中微公司:独立董事2021年年度述职报告

中微半导体设备（上海）股份有限公司
独立董事2021年年度述职报告
本人作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）独立董事，严格按照《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）《上市公司治理准则》《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》《上海证券交易所上市公司独立董事备案及培训工作指引》《上市公司独立董事履职指引》等有关法律、法规、规范性文件和《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（“以下简称“《公司章程》”）《中微半导体设备（上海）股份有限公司独立董事工作制度》（以下简称“《独立董事工作制度》”）等相关规定，积极参加公司董事会，认真审议议案，并对相关事项发表独立意见，积极履职，尽职尽责，充分发挥独立董事作用，切实维护公司整体利益和全体股东尤其是中小股东的合法权益。现将本人2021年度履职情况报告如下：
一、参加股东大会、董事会会议及表决情况
（一）参加股东大会、董事会会议情况
2021年度内，公司共召开股东大会5次，本人在参加股东大会时仔细审阅了会议议案
及相关材料，认真听取公司股东对公司经营和管理情况的意见，主动了解公司的运作情况。
2021年度内，公司共召开董事会会议9次，本人均亲自出席所有会议，未出现缺席会议的情况。作为公司独立董事，我们独立、客观、审慎的对公司2021年度董事会所有议案行使表决权。我们本着勤勉尽责的态度，在每次董事会前认真审阅议案及相关材料，对关联交易、员工股权激励计划、续聘审计机构等事项发表了独立意见。同时，本人依据多年实务积累的经验和专业能力对董事会及公司的运作经营提出了合理建议。
本人认为公司2021年度股东大会、董事会会议的召开及重大事项的表决符合法律法规等相关规定。
（二）参加董事会专门委员会会议情况
2021年内，薪酬与考核委员会召开会议2次、提名委员会召开会议1次。本人作为董
事会薪酬与考核委员会、提名委员会的成员，积极参加相关会议，与公司人力资源等部门沟通讨论公司员工股权激励计划的设置及实施、董事及高管薪酬方案和考核指标；与公司董事、管理层、人力资源等部门就公司新董事、核心人员的任职资格等进行认真的沟通讨论。
（三）表决情况
2021年度，公司董事会会议的召集及召开符合法定程序，董事会审议的议案符合公司经营发展的实际需要，我们在对公司董事会各项议案认真审议后，对全部议案投“赞成票”，不存在投“反对票”、“弃权票”的情况。
二、发表独立意见情况
2021年度，本人发表独立意见及事前认可意见的情况如下：
（一）2021年3月30日，本人对公司第一届董事会第十八次会议审议的《关于公司2020年年度利润分配预案》《关于公司2020年年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告的议案》《关于预计2021年年度日常关联交易的议案》《关于公司2021年年度董事薪酬方案的议案》《关于公司2021年年度高管薪酬方案的议案》《关于公司会计政策变更的议案》《关于公司为董监高购买责任险的议案》《关于公司2020年度内部控制评价报告的议案》发表独立意见。
（二）2021年4月26日，本人对公司第一届董事会第十九次会议审议的《关于续聘
2021年度审计机构的议案》发表了事前认可意见。
（三）2021年4月27日，本人对公司第一届董事会第十九次会议审议的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》《关于续聘2021年度审计机构的议案》发表独立意见。
（四）2021年6月10日，本人对公司于第一届董事会第二十次会议审议的《关于国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司作为认购对象参与公司2020年度向特定对象发行股票的议案》发表了事前认可意见。
（五）2021年6月11日，本人对公司于第一届董事会第二十次会议审议的《关于国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司作为认购对象参与公司2020年度向特定对象发行股票的议案》发表独立意见。
（六）2021年7月5日，本人对公司于第一届董事会第二十一次会议审议的《关于向参股公司提供借款的议案》发表了事前认可意见。（七）2021年7月9日，本人对公司于第一届董事会第二十一次会议审议的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于调整向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额的议案》《关于向参股公司提供借款的议案》发表独立意见。
（八）2021年8月24日，本人对公司于第一届董事会第二十二次会议审议的《关于公司2021年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》发表独立意见。
（九）2021年9月29日，本人对公司于第一届董事会第二十三次会议审议的《关于对外投资产业基金暨关联交易的议案》发表独立意见。
