产及研发领用，同时公司根据原材料的采购周期和预算情况，一般会于
第四季度考虑原材料备货采购。
2-72原材料采购周期为发行人下订单至收到原材料的时间，其中运动平台及组件
类材料采购周期通常为25-45天，图形生成模块类材料采购周期通常为15-25天，光路组件类材料采购周期通常为30-60天，曝光光源采购周期通常为30-60天，自动控制组件类材料采购周期通常为15-30天。
*在产品
报告期各期末，公司在产品账面余额分别为2790.13万元、4430.98万元、
4667.58万元和13301.61万元，占各期末存货账面余额的比例分别为21.31%、
26.17%、19.87%和42.52%。公司产品生产周期通常为1-3个月，根据具体产品类型有所不同。公司2022年9月末在产品金额较大主要系车间未完工整机机台数量较多，合计金额9853.25万元，截至本审核问询函回复之日，已完工机台金额合计为7380.21万元，已完工比例为74.90%。
*存货跌价准备
公司发出商品均为已发货待客户验收的产品，库存商品均为满足客户供货的正常储备，订单覆盖率高、流转速度较快；原材料、在产品均为产品正常生产所需，公司存货积压或滞销的风险较小。截至2022年9月末，不存在存货跌价的情况。
2、是否存在积压或滞销情形，减值计提是否充分
（1）存货构成的订单对应情况
截至2022年9月30日，存货构成的订单对应情况如下：
单位：万元
项目账面余额对应订单的存货金额占比(%)
原材料6987.454287.7761.36
在产品13301.6110180.2876.53
库存商品1404.59894.2863.67
发出商品9589.549148.6895.40
截至2022年9月30日，原材料、在产品、库存商品和发出商品有订单对应的比例分别为61.36%、76.53%、63.67%和91.88%，整体订单覆盖率较高，发出2-73商品对应的订单包含正式销售合同及试用合同，占比分别为25.89%和69.51%，
对于试用合同，后期客户根据试用情况与公司签订正式销售合同。
按照产品特点及市场销售规律，发行人采用“标准化生产+定制化生产”的生产模式，发行人根据客户下达的订单情况和对市场的需求预测来制定生产计划。
采购部门主要根据销售订单及预测订单情况，综合考虑生产周期、安全库存等因素后按需采购，对原材料合理备料，一般备货周期为1-2个月，同时由于国内外疫情、贸易摩擦原因对集成块、激光光源等需从国外供应商采购的原材料
考虑一定量的战略备货，此类原材料一般备货周期为2-4个月。对于市场需求稳定、销量高的设备，发行人会维持一定数量的产品库存，以保证较短的交货周期，故期末无订单对应的原材料、在产品和库存商品是发行人标准化生产模式下所需的备货，不存在存货积压或滞销情况。
（2）报告期各期末，公司存货主要为原材料、在产品以及发出商品，各期
末占比分别为84.50%、91.05%、93.52%和95.51%。原材料、在产品以及发出商品库龄情况如下：
2022.9.302021.12.31
库原材料在产品发出商品原材料在产品发出商品龄占比占比占比占比占比占比金额金额金额金额金额金额
（%）（%）（%）（%）（%）（%）年
6629.5594.8813301.61100.008729.2491.039274.9492.694667.58100.006500.6689.18
以内
357.905.12--860.308.97636.376.36--788.5310.82年
2年
------95.330.95--以上合
6987.45100.0013301.61100.009589.54100.0010006.64100.004667.58100.007289.19100.00
计
2020.12.312019.12.31
库原材料在产品发出商品原材料在产品发出商品龄占比占比占比占比占比占比金额金额金额金额金额金额
（%）（%）（%）（%）（%）（%）年
3718.1690.784430.98100.006034.4987.573261.4897.642790.13100.004342.5488.61
以内
325.477.95--788.5311.4451.621.55--325.846.65年
2年
52.121.27--68.380.9927.040.81--232.504.74
以上合
4095.75100.004430.98100.006891.40100.003340.14100.002790.13100.004900.88100.00
计
报告期各期末，公司原材料和在产品的库龄主要在1年以内。截至2022年
9月末，库龄1年以上的原材料占比仅为5.12%，期末库龄1年以上的原材料主
要系公司为满足生产储备的各种材料，后续将正常用于公司生产领用，不存在呆料积压情况。
报告期各期末，库龄超过1年的发出商品中，库龄1-2年的发出商品均用于租赁或在客户处试用，2年以上的发出商品均用于租赁，库龄1年以上的发出商品不存在跌价迹象。
（3）存货跌价准备计提
*计提跌价准备的依据
根据《企业会计准则第1号—存货》，公司按照存货成本与可变现净值孰低的方法确认期末存货跌价准备金额。公司发出商品和库存商品以对应的订单金额或同类产品的销售价格作为估计售价，减去估计的销售费用和相关税费后的金额确定其可变现净值；公司原材料和在产品，以在正常生产经营过程中以所生产的产成品的估计售价减去至完工时估计将要发生的成本、估计的销售费用和相关税费后的金额确定其可变现净值。
*计提跌价准备的情况
