芯源微:芯源微2023年半年度募集资金存放与使用情况专项报告

证券代码：688037证券简称：芯源微公告编号：2023-061
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
2023年半年度募集资金存放与使用情况专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述
或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
一、募集资金基本情况
（一）实际募集资金的金额及到账情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕2335号）同意注册，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“本公司”、“公司”）向社会公开发行人
民币普通股（A 股）21000000 股，每股面值为人民币 1 元，每股发行价为人民币
26.97元，应募集资金总额为566370000.00元，根据有关规定扣除发行费用
60625896.22元后，实际募集资金净额为505744103.78元。以上募集资金已于2019年12月10日到位，募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验字[2019]8294号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498号），公司于2022年6月向特定对象发行人民币普通股股票8045699股，每股面值1元，发行价格为人民币124.29元/股，募集资金总额为人民币999999928.71元，扣除不含税的发行费用人民币9915093.67元，实际募集资金净额为人民币990084835.04元。以上募集资金已于2022年6月8日到位，募集资金到位情况已由容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具容诚验字[2022]110Z0008 号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。
（二）募集资金本报告期使用金额及期末余额情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
2023年上半年度，本公司2019年首次公开发行股票募集资金使用情况为：支
付银行手续费（不含增值税）1150.00元，募集资金专用账户利息收入为38646.28元，募集资金专用账户2023年6月30日余额合计为4340833.29元。
单位：人民币元项目累计金额
募集资金净额505744103.78
减：截至2023年6月30日直接对募集资金项目投入387316021.56
其中：高端晶圆处理设备产业化项目248133621.56
高端晶圆处理设备研发中心项目139182400.00
减：截至2023年6月30日使用闲置资金永久补充流动资金76600000.00
减：截至2023年6月30日使用闲置资金暂时补充流动资金190000000.00
减：截至2023年6月30日节余募集资金补流9284650.48
加：截至2023年6月30日募集资金理财收益11579663.95
加：截至2023年6月30日募集资金利息收入扣除手续费净额10217737.60
加：截至2023年6月30日归还暂时补充流动资金140000000.00
截至2023年6月30日募集资金余额4340833.29
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
2023 年上半年度，本公司 2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金使用
情况为：对募集资金项目投入318225227.73元，其中：上海临港研发及产业化项目154870436.92元，高端晶圆处理设备产业化项目（二期）637082.28元，补充流动资金162717708.53元。2023年上半年度公司累计使用募集资金
318225227.73元，支付银行手续费（不含增值税）2723.32元，募集资金专用账
户利息收入为1964116.64元，使用暂时闲置募集资金购买理财产品所得投资收益
3851617.21元，募集资金专用账户2023年6月30日余额合计为60551786.11元。具体明细如下：
单位：人民币元项目累计金额
募集资金总额999999928.71
减：截至2023年6月30日直接对募集资金项目投入547163208.41
其中：临港研发及产业化项目24138781443067481.7679
高端晶圆处理设备产业化项目（二期）637082.28
补充流动资金项目302812047.44
加：截至2023年6月30日募集资金理财收益13788852.59
加：截至2023年6月30日募集资金利息收入扣除手续费净额143178468285132.5292
减：截至2023年6月30日用于现金管理的暂时闲置募集资金410220000.00
截至2023年6月30日募集资金余额60551786.11
二、募集资金管理情况
公司根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，于2019年4月24日召开2019年第三次临时股东大会，审议通过了《关于制定的议案》。《募集资金管理办法》对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。
1、2019年首次公开发行股票募集资金公司于2019年12月11日分别在中信银行沈阳和平支行（账号8112901012900643057）、中国建设银行沈阳城内支行（账号21050139000800001255）、招商银行沈阳浑南西路支行（账号124904600110111）
开设账户作为募集资金专项账户。2019年12月11日，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和时任保荐机构国信证券股份有限公司（以下简称“国信证券”）签署《募集资金专户存储三方监管协议》。
2021 年 9 月 8 日，公司因 2021 年年度向特定对象发行 A 股股票变更保荐机构，与原保荐机构国信证券以及相关募集资金存储银行签订的《募集资金专户存储三方监管协议》相应终止，国信证券未完成的持续督导工作由中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”）承接。鉴于公司保荐机构已发生更换，为进一步规范公司募集资金管理，保护投资者权益，根据中国证监会《上市公司监管指引第2号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等法律、法规的规定，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行及保荐机构中金公司签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
上述《募集资金专户存储三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管协议》的履行不存在问题。截至2023年6月30日，公司均严格按照该《募集资金专户存储三方监管协议》的规定存放和使用募集资金。
截至2023年6月30日，募集资金专项账户余额情况如下：
单位：人民币元银行名称银行帐号余额中信银行沈阳和平支行8112901012900643057已销户
中国建设银行沈阳城内支行21050139000800001255422.77
招商银行沈阳浑南西路支行1249046001101114340410.52
合计4340833.29
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
2022年6月7日，公司分别在平安银行沈阳分行（账号15912666666677）、中信银行沈阳南站支行（账号8112901011100849786）、招商银行沈阳浑南西路支行（账号124904600110858）开设账户作为募集资金专项账户。2022年6月16日，分别与平安银行股份有限公司沈阳分行、中信银行股份有限公司沈阳分行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和保荐机构中金公司签署《募集资金专户存储三方监管协议》。
2022年6月7日，公司在招商银行上海自贸试验区临港新片区支行（账号