（十）2021年10月27日，本人对公司于第一届董事会第二十四次会议审议的《关于公司董事会换届暨选举第二届董事会非独立董事的议案》《关于公司董事会换届暨选举第二届董事会独立董事的议案》发表独立意见。
（十一）2021年12月8日，本人对公司于第二届董事会第一次会议审议的《关于增加公司2021年度日常性关联交易预计金额的议案》发表了事前认可意见。
（十二）2021年12月9日，本人对公司于第二届董事会第一次会议审议的《关于聘用公司总经理的议案》《关于聘用公司副总经理的议案》《关于聘用公司财务负责人的议案》《关于聘用公司董事会秘书的议案》《关于聘用公司证券事务代表的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于增加公司2021年度日常性关联交易预计金额的议案》发表独立意见。
（十三）2021年12月26日，本人对公司于第二届董事会第二次会议审议的《关于对参股公司增资暨关联交易的议案》发表了事前认可意见。
（十四）2021年12月28日，本人对公司于第二届董事会第二次会议审议的《关于对参股公司增资暨关联交易的议案》发表独立意见。三、年度履职重点关注事项
（一）关联交易事项
公司2021年度发生的关联交易是公司按照公平、公正、公开原则开展，未损害公司和全体股东的利益。公司在不断致力于减少关联交易的同时，与关联方的关联交易将继续遵循公平、合理的原则，双方的交易行为均通过合同的方式予以约定，不会损害公司和非关联股东的利益。关联交易对公司的财务状况、经营成果不会产生任何不利影响，公司的主要业务也不会因此类交易而对关联方形成依赖。
（二）募集资金使用情况
根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》等法律法规及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》的有关规定，本人对公司2021年度募集资金存放与实际使用情况进行了认真核实，公司不存在违规使用募集资金的情况。
（三）信息披露的执行情况
在2021年度，公司完成了2020年年度报告、2021年第一季度报告、半年度报告、第三季度报告等其他临时公告的编制及披露工作。该等披露均符合《公司章程》及《中微半导体设备（上海）股份有限公司信息披露管理制度》的规定，并履行了必要的审批、报送程序，信息披露真实、准确、完整、及时，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。
（四）内控制度的有效性
公司已经根据《公司法》《证券法》等法律法规和中国证监会、上海证券交易所有关
规定建立了较为完善的公司治理结构和内控制度。在2021年度内，股东大会、董事会、管理层严格根据相关法律法规、《公司章程》以及内部管理制度的规定规范运作，切实保障了公司和股东的合法权益。公司的内部控制实际运作情况符合中国证监会、上海证券交易所发布的有关上市公司内部控制的要求。
（五）公司及股东承诺履行情况在2021年度内，公司及股东恪守承诺，严格遵守《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关规定，未出现延迟履行或违反承诺的情形。
（六）公司对外担保情况在2021年度内，公司不存在依照《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《公司章程》等规定需要提交董事会审议的对外担保事项。
（七）高管薪酬
在2021年度内，公司高级管理人员的薪酬考核与发放符合公司绩效考核和薪酬制度，严格按照考核结果发放。
（八）利润分配
在2021年度内，公司未进行利润分配。
（九）会计师聘任情况
在2021年度内，公司聘请普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2021年度的财务审计和内部控制审计机构。本人认为：普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）具有从事证券业务资质，严谨敬业，计划安排详细，派驻的审计人员具有良好的职业操守，审计工作经验丰富，熟悉公司的经营发展情况，其为公司出具的审计报告客观、公正地反映了公司的财务状况和经营成果。
四、对公司进行现场调查的情况
在2021年度内，本人利用参加公司各项会议的机会，对公司进行了现场走访和调研，与公司其他董事、管理层密切沟通及深入联系，就公司经营管理情况、财务状况、发展规划等重大事项的决策及进展展开了多次讨论及探讨。本人还通过电话和邮件等方式，与公司董事、高级管理人员保持联系，并时常关注公司网站、上海证券交易所网站、报纸等传媒的相关报道，及时获悉公司所处行业及公司业务运营的相关重大信息。
五、保护投资者权益方面所做的工作
在2021年度内，本人积极关注公司生产经营状况和财务状况，及时了解公司在生产运用中可能遇到的风险。本人对每一个提交董事会审议的议案，均认真查阅相关文件资料并与相关负责人员讨论等，利用自身的专业知识和经验独立、客观、公正地行使表决权，在工作中保持充分的独立性，切实维护了公司中小投资者的利益。
同时，本人持续关注公司的信息披露工作，督促公司严格按照法律法规及《公司章程》等的规定真实、准确、完整、及时地完成信息披露工作。六、独立性及自律情况
作为独立董事，本人具备《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》所要求的独立性，不存在任何影响本人独立性的情况。