公司发出商品均为已发货待客户验收的产品，库存商品均为满足客户供货的正常储备，订单覆盖率高、流转速度较快；原材料、在产品均为产品正常生产所需，公司存货积压或滞销的风险较小。经减值测试，报告期内存在账面成本高于2-75可变现净值的丝网印刷激光直接成像设备一台，公司对应计提了跌价准备，此外，
不存在存货跌价的情况。
（三）公司针对不同客户采取不同收款政策的具体原因及依据，以及分期
收款政策内容、主要客户情况、是否存在关联关系、款项收回情况
报告期各期，公司客户数量分别为47个、90个、127个和129个，其中采用分期收款政策的客户数量分别为6个、15个、3个和3个，公司采用分期收款销售模式确认收入金额及占比情况如下：
单位：万元
项目2022年1-9月2021年度2020年度2019年度分期销售模式确认收
4091.872102.203713.842308.09
入金额
营业收入金额41148.7649224.5131008.7620226.12
占比9.94%4.27%11.98%11.41%
报告期内，发行人对部分客户采用分期收款的销售模式，主要原因系：*基于客户对分期付款政策的需求。部分客户基于对自身运营现金流的规划，对公司提出分期付款的要求，公司出于业务开拓及支持下游客户产品升级换代发展的考虑，为满足此类客户付款方式的需求，制定了分期收款的销售模式；*基于行业及市场竞争形势。同行业竞争者的分期收款销售政策促使发行人使用分期收款销售模式开拓市场，提升市场份额。
公司不同销售模式下的客户群体均为 PCB 和泛半导体领域的知名企业，客户资质和信用状况并无显著差异，公司根据客户具体的需求以及双方商业谈判，并对客户背景、资信情况、合作年限等因素综合考虑后确定是否采取分期收款
以及分期收款的具体内容，无论在何种模式下，销售前公司都会对客户资质和信用状况进行调查，销售后对客户资质和信用状况等情况进行持续跟踪，降低经营风险，公司根据各个客户的信用政策，结合公司内控流程规定对客户的应收账款进行管理，不存在放宽信用期刺激销售的情形。同行业公司大族数控和天准科技也存在分期收款的销售模式，公司采取分期收款政策进行销售符合行业惯例。
公司根据客户特点和自身的销售策略，给予报告期内部分客户1年以上22-76年以下的分期收款政策。报告期内，公司长期应收款前五名（包含一年内到期的非流动资产）情况如下：
*2022年9月末占长期应截至是否期末余
收款账面2022.10.31存在序号客户名称额（万余额比例回款金额关联
元）
（%）（万元）关系
1定颖电子（黄石）有限公司3290.5656.11238.24否
2江门市高智电子科技有限公司630.4010.75-否
3柏承（南通）微电子科技有限公司487.168.31-否
4赣州科翔电子科技有限公司440.007.50-否
5江西志博信科技股份有限公司214.953.66-否
合计5063.0786.33238.24
*2021年末占长期应是否期末余截至收款账面存在序号客户名称额（万2022.10.31余额比例关联
元）回款金额
（%）关系
1定颖电子股份有限公司1185.5329.11714.49否
2柏承（南通）微电子科技有限公司853.5520.96366.39否
3江西志博信科技股份有限公司437.5010.74222.55否
4柏承科技(昆山)股份有限公司347.788.54300.39否
5信利电子有限公司300.007.37200.00否
合计3124.3676.721803.82
*2020年末占长期应是否期末余截至收款账面存在序号客户名称额（万2022.10.31余额比例关联
元）回款金额
（%）关系
1柏承（南通）微电子科技有限公司1082.5424.02595.38否
2江西志博信科技股份有限公司803.5917.83614.08否
3柏承科技(昆山)股份有限公司557.6012.37542.30否
4信利电子有限公司480.0010.65380.00否
5深圳市鑫顺华电子有限公司346.657.69149.28否
2-77合计3270.3872.562281.04
*2019年末占长期应是否截至期末余额收款账面存在
序号客户名称2022.10.31（万元）余额比例关联回款金额
（%）关系
1深圳市鑫顺华电子有限公司612.0023.19612.00否
2深圳市耐特电路板有限公司491.2518.62482.84否
3湖北久祥电子科技有限公司350.5513.29350.55否
4深圳华麟电路技术有限公司345.0013.07296.24否
5深圳市捷腾微电子科技有限公司270.0010.2350.00否
合计2068.8078.401791.63
公司根据企业会计准则的规定，对分期收款超过12期（12个月）的销售合同折现确认销售收入并计入长期应收款核算。报告期内，长期应收款整体回款情况良好，存在部分客户由于自身付款流程复杂及现金流管理等原因超期付款的情况，但上述应收款项均能收回，出现实质性坏账的情形较少，报告期内，仅深圳市捷腾微电子科技有限公司（以下简称“捷腾微”）2019年末余额270万元因
经营出现异常未能全部回款，公司已对该笔长期应收款按80%单项计提坏账准备，后续经公司与捷腾微友好协商，捷腾微于2021年将设备退回，公司相应进行了账务处理冲回长期应收款。
（四）分析质保金具体内容及上升原因
为了保证设备在使用过程中存在质量保障，部分客户在与公司签署销售合同时会申请留取一定比例的货款作为质保金在质保期满后进行支付，质保金比例一般为5%或10%，质保期一般为1年，公司会根据订单规模、客户背景及资信情况与客户协商确定具体质保金比例及质保期。