121942302510107）开设账户作为募集资金专项账户。2022年6月27日，公司董
事会同意使用募集资金25000万元向全资子公司上海芯源微企业发展有限公司进行增资，用于实施募投项目“上海临港研发及产业化项目”。2022年7月27日，公司与全资子公司上海芯源微企业发展有限公司、保荐机构中金公司以及全资子公司募集资金专项账户开户银行（招商银行上海自贸试验区临港新片区支行）签
订了《募集资金专户存储四方监管协议》。
上述《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》
与证券交易所制定的《监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管协议》、《募集资金专户存储四方监管协议》的履行不存在问题。截至2023年6月30日，公司均严格按照《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》的规定，存放和使用募集资金。
截至2023年6月30日，募集资金存储情况如下：
单位：人民币元银行名称银行帐号余额
平安银行沈阳分行1591266666667733282213.34
中信银行沈阳南站支行811290101110084978619584632.98
招商银行沈阳浑南西路支行12490460011085828766.16
招商银行上海自贸区临港新片区支行1219423025101077656173.63
合计60551786.11
三、本报告期募集资金的实际使用情况
（一）募集资金投资项目的资金使用情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
截至2023年6月30日，具体使用情况详见附表1：2019年首次公开发行股票募集资金使用情况对照表。
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
截至2023年6月30日，具体使用情况详见附表2：2021年度向特定对象发行 A 股股票募集资金使用情况对照表。
（二）募投项目先期投入及置换情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
在2019年首次公开发行股票募集资金到位前，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募集资金项目累计投入14034042.00元，对“高端晶圆处理设备产业化”募集资金项目累计投入389400.00元，使用自筹资金支付发行费用人民币2597169.81元。
公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第
七次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金17020611.81元置换预先投入自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。
上述以募集资金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）鉴证并出具容诚专字[2020]110Z0064 号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。截至2020年12月31日，上述自筹资金17020611.81元已用募集资金置换完毕。
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
在 2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金到位前，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资金额为31738839.36元，其中对“上海临港研发及产业化”募集资金项目累计投入31738839.36元。
公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的议案》，同意使用募集资金31738839.36元置换已预先投入募集资金投资项目的自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。上述以募集资金置换预先投入自筹资金情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）鉴证并出具容诚专字[2022]110Z0153 号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。
截至2023年6月30日，上述自筹资金31738839.36元已用募集资金置换完毕。
（三）对闲置募集资金进行现金管理情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
截至2023年6月30日，公司使用2019年首次公开发行股票闲置募集资金进行现金管理的余额为0元，无投资相关产品的情况。
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
公司于2022年6月16日召开第二届董事会第三次会议及第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过70000万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。
公司于2023年6月9日召开第二届董事会第十三次会议及第二届监事会第十
二次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过50000万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。
截至2023年6月30日，公司使用2021年度向特定对象发行股票闲置募集资金进行现金管理的余额为41022万元。
单位：人民币万元预期年化是否银行产品名称类型金额购买日到期日收益率赎回平安银行对公结构结构平安银行性存款（100%保本性存19500.002023/4/252023/7/262.85%否沈阳分行挂钩汇率）产品款
TGG23000402共赢智信汇率挂钩中信银行结构人民币结构性存款
沈阳南站性存21522.002023/4/242023/7/242.78%否
14886期
支行款
C23VR0118
（四）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第
七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，
2020年5月25日，公司召开2019年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公
司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3830万元用于永久补充流动资金。
公司于2021年6月11日召开第一届董事会第二十六次会议和第一届监事会
第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2021年6月28日，公司召开2021年第三次临时股东大会审议通过了前述议案，
同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3830万元用于永久补充流动资金。
公司使用部分超募资金永久补充流动资金仅在与主营业务相关的生产经营中使用；在超募资金永久补充流动资金后的12个月内，不进行高风险投资或对外提供财务资助。公司最12个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额不超过超募资金总额的30%，未违反中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的有关规定。
截至2023年6月30日，公司累计使用超募资金永久性补充流动资金为7660万元。
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金不适用。
（五）使用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