在2021年度内，本人按照相关法律法规及《公司章程》《独立董事工作制度》等规定，严格自律，认真履职，忠实地维护公司及公司股东尤其是中小投资者的相关权益。
七、学习和培训情况
在2021年度内，本人认真学习中国证监会、中国证监会上海监管局及上海证券交易所发布的有关科创板上市公司法律法规及其它相关文件，积极参加公司及券商准备的相关法律法规及履职培训，加强对公司内部治理结构和保护中小投资者合法权益的理解和认识，以期更好地履行本人作为公司独立董事的职责。
八、总体评价及建议作为公司的独立董事，本人在2021年度严格遵守相关法律法规、规范性文件以及《公司章程》的相关规定，积极有效的履行了独立董事职责，对公司的相关事项发表了独立意见，与公司董事、监事、管理层就公司经营、业务等事项密切沟通、积极讨论。本人运用自身的专业知识及经验为公司的重大事项决策提供切实可行的建议，维护了公司的整体利益，尤其是中小股东的合法权益，尽到了勤勉尽责的义务。
在2022年，本人将在去年工作的基础上，进一步加强与公司董事、监事及管理层的沟通，继续独立公正、谨慎勤勉地履行独立董事的职责，利用自己的专业知识和经验为公司业务运营提供更多合理有效的建议，切实维护公司整体利益和中小股东的合法权益。
特此报告。
陈大同
2022年3月30日中微半导体设备（上海）股份有限公司
独立董事2021年年度述职报告
本人作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）独立董事，严格按照《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）《上市公司治理准则》《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》《上海证券交易所上市公司独立董事备案及培训工作指引》《上市公司独立董事履职指引》等有关法律、法规、规范性文件和《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（“以下简称“《公司章程》”）《中微半导体设备（上海）股份有限公司独立董事工作制度》（以下简称“《独立董事工作制度》”）等相关规定，积极参加公司董事会，认真审议议案，并对相关事项发表独立意见，积极履职，尽职尽责，充分发挥独立董事作用，切实维护公司整体利益和全体股东尤其是中小股东的合法权益。现将本人2021年度履职情况报告如下：
一、参加股东大会、董事会会议及表决情况
（一）参加股东大会、董事会会议情况
2021年度内，公司共召开股东大会5次，本人在参加股东大会时仔细审阅了会议议案
及相关材料，认真听取公司股东对公司经营和管理情况的意见，主动了解公司的运作情况。
2021年度内，公司共召开董事会会议9次，本人均亲自出席所有会议，未出现缺席会议的情况。作为公司独立董事，我们独立、客观、审慎的对公司2021年度董事会所有议案行使表决权。我们本着勤勉尽责的态度，在每次董事会前认真审阅议案及相关材料，对关联交易、员工股权激励计划、续聘审计机构等事项发表了独立意见。同时，本人依据多年实务积累的经验和专业能力对董事会及公司的运作经营提出了合理建议。
本人认为公司2021年度股东大会、董事会会议的召开及重大事项的表决符合法律法规等相关规定。
（二）参加董事会专门委员会会议情况
2021年内，公司董事会审计委员会共召开4次会议及1次与外部审计机构单独沟通的
会议、提名委员会召开会议1次。本人作为董事会审计委员会、提名委员会的成员，积极参加相关会议，与公司财务部、内审部及外部会计师及时进行沟通，并就相关问题与外部会计师、公司管理层进行了沟通，保证公司财务定期报告真实、准确、完整，符合相关法律法规的要求；与公司董事、高级管理人员、人力资源等部门就公司新任董事、核心人员的任职资格等进行认真的沟通讨论。
（三）表决情况
2021年度，公司董事会会议的召集及召开符合法定程序，董事会审议的议案符合公司经营发展的实际需要，我们在对公司董事会各项议案认真审议后，对全部议案投“赞成票”，不存在投“反对票”、“弃权票”的情况。
二、发表独立意见情况
2021年度，本人发表独立意见及事前认可意见的情况如下：
（一）2021年3月30日，本人对公司第一届董事会第十八次会议审议的《关于公司2020年年度利润分配预案》《关于公司2020年年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告的议案》《关于预计2021年年度日常关联交易的议案》《关于公司2021年年度董事薪酬方案的议案》《关于公司2021年年度高管薪酬方案的议案》《关于公司会计政策变更的议案》《关于公司为董监高购买责任险的议案》《关于公司2020年度内部控制评价报告的议案》发表独立意见。
（二）2021年4月26日，本人对公司第一届董事会第十九次会议审议的《关于续聘
2021年度审计机构的议案》发表了事前认可意见。
（三）2021年4月27日，本人对公司第一届董事会第十九次会议审议的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》《关于续聘2021年度审计机构的议案》发表独立意见。
（四）2021年6月10日，本人对公司于第一届董事会第二十次会议审议的《关于国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司作为认购对象参与公司2020年度向特定对象发行股票的议案》发表了事前认可意见。