报告期内，公司根据新收入准则执行情况将上述质保金调整归类至合同资产科目核算，此前质保金部分于收入确认时在应收账款科目核算。报告期各期末，公司应收质保金金额分别为387.90万元、686.84万元、1055.05万元和
2079.81万元，占当期营业收入比例分别为1.92%、2.23%、2.16%和5.10%，2022年9月末公司应收质保金金额相比2021年末增长较大，且占2022年1-9月营
2-78业收入比例较大，主要系：*公司2022年9月末应收广东世运电路科技股份有
限公司（以下简称“世运电路”）质保金534.00万元，金额较大，系公司2022年对世运电路实现含税收入2670.00万元，根据合同约定质保金比例为20%，故对世运电路形成的应收质保金金额较大；*2021年第四季度确认的应收质保
金截至2022年9月末仍在质保期内，尚未达到合同约定的付款时间，也导致2022年9月末应收质保金较大。随着公司业务规模的逐年增长，报告期内应收客户质保金金额也不断上升，具有合理性。
二、申报会计师的核查程序及核查意见
（一）核查程序
申报会计师执行的核查程序如下：
1、对发行人管理层进行访谈，了解报告期内应收账款及应收票据增长的原
因、应收账款逾期情况、存货规模增长及各存货项目变动的原因、针对不同客户
采取不同收款政策的原因、质保金内容及上升的原因；
2、获取报告期各期末应收账款及应收票据分账龄的明细表，结合同行业公
司应收账款及应收票据余额及账龄段分布情况，分析公司应收账款及应收票据增长的原因、账龄段分布与同行业公司是否存在差异；
3、统计分析发行人报告期内应收账款逾期情况，以及截至目前的期后回款情况，分析是否存在逾期或持续无法收回的款项；
4、获取发行人与应收账款管理相关的内部控制制度，复核内控制度设计是否合理，测试内控制度是否得到有效执行；获取发行人主要客户资料，分析客户质量情况，测试坏账准备/信用损失准备是否计提充分；
5、结合可比上市公司的坏账计提政策及坏账准备实际计提比例，分析报告
期内公司坏账计提政策是否恰当、报告期内坏账准备的计提是否充分；
6、对公司财务部门、生产部门、采购部门及销售部门的相关人员进行访谈，
了解公司主要产品的生产工艺流程、生产周期、材料备货周期及设备安装验收周期等特征；
2-797、获取报告期各期末原材料、产成品及发出商品等存货的收发存明细表及库龄表，结合业务分析各期末余额及变动情况的合理性；
8、了解评估发行人存货跌价准备政策及流程的合理性，是否符合实际经营
情况和会计准则的要求，评估存货跌价准备计提是否充分；
9、获取报告期末的在手订单清单及期末存货的订单覆盖率情况，分析存货
余额增长的合理性；
10、获取报告期内公司分期收款销售的客户明细、期末应收款余额及期后回款情况，检查销售合同，并结合访谈及工商查询核实与公司是否存在关联关系。
（二）核查意见经核查，申报会计师认为：
1、报告期内，公司应收账款及应收票据增长主要系业务规模增长和部分客
户付款流程较长所致，增长原因具有合理性，报告期对主要客户的信用政策无重大变化，不存在放宽信用期刺激销售的情形；资产规模及账龄分布与同行业可比公司相比差异原因合理，符合公司实际情况；部分客户应收账款存在逾期主要是由于部分境内大型企业客户内部付款审批流程较长或现金流管理等原因，出现实际付款晚于合同约定付款期限的情形，但上述逾期款项基本均能收回，出现实质性坏账的情形较少，报告期内应收账款和应收票据坏账准备计提充分，与同行业可比公司不存在重大差异；
2、报告期各期末公司存货规模增长及各存货项目变动原因具有合理性，不
存在存货积压或滞销情形，期末未计提存货减值准备具有合理性；
3、公司针对不同客户采取不同收款政策的原因具有合理性，分期收款销售
的客户与公司不存在关联关系，款项收回情况正常；
4、报告期内公司质保金上升系由于公司业务规模增长，上升原因具有合理性。
2-80问题四（审核问询函问题5）关于财务性投资根据申报材料，1）截至2022年6月30日，公司交易性金融资产为
11143.25万元、其他权益工具投资为300.00万元、其他非流动资产412.80万元。2）截至2022年6月30日，公司参股1家公司，为苏州安芯同盈创业投资合伙企业（有限合伙），主要从事对外投资业务。
请发行人说明：本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前新投入的和
拟投入的财务性投资情况，是否从本次募集资金总额中扣除，结合相关投资情况分析公司是否满足最近一期不存在金额较大财务性投资的要求。
请申报会计师结合《再融资业务若干问题解答》问题15，核查并发表明确意见。
回复：
一、发行人说明本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前新投入的和拟投入的财务性
投资情况，是否从本次募集资金总额中扣除，结合相关投资情况分析公司是否满足最近一期不存在金额较大财务性投资的要求
1、结合相关投资情况分析公司是否满足最近一期不存在金额较大财务性投
资的要求
（1）财务性投资及类金融业务的定义
*财务性投资的认定标准根据中国证监会于2020年6月发布的《再融资业务若干问题解答（2020年6月修订）》及《上海证券交易所科创板上市公司证券发行上市审核问答》的相
关规定：
“1）财务性投资的类型包括不限于：类金融；投资产业基金、并购基金；拆借资金；委托贷款；以超过集团持股比例向集团财务公司出资或增资；购买收益波动大且风险较高的金融产品；非金融企业投资金融业务等。