公司于2020年7月2日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币8000万元用于暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。截至2021年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币8000万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于2021年7月2日召开第一届董事会第二十七次会议和第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超过人民币15000万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。公司在规定期限内实际使用了人民币6000万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2022年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币6000万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5800万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定期限内实际使用了人民币5000万元闲置募集资金暂时补充流动资金。
截至2023年6月30日，公司使用闲置募集资金暂时补充流动资金余额为人民币5000万元。
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
截至 2023 年 6 月 30 日，公司暂未使用 2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金暂时补充流动资金。
（六）募集资金使用的其他情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
公司于2020年4月24日召开了第一届董事会第十五次会议和第一届监事会
第七次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意将募集资金投资项目之一“高端晶圆处理设备产业化项目”实施地点由“沈阳市浑南区新岛街6号”变更为“沈阳市浑南区东至沈本一街，南至规划地块，西至沈本大街，北至桃园一路”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集资金的用途及实施方式，不会对公司正常的生产经营和业务发展产生不利影响。
公司于2021年3月19日召开了第一届董事会第二十三次会议和第一届监事
会第十三次会议，审议通过了《关于公司募投项目延期的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备研发中心项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年3月31日，将“高端晶圆处理设备产业化项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年6月30日。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
2023年4月17日，公司召开了第二届董事会第十次会议和第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，将项目实施地点由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号”变更至“北至规划路，南至创新路，西至沈本大街，东至沈本一街地块”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集资金的用途及实施方式，不会对公司正常的生产经营和业务发展产生不利影响。
四、变更募投项目的资金使用情况
截至2023年6月30日，本公司募集资金投资项目未发生变更情况。
五、募集资金使用及披露中存在的问题
公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并对募集资金使用情况及时地进行了披露，不存在募集资金使用及管理的违规情形。
特此公告。
沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事会
2023年8月29日附表1：
2019年首次公开发行股票募集资金使用情况对照表
单位：万元
募集资金总额50574.41本年度投入募集资金总额0.00变更用途的募集资金总额不适用
已累计投入募集资金总额38731.60变更用途的募集资金总额比例不适用截至期末累计投入项目可行是否已变更截至期末累截至期末投入承诺投资项目募集资金承调整后投资截至期末承诺本年度投入金额与承诺投入金项目达到预定可本年度实现是否达到性是否发
项目(含部分计投入金额进度(%)(4)＝
诺投资总额总额投入金额(1)金额额的差额(3)＝使用状态日期的效益预计效益生重大变
变更)(2)(2)/(1)
(2)-(1)化高端晶圆处理
设备产业化项否23860.7323860.7323860.730.0024813.36952.63103.99（注1）2022年6月30日1611.08是否目高端晶圆处理
设备研发中心否13918.2413918.2413918.240.0013918.240.00100.002022年3月31日注2不适用否项目
承诺投资项目—————
—37778.9737778.9737778.970.0038731.60952.63合计
未达到计划进度原因(分具体项目)不适用项目可行性发生重大变化的情况说明不适用12公司于2020年4月24日召开了第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意将募集资金投资项目之一“高端晶圆处理设备产业化项募集资金投资项目实施地点变更情况目”实施地点由“沈阳市浑南区新岛街6号”变更为“沈阳市浑南区东至沈本一街，南至规划地块，西至沈本大街，北至桃园一路”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集资金的用途及实施方式，不会对公司正常的生产经营和业务发展产生不利影响。
募集资金投资项目实施方式调整情况不适用
在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募集资金项目累计投入
14034042.00元，对“高端晶圆处理设备产业化”募集资金项目累计投入389400.00元，使用自筹资金支付发
行费用人民币2597169.81元。
公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金17020611.81元置换预先投入自筹资募集资金投资项目先期投入及置换情况金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。
公司使用募集资金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2020]110Z0064 号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。
截至2020年12月31日，上述自筹资金17020611.81元已用募集资金置换完毕。
13公司于2020年7月2日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币8000万元用于暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。截至2021年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币8000万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于2021年7月2日召开第一届董事会第二十七次会议和第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超过人民币15000万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