（五）2021年6月11日，本人对公司于第一届董事会第二十次会议审议的《关于国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司作为认购对象参与公司2020年度向特定对象发行股票的议案》发表独立意见。（六）2021年7月5日，本人对公司于第一届董事会第二十一次会议审议的《关于向参股公司提供借款的议案》发表了事前认可意见。
（七）2021年7月9日，本人对公司于第一届董事会第二十一次会议审议的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于调整向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额的议案》《关于向参股公司提供借款的议案》发表独立意见。
（八）2021年8月24日，本人对公司于第一届董事会第二十二次会议审议的《关于公司2021年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》发表独立意见。
（九）2021年9月29日，本人对公司于第一届董事会第二十三次会议审议的《关于对外投资产业基金暨关联交易的议案》发表独立意见。
（十）2021年10月27日，本人对公司于第一届董事会第二十四次会议审议的《关于公司董事会换届暨选举第二届董事会非独立董事的议案》《关于公司董事会换届暨选举第二届董事会独立董事的议案》发表独立意见。
（十一）2021年12月8日，本人对公司于第二届董事会第一次会议审议的《关于增加公司2021年度日常性关联交易预计金额的议案》发表了事前认可意见。
（十二）2021年12月9日，本人对公司于第二届董事会第一次会议审议的《关于聘用公司总经理的议案》《关于聘用公司副总经理的议案》《关于聘用公司财务负责人的议案》《关于聘用公司董事会秘书的议案》《关于聘用公司证券事务代表的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于增加公司2021年度日常性关联交易预计金额的议案》发表独立意见。
（十三）2021年12月26日，本人对公司于第二届董事会第二次会议审议的《关于对参股公司增资暨关联交易的议案》发表了事前认可意见。（十四）2021年12月28日，本人对公司于第二届董事会第二次会议审议的《关于对参股公司增资暨关联交易的议案》发表独立意见。
三、年度履职重点关注事项
（一）关联交易事项
公司2021年度发生的关联交易是公司按照公平、公正、公开原则开展，未损害公司和全体股东的利益。公司在不断致力于减少关联交易的同时，与关联方的关联交易将继续遵循公平、合理的原则，双方的交易行为均通过合同的方式予以约定，不会损害公司和非关联股东的利益。关联交易对公司的财务状况、经营成果不会产生任何不利影响，公司的主要业务也不会因此类交易而对关联方形成依赖。
（二）募集资金使用情况
根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》等法律法规及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》的有关规定，本人对公司2021年度募集资金存放与实际使用情况进行了认真核实，公司不存在违规使用募集资金的情况。
（三）信息披露的执行情况
在2021年度，公司完成了2020年年度报告、2021年第一季度报告、半年度报告、第三季度报告等其他临时公告的编制及披露工作。该等披露均符合《公司章程》及《中微半导体设备（上海）股份有限公司信息披露管理制度》的规定，并履行了必要的审批、报送程序，信息披露真实、准确、完整、及时，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。
（四）内控制度的有效性
公司已经根据《公司法》《证券法》等法律法规和中国证监会、上海证券交易所有关
规定建立了较为完善的公司治理结构和内控制度。在2021年度内，股东大会、董事会、管理层严格根据相关法律法规、《公司章程》以及内部管理制度的规定规范运作，切实保障了公司和股东的合法权益。公司的内部控制实际运作情况符合中国证监会、上海证券交易所发布的有关上市公司内部控制的要求。
（五）公司及股东承诺履行情况在2021年度内，公司及股东恪守承诺，严格遵守《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关规定，未出现延迟履行或违反承诺的情形。
（六）公司对外担保情况
在2021年度内，公司不存在依照《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《公司章程》等规定需要提交董事会审议的对外担保事项。
（七）高管薪酬
在2021年度内，公司高级管理人员的薪酬考核与发放符合公司绩效考核和薪酬制度，严格按照考核结果发放。
（八）利润分配
在2021年度内，公司未进行利润分配。
（九）会计师聘任情况
在2021年度内，公司聘请普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2021年度的财务审计和内部控制审计机构。本人认为：普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）具有从事证券业务资质，严谨敬业，计划安排详细，派驻的审计人员具有良好的职业操守，审计工作经验丰富，熟悉公司的经营发展情况，其为公司出具的审计报告客观、公正地反映了公司的财务状况和经营成果。