2-812）围绕产业链上下游以获取技术、原料或渠道为目的的产业投资，以收购
或整合为目的的并购投资，以拓展客户、渠道为目的的委托贷款，如符合公司主营业务及战略发展方向，不界定为财务性投资。
3）金额较大指的是，公司已持有和拟持有的财务性投资金额超过公司合并
报表归属于母公司净资产的30%。期限较长指的是，投资期限或预计投资期限超过一年，以及虽未超过一年但长期滚存。”根据中国证监会《发行监管问答——关于引导规范上市公司融资行为的监管要求（修订版）》规定，上市公司申请再融资时，除金融类企业外，原则上最近一期末不得存在持有金额较大、期限较长的交易性金融资产和可供出售的金融资
产、借予他人款项、委托理财等财务性投资的情形。
*类金融业务的认定标准
根据中国证监会发布的《再融资业务若干问题解答（2020年6月修订）》的规定，除人民银行、银保监会、证监会批准从事金融业务的持牌机构为金融机构外，其他从事金融活动的机构均为类金融机构。类金融业务包括但不限于：融资租赁、商业保理和小贷业务等。
（2）最近一期末相关资产负债表科目余额情况及是否为财务性投资和类金融投资分析
截至2022年9月末，公司可能涉及财务性投资的报表科目列示如下：
单位：万元序号报表项目2022年9月末是否属于财务性投资
1交易性金融资产11022.73否
2其他应收款316.12否
3一年内到期的非流动资产5017.47否
4其他流动资产21.10否
5其他权益工具投资500.00是
6其他非流动资产922.64否
合计17800.06
*交易性金融资产
2-82截至2022年9月末，公司交易性金融资产金额为11022.73万元，系理财产品，明细情况如下：
2022年9月
序风险收益类年化收受托方产品类型末金额（万起止时间号等级型益率
元）
1.1%
保本或东亚银型浮
1 结构性存款 R1 6000.00 2022.8.18-2022.11.18 3.0%
行动收或益
3.3%
华福证2021.7.8-2022.11.9固定资产管理计划2 券安益 R2 5000.00 （截至目前，已全部赎 收益 4.6%（固定收益类）一号回）类
合计--11000.00---
注：2022年9月末交易性金融资产余额与上表中理财产品金额差异22.73万元系购买的理财产品的公允价值变动。
公司使用闲置募集资金及自有资金购买理财产品，属于低风险浮动收益或稳定收益型理财产品，收益波动和风险较小，旨在保障公司正常经营运作和资金需求的前提下进行现金管理，以提高资金使用效率，获取一定收益。公司购买的上述华福证券安益一号资产管理计划，属于固定收益类产品，公司于2021年7月购买，截至目前已全部赎回，出于谨慎性原则，公司认定其为财务性投资，2022年9月末，其金额占合并报表归属于母公司净资产的比例为5.01%，不属于金额较大的财务性投资。
*其他应收款
截至2022年9月末，公司其他应收款金额为316.12万元，明细情况如下：
序号款项性质2022年9月末金额（万元）
1押金及保证金179.00
2备用金及其他137.12
合计316.12
由上表可知，公司2022年9月末其他应收款主要为押金及保证金、备用金等，不属于财务性投资。
*一年内到期的非流动资产
2-83截至2022年9月末，公司一年内到期的非流动资产金额为5017.47万元，
系公司分期收款销售产品形成的一年内到期的应收货款，不属于财务性投资。
*其他流动资产
截至2022年9月末，公司其他流动资产金额为21.10万元，系待抵扣进项税和预缴税费，不属于财务性投资。
*其他权益工具
截至2022年9月末，公司其他权益工具金额为500万元，系公司认缴的苏州安芯同盈创业投资合伙企业（有限合伙）（以下简称“安芯同盈”）1000万
元基金份额（实缴500万元），安芯同盈为苏州安洁私募基金管理合伙企业（有限合伙）作为 GP 发起设立，其他 LP 基本为半导体产业链上市公司，包括上海新阳、正帆科技、江丰电子等，公司与 GP 与其他 LP 均无关联关系。借助本次投资，公司通过与行业相关公司实现较好互动、沟通，提升相互合作发展机遇，丰富公司的产业资源，为公司嫁接 PCB 与泛半导体产业相关客户。因此公司上述投资将围绕产业链上下游以获取技术、原料或渠道为目的，符合公司主营业务及战略发展方向，不以获取该投资的投资收益为主要目的。但基于公司不能控制安芯同盈，出于谨慎性原则，公司将该投资视同其为财务性投资，由于该投资在2022年9月末的金额占公司2022年9月末归属于母公司净资产的比例为0.50%，
占比较小，不属于金额较大的财务性投资。除上述认缴的1000万基金份额之外，公司目前不存在其他拟投资同类产业基金的计划。
*其他非流动资产
截至2022年9月末，公司其他非流动资产金额为922.64万元，系预付的装修款，不属于财务性投资。
综上，最近一期末，公司不存在持有金额较大的财务性投资的情形。
2、本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前新投入的和拟投入的财务
性投资情况，是否从本次募集资金总额中扣除本次发行董事会决议日为2022年9月1日，经核查，董事会决议日前六个2-84月（2022年3月1日）起至本回复出具之日，公司的实施财务性投资的情况，
具体如下：
（1）类金融
本次发行董事会决议日前六个月起至今，公司不存在投资或拟投资类金融业务的情形。
（2）设立或投资产业基金、并购基金
公司于2022年2月8日，认缴苏州安芯同盈创业投资合伙企业（有限合伙）
