芯源微:芯源微监事会关于公司2020年限制性股票激励计划、2021年限制性股票激励计划等相关事项的核查意见

沈阳芯源微电子设备股份有限公司监事会
关于公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第二个
归属期、2021年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归
属期、2021年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属
期归属名单的核查意见沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）监事会依据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、
《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）等相关法律、法规及规范性文件和《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关规定，对公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期、2021年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期、2021年限
制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期归属名单进行审核，发表核查意见如下：
一、关于公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期归属名单
公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期9名激励对象、
符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合2020年限制性股票激励计划规定的激励对象范围，其作为公司2020年限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。监事会同意本次符合条件的9名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为6.75万股，上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。
二、关于公司2021年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期归属名单公司2021年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期36名激励对象
符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合2021年限制性股票激励计划规定的激励对象范围，其作为公司2021年限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。监事会同意本次符合条件的36名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为19.5万股，上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。
三、关于公司2021年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期归属名单公司2021年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期42名激励对象
符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合2021年限制性股票激励计划规定的激励对象范围，其作为公司2021年限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。监事会同意本次符合条件的42名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为8万股，上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。
沈阳芯源微电子设备股份有限公司监事会
2023年4月28日