四、对公司进行现场调查的情况
在2021年度内，本人利用参加公司各项会议的机会，对公司进行了现场走访和调研，与公司其他董事、管理层密切沟通及深入联系，就公司经营管理情况、财务状况、发展规划等重大事项的决策及进展展开了多次讨论及探讨。本人还通过电话和邮件等方式，与公司董事、高级管理人员保持联系，并时常关注公司网站、上海证券交易所网站、报纸等传媒的相关报道，及时获悉公司所处行业及公司业务运营的相关重大信息。
五、保护投资者权益方面所做的工作
在2021年度内，本人积极关注公司生产经营状况和财务状况，及时了解公司在生产运用中可能遇到的风险。本人对每一个提交董事会审议的议案，均认真查阅相关文件资料并与相关负责人员讨论等，利用自身的专业知识和经验独立、客观、公正地行使表决权，在工作中保持充分的独立性，切实维护了公司中小投资者的利益。同时，本人持续关注公司的信息披露工作，督促公司严格按照法律法规及《公司章程》等的规定真实、准确、完整、及时地完成信息披露工作。
六、独立性及自律情况
作为独立董事，本人具备《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》所要求的独立性，不存在任何影响本人独立性的情况。
在2021年度内，本人按照相关法律法规及《公司章程》《独立董事工作制度》等规定，严格自律，认真履职，忠实地维护公司及公司股东尤其是中小投资者的相关权益。
七、学习和培训情况
在2021年度内，本人认真学习中国证监会、中国证监会上海监管局及上海证券交易所发布的有关科创板上市公司法律法规及其它相关文件，积极参加公司及券商准备的相关法律法规及履职培训，加强对公司内部治理结构和保护中小投资者合法权益的理解和认识，以期更好地履行本人作为公司独立董事的职责。
八、总体评价及建议作为公司的独立董事，本人在2021年度严格遵守相关法律法规、规范性文件以及《公司章程》的相关规定，积极有效的履行了独立董事职责，对公司的相关事项发表了独立意见，与公司董事、监事、管理层就公司经营、业务等事项密切沟通、积极讨论。本人运用自身的专业知识及经验为公司的重大事项决策提供切实可行的建议，维护了公司的整体利益，尤其是中小股东的合法权益，尽到了勤勉尽责的义务。
在2022年，本人将在去年工作的基础上，进一步加强与公司董事、监事及管理层的沟通，继续独立公正、谨慎勤勉地履行独立董事的职责，利用自己的专业知识和经验为公司业务运营提供更多合理有效的建议，切实维护公司整体利益和中小股东的合法权益。
特此报告。
陈世敏
2022年3月30日中微半导体设备（上海）股份有限公司
独立董事2021年年度述职报告
本人作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）独立董事，严格按照《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）《上市公司治理准则》《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》《上海证券交易所上市公司独立董事备案及培训工作指引》《上市公司独立董事履职指引》等有关法律、法规、规范性文件和《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（“以下简称“《公司章程》”）《中微半导体设备（上海）股份有限公司独立董事工作制度》（以下简称“《独立董事工作制度》”）等相关规定，积极参加公司董事会，认真审议议案，并对相关事项发表独立意见，积极履职，尽职尽责，充分发挥独立董事作用，切实维护公司整体利益和全体股东尤其是中小股东的合法权益。现将本人2021年度履职情况报告如下：
一、参加股东大会、董事会会议及表决情况
（一）参加股东大会、董事会会议情况
2021年度内，公司共召开股东大会5次，本人在参加股东大会时仔细审阅了会议议案
及相关材料，认真听取公司股东对公司经营和管理情况的意见，主动了解公司的运作情况。
2021年度内，公司共召开董事会会议9次，本人均亲自出席所有会议，未出现缺席会议的情况。作为公司独立董事，我们独立、客观、审慎的对公司2021年度董事会所有议案行使表决权。我们本着勤勉尽责的态度，在每次董事会前认真审阅议案及相关材料，对关联交易、员工股权激励计划、续聘审计机构等事项发表了独立意见。同时，本人依据多年实务积累的经验和专业能力对董事会及公司的运作经营提出了合理建议。
本人认为公司2021年度股东大会、董事会会议的召开及重大事项的表决符合法律法规等相关规定。
（二）参加董事会专门委员会会议情况
2021年内，公司董事会审计委员会共召开4次会议及1次与外部审计机构单独沟通的
会议、薪酬与考核委员会召开会议2次。本人作为董事会审计委员会、薪酬与考核委员会的成员，积极参加相关会议，与公司财务部、内审部及外部会计师及时进行沟通，并就相关问题与外部会计师、公司管理层进行了沟通，保证公司财务定期报告真实、准确、完整，符合相关法律法规的要求；与公司人力资源等部门沟通讨论公司员工股权激励计划的归属
及实施、董事及高管薪酬方案和考核指标。
（三）表决情况