1000万元基金份额，本次发行董事会决议日前六个月（2022年3月1日）起至今，公司已向苏州安芯同盈创业投资合伙企业（有限合伙）实缴基金份额700万元（其中截至9月末认缴500万元，报告期后10月12日认缴200万元），金额较小。公司本次项目总投资额为109922.68万元，其中补充流动资金30000.00万元；募集资金使用金额为82528.57万元，其中补充流动资金23174.82万元。
除上述认缴的1000万基金份额之外，董事会决议日前六个月（2022年3月1日）起至本回复出具之日，公司不存在其他设立或投资产业基金、并购基金的情形，也不存在拟投资同类产业基金、并购基金的情形。基于谨慎性原则，公司将本次发行董事会决议日前六个月对安芯同盈认缴的1000万出资认定为财
务性投资，并根据相关规定，从本次发行募集资金总额中扣除。
（3）拆借资金
本次发行董事会决议日前六个月起至今，公司不存在拆借拟拆借资金的情形。
（4）委托贷款
本次发行董事会决议日前六个月起至今，公司不存在委托贷款或拟实施的情形。
（5）以超过集团持股比例向集团财务公司出资或增资
本次发行董事会决议日前六个月起至今，公司不存在以超过集团持股比例向集团财务公司出资或增资情形或拟实施的情形。
（6）购买收益波动大且风险较高的金融产品
2-85本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，不存在购买收益波动大且风险
较高的金融产品的情形。公司使用闲置募集资金或自有资金购买的理财产品明细情况如下：
（1）公司使用闲置募集资金进行现金管理的情况受托产品类风险等金额（万元）起止时间收益类型年化收益率方型级
1.1%或
东亚结构性保本型浮
R1 6000.00 2022.5.27-2022.8.17 3.35%或银行存款动收益
3.65%
1.1%或
东亚结构性保本型浮
R1 6000.00 2022.8.18-2022.11.18 3.0%或银行存款动收益
3.3%
合计-12000.00---
（2）公司使用闲置自有资金进行现金管理的情况风险年化收
受托方产品类型金额（万元）起止时间收益类型等级益率保本型固
杭州银行 大额存单 R1 2000.00 2022.6.22-2025.6.22 3.34%定收益保本型固
杭州银行 大额存单 R1 1000.00 2022.11.10-2025.11.10 3.55%定收益保本型固
兴业银行 大额存单 R1 1000.00 2022.11.11-2025.5.12 3.45%定收益保本型固
兴业银行 大额存单 R1 1000.00 2022.11.18-2022.12.8 3.45%定收益保本型固
兴业银行 大额存单 R1 1500.00 2022.11.18-2022.12.8 3.45%定收益保本型固
兴业银行 大额存单 R1 1000.00 2022.11.18-2022.12.8 3.54%定收益
合计-7500.00---
公司购买的上述理财产品风险低、收益稳定，不属于收益波动较大且风险较高的金融产品，不属于财务性投资。
（7）非金融企业投资金融业务
本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，公司不存在投资或拟投资金融业务的情形。
综上，本次发行相关董事会决议日前六个月起至本回复出具日，除了认缴苏州安芯同盈创业投资合伙企业（有限合伙）1000万元基金份额（公司在设计本次募投项目投资总额及募集资金总额时已基于谨慎性原则从本次募集资金总额
2-86中予以扣除）外，公司不存在其他实施或拟实施财务性投资的情况。
二、申报会计师的核查程序及核查意见
（一）核查程序
申报会计师执行的核查程序如下：
1、查阅《再融资业务若干问题解答》（2020年6月修订）、《上海证券交易所科创板上市公司证券发行上市审核问答》等关于财务性投资及类金融业务的
相关规定及问答，了解财务性投资（包括类金融业务）认定的要求并进行逐条核查；
2、访谈发行人管理层，进一步了解自报告期至本回复出具日以及最近一期末，发行人是否存在实施或拟实施财务性投资及类金融业务的情况；
3、查阅发行人的信息披露公告文件、定期报告和相关科目明细，逐项对照
核查发行人对外投资情况，判断自本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前，以及最近一期末，发行人是否存在实施或拟实施的财务性投资；
4、获取并查阅发行人交易性金融资产理财产品购买协议，判断发行人理财
产品相关投资是否属于财务性投资；
5、获取发行人对外股权投资相关决议文件，了解被投资企业主营业务，向
管理层了解投资背景，判断相关投资是否与发行人主营业务相关、是否有利于发行人战略发展，是否属于财务性投资。
（二）核查意见经核查，申报会计师认为：
1、本次董事会决议日前六个月至本问询回复出具日，公司存在新投入和拟
投入的财务性投资的情形，系认缴的苏州安芯同盈创业投资合伙企业（有限合伙）
1000万元基金份额，除此之外，公司不存在其他新投入或拟投入的财务性投资的情形，基于谨慎性原则，公司将本次发行董事会决议日前六个月对安芯同盈认缴的1000万出资认定为财务性投资，并根据相关规定，从本次发行募集资金总额中扣除；
2-872、截至2022年9月30日，公司持有的财务性投资金额占公司2022年9月末归属于母公司净资产的比例为5.51%，未达到公司合并报表归属于母公司净资产的30%，不属于金额较大的财务性投资。最近一期末公司不存在持有金额较大、期限较长的交易性金融资产和可供出售的金融资产、借予他人款项、委托理财等财务性投资的情形。