日起不超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。公司在规定期限内实际使用了人民币6000万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2022年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币6000万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5800万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定期限内实际使用了人民币5000万元闲置募集资金暂时补充流动资金。
截至2023年6月30日，公司使用闲置募集资金暂时补充流动资金余额为人民币5000万元。
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况截至2023年6月30日，公司使用闲置募集资金进行现金管理的余额为0元，无投资相关产品的情况。
公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2020年5月25日，公司召开2019年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3830万元用于永久补充流动资金。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况公司于2021年6月11日召开第一届董事会第二十六次会议和第一届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2021年6月28日，公司召开2021年第三次临时股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3830万元用于永久补充流动资金。
截至2023年6月30日，公司累计使用超募资金永久性补充流动资金为7660万元。
14“高端晶圆处理设备产业化项目”和“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，节余的募集资金共928.47万元，募集资金节余的主要原因如下：
1、节余的募集资金为公司在没有影响募集资金投资项目建设进度的情况下，利用闲置募集资金进行现金管
募集资金结余的金额及形成原因理产生的投资收益导致。
2、在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目质量
的前提下，加强项目建设各个环节成本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出。
公司于2021年3月19日召开了第一届董事会第二十三次会议和第一届监事会第十三次会议，审议通过了《关于募投项目延期的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备研发中心项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年3月31日，将“高端晶圆处理设备产业化项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年6月30募集资金其他使用情况日。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。
注1：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募集项目所致。
注2：“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，在公司原有研发资源的基础上，通过配置先进的研究设备、实验设备和测试检验设备，引进一批专业技术人才，建立了与公司发展战略相匹配的研发平台，极大地提升了公司的技术创新能力。
15附表2：
2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金使用情况对照表
单位：万元
募集资金总额99999.99本年度投入募集资金总额31822.52变更用途的募集资金总额不适用
已累计投入募集资金总额54716.32变更用途的募集资金总额比例不适用截至期末累计投入项目可行是否已变更截至期末累截至期末投入承诺投资项目募集资金承调整后投资截至期末承诺本年度投入金额与承诺投入金项目达到预定可本年度实现是否达到性是否发
项目(含部分计投入金额进度(%)(4)＝
诺投资总额总额投入金额(1)金额额的差额(3)＝使用状态日期的效益预计效益生重大变
变更)(2)(2)/(1)
(2)-(1)化上海临港研发
否47000.0047000.0047000.0015487.0424371.41-22628.5951.852024年12月8日不适用不适用否及产业化项目高端晶圆处理
设备产业化项否23000.0023000.0023000.0063.7163.71-22936.290.282024年12月8日不适用不适用否
目（二期）
补充流动资金否29999.9929999.9929999.9916271.7730281.20281.21100.94（注3）—不适用不适用否承诺投资项目
—99999.9999999.9999999.9931822.5254716.32-45283.67—————合计
未达到计划进度原因(分具体项目)不适用项目可行性发生重大变化的情况说明不适用2023年4月17日，公司召开了第二届董事会第十次会议和第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》。将项目实施地点由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号”变更至“北募集资金投资项目实施地点变更情况至规划路，南至创新路，西至沈本大街，东至沈本一街地块”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集资金的用途及实施方式，不会对公司正常的生产经营和业务发展产生不利影响。
16募集资金投资项目实施方式调整情况不适用
在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“上海临港研发及产业化项目”募集资金项目累计投入
31738839.36元。
公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的议案》，同意使用募集资金31738839.36元置换已预先投入募集资金投资项目的自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意募集资金投资项目先期投入及置换情况的核查意见。
公司使用募集资金置换以自筹资金预先投入金额已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2022]110Z0153 号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。
截至2023年6月30日，上述自筹资金31738839.36元已用募集资金置换完毕。
公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5800万元闲置募集资金暂时补充用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。
截至2023年6月30日，公司暂未使用闲置募集资金暂时补充流动资金。
公司于2022年6月16日召开第二届董事会第三次会议及第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过70000万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了同意的核查意见。
公司于2023年6月9日召开第二届董事会第十三次会议及第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过50000万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。
截至2023年6月30日，公司使用闲置募集资金进行现金管理的余额为41022万元。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况不适用募集资金结余的金额及形成原因不适用募集资金其他使用情况不适用
注3：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募集项目所致。
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