2021年度，公司董事会会议的召集及召开符合法定程序，董事会审议的议案符合公司经营发展的实际需要，我们在对公司董事会各项议案认真审议后，对全部议案投“赞成票”，不存在投“反对票”、“弃权票”的情况。
二、发表独立意见情况
2021年度，本人发表独立意见及事前认可意见的情况如下：
（一）2021年3月30日，本人对公司第一届董事会第十八次会议审议的《关于公司2020年年度利润分配预案》《关于公司2020年年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告的议案》《关于预计2021年年度日常关联交易的议案》《关于公司2021年年度董事薪酬方案的议案》《关于公司2021年年度高管薪酬方案的议案》《关于公司会计政策变更的议案》《关于公司为董监高购买责任险的议案》《关于公司2020年度内部控制评价报告的议案》发表独立意见。
（二）2021年4月26日，本人对公司第一届董事会第十九次会议审议的《关于续聘
2021年度审计机构的议案》发表了事前认可意见。
（三）2021年4月27日，本人对公司第一届董事会第十九次会议审议的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》《关于续聘2021年度审计机构的议案》发表独立意见。
（四）2021年6月10日，本人对公司于第一届董事会第二十次会议审议的《关于国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司作为认购对象参与公司2020年度向特定对象发行股票的议案》发表了事前认可意见。
（五）2021年6月11日，本人对公司于第一届董事会第二十次会议审议的《关于国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司作为认购对象参与公司2020年度向特定对象发行股票的议案》发表独立意见。（六）2021年7月5日，本人对公司于第一届董事会第二十一次会议审议的《关于向参股公司提供借款的议案》发表了事前认可意见。
（七）2021年7月9日，本人对公司于第一届董事会第二十一次会议审议的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于调整向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额的议案》《关于向参股公司提供借款的议案》发表独立意见。
（八）2021年8月24日，本人对公司于第一届董事会第二十二次会议审议的《关于公司2021年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》发表独立意见。
（九）2021年9月29日，本人对公司于第一届董事会第二十三次会议审议的《关于对外投资产业基金暨关联交易的议案》发表独立意见。
（十）2021年10月27日，本人对公司于第一届董事会第二十四次会议审议的《关于公司董事会换届暨选举第二届董事会非独立董事的议案》《关于公司董事会换届暨选举第二届董事会独立董事的议案》发表独立意见。
（十一）2021年12月8日，本人对公司于第二届董事会第一次会议审议的《关于增加公司2021年度日常性关联交易预计金额的议案》发表了事前认可意见。
（十二）2021年12月9日，本人对公司于第二届董事会第一次会议审议的《关于聘用公司总经理的议案》《关于聘用公司副总经理的议案》《关于聘用公司财务负责人的议案》《关于聘用公司董事会秘书的议案》《关于聘用公司证券事务代表的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于增加公司2021年度日常性关联交易预计金额的议案》发表独立意见。
（十三）2021年12月26日，本人对公司于第二届董事会第二次会议审议的《关于对参股公司增资暨关联交易的议案》发表了事前认可意见。（十四）2021年12月28日，本人对公司于第二届董事会第二次会议审议的《关于对参股公司增资暨关联交易的议案》发表独立意见。
三、年度履职重点关注事项
（一）关联交易事项
公司2021年度发生的关联交易是公司按照公平、公正、公开原则开展，未损害公司和全体股东的利益。公司在不断致力于减少关联交易的同时，与关联方的关联交易将继续遵循公平、合理的原则，双方的交易行为均通过合同的方式予以约定，不会损害公司和非关联股东的利益。关联交易对公司的财务状况、经营成果不会产生任何不利影响，公司的主要业务也不会因此类交易而对关联方形成依赖。
（二）募集资金使用情况
根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》等法律法规及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》的有关规定，本人对公司2021年度募集资金存放与实际使用情况进行了认真核实，公司不存在违规使用募集资金的情况。
（三）信息披露的执行情况
在2021年度，公司完成了2020年年度报告、2021年第一季度报告、半年度报告、第三季度报告等其他临时公告的编制及披露工作。该等披露均符合《公司章程》及《中微半导体设备（上海）股份有限公司信息披露管理制度》的规定，并履行了必要的审批、报送程序，信息披露真实、准确、完整、及时，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。
（四）内控制度的有效性