2-88问题五（审核问询函问题6）关于其他
6.1根据申报材料，发行人投资性房地产的面积为13244.48㎡，发行人拥
有的房产总面积为35962.44㎡，发行人投资性房地产面积占比为36.83%。上述租赁房屋主要系合肥高新区半导体中心与发行人协商将部分闲置配套厂房临时性租赁给该区集成电路产业相关公司。
请发行人说明：（1）发行人投资性房地产及相关土地使用权的来源，报告期内的租赁收入及净利润金额，占合并报表收入及净利润比例；（2）发行人及控股、参股子公司是否从事房地产业务。
请保荐机构、发行人律师进行核查并发表明确意见，请申报会计师对（1）进行核查并发表明确意见。
回复：
一、发行人说明
发行人投资性房地产及相关土地使用权的来源，报告期内的租赁收入及净利润金额，占合并报表收入及净利润比例
1、发行人投资性房地产及相关土地使用权的来源
截至2022年9月30日，发行人拥有的投资性房地产及相关土地使用权的来源情况如下：
投资性房序对应的不动产投资性房产位置产面积目前租赁状态来源情况号权证书号（m2）该场地为首发前公位于合肥高新
司原生产基地，因场股份有限公司高新区创新大道地区域小，已不满足（以下简称“高
皖（2019）合
2800号合肥创新公司正常生产需要，新股份”）开发
11082.63肥市不动产权
产业园二期 G 区 目前已停止生产活 的产业园区，发
第1121376号
4幢102动，对外出租给国仪行人向高新股量子（合肥）技术有份直接购买现限公司房目前生产基地内的发行人与高新
高新区长宁大道皖（2021）合配套厂房，暂时闲股份签订《定向
789号2幢厂房1肥市不动产权
21937.00置，对外出租给合肥开发协议》，由层（部分）和2第11166031九川智能装备有限高新股份代建层号
公司完毕后，发行人
2-89目前生产基地内的再向其整体购
皖（2021）合高新区长宁大道配套厂房，暂时闲买（包含地上建肥市不动产权
3789号4幢厂房13350.85置，对外出租给安徽筑物及土地）
第11166033层和4层克洛诺斯科技有限号公司
皖（2021）合目前生产基地内的配
高新区长宁大道肥市不动产权套厂房暂时闲置，对
46874.00
789号5幢厂房第11166034外出租给合肥阿基米
号德电子科技有限公司
2、报告期内的租赁收入及净利润金额，占合并报表收入及净利润比例
报告期内，公司房产租赁收入及净利润情况如下：
单位：万元
项目2022年1-9月2021年度2020年度2019年度
租赁收入358.46251.5041.24-
租赁成本69.7157.317.01-
租赁净利润245.44165.0629.10-租赁收入占合并报
0.87%0.51%0.13%-
表收入比例租赁净利润占合并
2.80%1.55%0.41%-
报表净利润比例
注：租赁净利润=（租赁收入-租赁成本）*（1-15%）
二、申报会计师的核查程序及核查意见
（一）核查程序
申报会计师执行的核查程序如下：
1、访谈了发行人财务负责人，了解公司投资性房地产及相关土地使用权的
来源、报告期内的租赁收入及净利润金额，占合并报表收入及净利润比例情况；
2、获取并检查公司拥有的国有土地使用权证书及不动产权证书；
3、查阅合肥市不动产登记中心出具的发行人不动产登记簿查询记录；
4、获取并检查公司与合肥高新股份有限公司签订的《合肥市存量房买卖合同网签确认单》、《合肥高新微电子生产基地项目销售协议》及《合肥高新微电子生产基地项目销售协议补充协议》；
5、获取报告期内公司房产租赁收入及成本明细表，并根据租赁协议及相关
2-90明细测算收入、成本金额是否准确。
（二）核查意见经核查，申报会计师认为：
1、公司拥有的投资性房地产及相关土地使用权系向合肥高新股份有限公司
购买取得，取得合法；
2、报告期内，公司的房产租赁收入及净利润占合并报表收入及净利润比例较低。
6.2根据申报材料，1）报告期内，公司销售费用中的职工薪酬分别为346.38
万元、593.02万元、1055.02万元和543.43万元，公司销售人员的数量分别为
20人、22人、26人、28人。2）报告期内，公司销售费用中招标服务费分
别为82.08万元、177.25万元、456.54万元、259.76万元。
请发行人说明：（1）结合公司销售薪酬政策等，说明销售人员的人均薪酬变化情况及具体原因，与同行业可比公司是否一致；（2）结合招标服务费的具体构成，说明招标服务费的变动原因，与业务规模的匹配性。
请保荐机构和申报会计师核查并发表明确意见。
一、发行人说明
（一）结合公司销售薪酬政策等，说明销售人员的人均薪酬变化情况及具体原因，与同行业可比公司是否一致
1、结合公司销售薪酬政策等，说明销售人员的人均薪酬变化情况及具体原
因
报告期内，销售费用里的职工薪酬金额分别为346.38万元、593.02万元、
1055.02万元和839.49万元，该部分薪酬包含了客服人员及销售人员的薪酬，其
中销售人员薪酬为273.30万元、471.93万元、817.26万元和434.49万元，具体情况如下：
2-91单位：万元
2022年9月30日2021年12月31日2020年12月31日2019年12月31日
项目
/2022年1-9月/2021年度/2020年度/2019年度
销售人员薪酬434.49817.26471.93273.30
销售人员数量28.0026.0022.0020.00
销售人员人均薪酬15.5231.4321.4513.67
营业收入41148.7649224.5131008.7620226.12