公司已经根据《公司法》《证券法》等法律法规和中国证监会、上海证券交易所有关
规定建立了较为完善的公司治理结构和内控制度。在2021年度内，股东大会、董事会、管理层严格根据相关法律法规、《公司章程》以及内部管理制度的规定规范运作，切实保障了公司和股东的合法权益。公司的内部控制实际运作情况符合中国证监会、上海证券交易所发布的有关上市公司内部控制的要求。
（五）公司及股东承诺履行情况在2021年度内，公司及股东恪守承诺，严格遵守《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关规定，未出现延迟履行或违反承诺的情形。
（六）公司对外担保情况
在2021年度内，公司不存在依照《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《公司章程》等规定需要提交董事会审议的对外担保事项。
（七）高管薪酬
在2021年度内，公司高级管理人员的薪酬考核与发放符合公司绩效考核和薪酬制度，严格按照考核结果发放。
（八）利润分配
在2021年度内，公司未进行利润分配。
（九）会计师聘任情况
在2021年度内，公司聘请普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2021年度的财务审计和内部控制审计机构。本人认为：普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）具有从事证券业务资质，严谨敬业，计划安排详细，派驻的审计人员具有良好的职业操守，审计工作经验丰富，熟悉公司的经营发展情况，其为公司出具的审计报告客观、公正地反映了公司的财务状况和经营成果。
四、对公司进行现场调查的情况
在2021年度内，本人利用参加公司各项会议的机会，对公司进行了现场走访和调研，与公司其他董事、管理层密切沟通及深入联系，就公司经营管理情况、财务状况、发展规划等重大事项的决策及进展展开了多次讨论及探讨。本人还通过电话和邮件等方式，与公司董事、高级管理人员保持联系，并时常关注公司网站、上海证券交易所网站、报纸等传媒的相关报道，及时获悉公司所处行业及公司业务运营的相关重大信息。
五、保护投资者权益方面所做的工作
在2021年度内，本人积极关注公司生产经营状况和财务状况，及时了解公司在生产运用中可能遇到的风险。本人对每一个提交董事会审议的议案，均认真查阅相关文件资料并与相关负责人员讨论等，利用自身的专业知识和经验独立、客观、公正地行使表决权，在工作中保持充分的独立性，切实维护了公司中小投资者的利益。同时，本人持续关注公司的信息披露工作，督促公司严格按照法律法规及《公司章程》等的规定真实、准确、完整、及时地完成信息披露工作。
六、独立性及自律情况
作为独立董事，本人具备《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》所要求的独立性，不存在任何影响本人独立性的情况。
在2021年度内，本人按照相关法律法规及《公司章程》《独立董事工作制度》等规定，严格自律，认真履职，忠实地维护公司及公司股东尤其是中小投资者的相关权益。
七、学习和培训情况
在2021年度内，本人认真学习中国证监会、中国证监会上海监管局及上海证券交易所发布的有关科创板上市公司法律法规及其它相关文件，积极参加公司及券商准备的相关法律法规及履职培训，加强对公司内部治理结构和保护中小投资者合法权益的理解和认识，以期更好地履行本人作为公司独立董事的职责。
八、总体评价及建议作为公司的独立董事，本人在2021年度严格遵守相关法律法规、规范性文件以及《公司章程》的相关规定，积极有效的履行了独立董事职责，对公司的相关事项发表了独立意见，与公司董事、监事、管理层就公司经营、业务等事项密切沟通、积极讨论。本人运用自身的专业知识及经验为公司的重大事项决策提供切实可行的建议，维护了公司的整体利益，尤其是中小股东的合法权益，尽到了勤勉尽责的义务。
在2022年，本人将在去年工作的基础上，进一步加强与公司董事、监事及管理层的沟通，继续独立公正、谨慎勤勉地履行独立董事的职责，利用自己的专业知识和经验为公司业务运营提供更多合理有效的建议，切实维护公司整体利益和中小股东的合法权益。
特此报告。
孔伟
2022年3月30日中微半导体设备（上海）股份有限公司
独立董事2021年年度述职报告
本人作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）独立董事，严格按照《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）《上市公司治理准则》《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》《上海证券交易所上市公司独立董事备案及培训工作指引》《上市公司独立董事履职指引》等有关法律、法规、规范性文件和《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（“以下简称“《公司章程》”）《中微半导体设备（上海）股份有限公司独立董事工作制度》（以下简称“《独立董事工作制度》”）等相关规定，积极参加公司董事会，认真审议议案，并对相关事项发表独立意见，积极履职，尽职尽责，充分发挥独立董事作用，切实维护公司整体利益和全体股东尤其是中小股东的合法权益。现将本人2021年度履职情况报告如下：