销售人员人均营收1469.601893.251409.491011.31
由上表可知，报告期内，公司销售人员人均薪酬逐年上涨，销售人员的薪酬政策如下：
销售人员的薪酬采取月度固定工资加销售提成的形式，月度工资根据个人岗位和技能进行设置，销售提成包含销售签单奖励，验收奖励及业绩提成，其中签单奖励和验收奖励季度发放，业绩提成根据每位销售人员的年度业绩完成情况进行核算。
销售人员的薪酬除固定工资外还有业绩提成，报告期内尤其是公司首次公开发行上市后，由于公司知名度不断提升、产品性能不断完善、产品结构不断丰富，公司的产品收到越来越多的下游客户的认可，销售人员的工作积极性也不断提升，公司营业收入不断增长，销售人员人均营收也不断增长，销售人员的业绩提成逐年上涨导致人均薪酬呈上涨趋势。
2、公司销售人员薪酬与同行业公司对比情况
报告期内，公司销售人员薪酬与同行业公司的比较情况如下：
单位：万元
项目2022年1-9月2021年度2020年度2019年度
大族数控-27.4724.2418.57
天准科技-145.28122.8696.13同行业公司平均
-86.3873.5557.35薪酬
发行人-31.4321.4513.67
注：同行业公司未披露2022年1-9月销售人员薪酬信息，故无法对比该期间销售人员薪酬情况
由上表可知，同行业公司销售人员人均薪酬逐年上涨，变动趋势与公司具有
2-92一致性。由于不同公司的客户来源和薪酬考核制度有所不同，故销售人员人均薪
酬存在差异，公司销售人员人均薪酬与同行业公司大族数控较为接近，具有合理性。
综上，公司建立了合理的薪酬制度，销售人员的薪酬严格按照既定的薪酬制度计提发放，同行业公司销售人员人均薪酬变动趋势与公司一致，报告期内随着公司销售规模的不断增长，销售人员人均薪酬逐年增长具有合理性。
（二）结合招标服务费的具体构成，说明招标服务费的变动原因，与业务规模的匹配性
报告期内，公司招标服务费与营业收入的变动情况如下：
单位：万元
2022年1-9月2021年度2020年度2019年度
项目变动金额金额变动率金额变动率金额率
招标服务费329.73-456.54157.57%177.25115.95%82.08
营业收入41148.76-49224.5158.74%31008.7653.31%20226.12招标服务费占
0.80%-0.93%-0.57%-0.41%
营业收入比例
公司招标服务费的具体内容系为开拓新客户发生的咨询服务费、代理服务费、
中标服务费及手续费等。报告期各期，营业收入分别为20226.12万元、31008.76万元、49224.51万元和41148.76万元，2019年至2021年的年均复合增长率为
56.00%，收入规模增长迅速，在此过程中公司产生较大金额咨询服务费，报告期
内金额分别为66.52万元、141.22万元、308.47万元和259.64万元，占招标服务费的比例分别为81.04%、79.67%、67.57%和78.74%，主要系支付给第三方服务机构，用于获取行业情报信息、协助产品宣传推广以及为公司进行客户开发提供支持等，公司与第三方服务机构根据公司最终与客户签订的设备销售合同金额协商确定咨询服务费金额，实际执行和支付均按照合同约定，相关交易具有合理性，公司与上述机构之间不存在关联关系。因此公司招标服务费与业务规模的增长具有匹配性。
二、申报会计师的核查程序及核查意见
2-93（一）核查程序
申报会计师执行的核查程序如下：
1、访谈了发行人财务负责人、销售负责人及人事负责人，了解公司销售人
员的薪酬制度、报告期内销售人员人均薪酬变动的趋势和原因，以及招标服务费内容和变动原因；
2、获取发行人报告期内客服人员及销售人员薪酬及人数明细表，结合薪酬
制度分析公司销售人员薪酬变动的合理性；
3、查阅同行业上市公司销售人员薪酬情况，核查与公司是否存在重大差异；
4、获取发行人报告期内招标服务费明细表及合同，检查招标服务费的具体构成，并分析报告期内招标服务费上涨的原因。
（二）核查意见经核查，申报会计师认为：
1、报告期内，公司销售人员人均薪酬逐年上涨与公司业务规模增长相匹配，
具有合理性，销售人员薪酬与同行业公司相比不存在明显异常；
2、报告期内，公司招标服务费逐年上涨与公司业务规模增长相匹配，具有合理性。
6.3根据申报材料，截至2022年6月30日，公司或有事项中存在开出保
函、保证金情况，其中保函受益人包括成都辰显光电有限公司、香港科技大学（广州）（筹）。
请发行人说明上述或有事项的内容、商业背景、履约保障措施等。
请保荐机构和申报会计师核查并发表明确意见。
一、发行人说明
上述或有事项的内容、商业背景、履约保障措施等
2-94截至2022年9月30日，公司或有事项（保函、信用证）情况如下：
序担保
类型出函银行保函编号金额（万元）保函期限保函受益人号方式
2021.11.09
1 履约保函 杭州银行 CV0-HTH-21-0009 28.00 成都辰显光电有限公司 信用
-2022.11.1
预付款保2022.8.4
2 中信银行 2273260H20039 475.80 成都辰显光电有限公司 信用
函-2022.11.30
2022.8.4
3 履约保函 中信银行 2273260H10171 158.60 成都辰显光电有限公司 信用
-2023.5.30
预付款保2022.3.11
4 中信银行 2273260H20009 498.00 香港科技大学（广州）（筹） 信用
函-2023.8.30
2022.3.16
5 履约保函 中信银行 2273260H10044 124.50 香港科技大学（广州）（筹） 信用
-2025.3.15
2022.1.21
6 信用证 建设银行 AHA53IL000009200 $15.57 ZYGO CORPORATION 信用
-2023.3.31
2022.9.20 ARROW ELECTRONICS
7 信用证 建设银行 AHA53IL000011500 $152.01 信用
-2022.12.30 CHINA LTD上表中的给客户和供应商开具的保函和信用证具体业务背景和履约保障措
施如下：
（1）成都辰显光电有限公司履约保函及预付款保函
*2021年2月，公司与客户成都辰显光电有限公司（以下简称“辰显光电”）签订设备购买合同，合同金额为280万元，辰显光电向公司采购1台LDW-ACURA280 打码曝光机用于生产使用，根据合同约定，公司应向辰显光电提供10%合同金额的履约保函，故公司于2021年11月在杭州银行以信用担保的方式开具了编号为 CV0-HTH-21-0009 的履约保函，若设备质量不符合合同约定且公司不予更换或维修，杭州银行将以本保函最高金额为限向辰显光电赔付。
*2022年6月，公司与辰显光电签订设备购买合同，合同金额为1586万元，辰显光电向公司采购 1 台 WLP-8 曝光机设备用于生产使用，根据合同约定，公司应向辰显光电提供预付款同等金额（合同金额的30%）的预付款保函475.80万元，并提供合同金额10%的履约保函158.60万元，故公司于2022年8月在中信银行以信用担保的方式开具了编号为 2273260H20039 预付款保函和
2273260H10171 履约保函，若公司违反合同约定的相关条款，中信银行将以上述
保函最高金额为限向辰显光电赔付。
辰显光电是国内 Micro-LED 领域的知名客户，与公司不存在关联关系。公司销售给其的曝光设备根据其实际需求进行定制。因2022年6月合同标的金额
2-95较大，为保证双方履约顺利，辰显光电向公司支付金额较大的预付款，公司向
其开具预付款保函及履约保函。产品验收成功进入质保期后，双方采用质保金或履约保函来明确质保责任，履约保函中的期限及金额占合同的比例符合公司关于质保金的商业惯例。
（2）香港科技大学（广州）（筹）预付款保函及履约保函
2022年1月，公司与客户香港科技大学（广州）（筹）（以下简称“港科大”）签订货物采购合同，合同金额为 2490 万元，港科大向公司采购 2套 WLP-8激光直写光刻机和 1 套 LDW X9 激光制版光刻机用于科研用途，根据合同约定，公司应向港科大提供预付款同等金额（合同金额的20%）的预付款保函498万元，并以银行保函形式提供合同金额5%的履约保证金124.50万元，故公司于2022年 3 月在中信银行以信用担保的方式开具了编号为 2273260H20009 预付款保函
和 2273260H10044 履约保函，若公司未能按照合同约定履行相关条款，中信银行将以上述保函最高金额为限向港科大赔付。
公司与港科大不存在关联关系。因该合同金额较大，前期需要投入资金较大，公司与港科大商定需要其支付20%的预付款，港科大基于保障其资金安全，要求公司开具预付款保函。因双方合同中未约定质保金条款，双方采用履约保函来明确质保责任，履约保函中的期限及金额占合同的比例符合公司的商业惯例。
（3）ZYGO CORPORATION 信用证
2021 年 12 月，公司与供应商 ZYGO CORPORATION 签订采购合同向其采
购激光干涉仪，合同金额为 15.57 万美元，根据合同约定，公司应向 ZYGOCORPORATION 提供合同金额 100%的信用证，故公司于 2022 年 1 月在建设银行以信用担保的方式开具了编号为 AHA53IL000009200 信用证，并以该信用证支付采购货款。
（4）ARROW ELECTRONICS CHINA LTD 信用证
2022 年 8 月，公司与供应商 ARROW ELECTRONICS CHINA LTD 签订采
购合同向其采购图形发生器、控制模块和存储模块等原材料，合同金额为152.01
2-96万美元，根据约定，公司向 ARROW ELECTRONICS CHINA LTD 提供合同金额
100%的信用证，故公司于2022年9月在建设银行以信用担保的方式开具了编号
为 AHA53IL000011500 信用证，并以该信用证支付采购货款。
综上，公司或有事项中的保函及信用证均为根据与客户或供应商的合同约定而开具的，具有真实的业务背景，履约保障措施均以保函金额为上限，不存在保函金额以外的或有负债。
二、申报会计师的核查程序及核查意见
（一）核查程序
申报会计师执行的核查程序如下：
1、访谈发行人财务负责人，了解公司期末或有事项中存在开出保函、保证
金事项的内容、商业背景和履约保障措施等；
2、获取发行人期末或有事项明细，检查相关合同、保函和信用证，核实期
末或有事项内容的真实性和准确性。
（二）核查意见经核查，申报会计师认为：
公司或有事项中的保函及信用证均为根据与客户或供应商的合同约定而开具的，具有真实的业务背景，履约保障措施均以保函金额为上限，不存在保函金额以外的或有负债。
2-97（此页无正文，系《关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函的专项核查意见》（容诚专字[2022]230Z3156号）签字盖
章页）
容诚会计师事务所中国注册会计师（项目合伙人）：
（特殊普通合伙）
中国·北京中国注册会计师：
年月日