一、参加股东大会、董事会会议及表决情况
（一）参加股东大会、董事会会议情况
2021年度内，公司共召开股东大会5次，本人在参加股东大会时仔细审阅了会议议案
及相关材料，认真听取公司股东对公司经营和管理情况的意见，主动了解公司的运作情况。
2021年度内，公司共召开董事会会议9次，本人均亲自出席所有会议，未出现缺席会议的情况。作为公司独立董事，我们独立、客观、审慎的对公司2021年度董事会所有议案行使表决权。我们本着勤勉尽责的态度，在每次董事会前认真审阅议案及相关材料，对关联交易、员工股权激励计划、续聘审计机构等事项发表了独立意见。同时，本人依据多年实务积累的经验和专业能力对董事会及公司的运作经营提出了合理建议。
本人认为公司2021年度股东大会、董事会会议的召开及重大事项的表决符合法律法规等相关规定。
（二）参加董事会专门委员会会议情况
2021年内，公司董事会战略委员会共召开1次、薪酬与考核委员会召开会议2次。本
人作为董事会战略委员会、薪酬与考核委员会的成员，积极参加相关会议，与公司董事及高级管理人员就公司未来的发展战略、目标设定、业绩规划等进行讨论与分析；与公司人力资源等部门沟通讨论公司员工股权激励计划的归属及实施、董事及高管薪酬方案和考核指标。
（三）表决情况
2021年度，公司董事会会议的召集及召开符合法定程序，董事会审议的议案符合公司经营发展的实际需要，我们在对公司董事会各项议案认真审议后，对全部议案投“赞成票”，不存在投“反对票”、“弃权票”的情况。
二、发表独立意见情况
2021年度，本人发表独立意见及事前认可意见的情况如下：
（一）2021年3月30日，本人对公司第一届董事会第十八次会议审议的《关于公司2020年年度利润分配预案》《关于公司2020年年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告的议案》《关于预计2021年年度日常关联交易的议案》《关于公司2021年年度董事薪酬方案的议案》《关于公司2021年年度高管薪酬方案的议案》《关于公司会计政策变更的议案》《关于公司为董监高购买责任险的议案》《关于公司2020年度内部控制评价报告的议案》发表独立意见。
（二）2021年4月26日，本人对公司第一届董事会第十九次会议审议的《关于续聘
2021年度审计机构的议案》发表了事前认可意见。
（三）2021年4月27日，本人对公司第一届董事会第十九次会议审议的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》《关于续聘2021年度审计机构的议案》发表独立意见。
（四）2021年6月10日，本人对公司于第一届董事会第二十次会议审议的《关于国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司作为认购对象参与公司2020年度向特定对象发行股票的议案》发表了事前认可意见。
（五）2021年6月11日，本人对公司于第一届董事会第二十次会议审议的《关于国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司作为认购对象参与公司2020年度向特定对象发行股票的议案》发表独立意见。
（六）2021年7月5日，本人对公司于第一届董事会第二十一次会议审议的《关于向参股公司提供借款的议案》发表了事前认可意见。（七）2021年7月9日，本人对公司于第一届董事会第二十一次会议审议的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于调整向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额的议案》《关于向参股公司提供借款的议案》发表独立意见。
（八）2021年8月24日，本人对公司于第一届董事会第二十二次会议审议的《关于公司2021年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》发表独立意见。
（九）2021年9月29日，本人对公司于第一届董事会第二十三次会议审议的《关于对外投资产业基金暨关联交易的议案》发表独立意见。
（十）2021年10月27日，本人对公司于第一届董事会第二十四次会议审议的《关于公司董事会换届暨选举第二届董事会非独立董事的议案》《关于公司董事会换届暨选举第二届董事会独立董事的议案》发表独立意见。
（十一）2021年12月8日，本人对公司于第二届董事会第一次会议审议的《关于增加公司2021年度日常性关联交易预计金额的议案》发表了事前认可意见。
（十二）2021年12月9日，本人对公司于第二届董事会第一次会议审议的《关于聘用公司总经理的议案》《关于聘用公司副总经理的议案》《关于聘用公司财务负责人的议案》《关于聘用公司董事会秘书的议案》《关于聘用公司证券事务代表的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于增加公司2021年度日常性关联交易预计金额的议案》发表独立意见。
（十三）2021年12月26日，本人对公司于第二届董事会第二次会议审议的《关于对参股公司增资暨关联交易的议案》发表了事前认可意见。
（十四）2021年12月28日，本人对公司于第二届董事会第二次会议审议的《关于对参股公司增资暨关联交易的议案》发表独立意见。三、年度履职重点关注事项
（一）关联交易事项
公司2021年度发生的关联交易是公司按照公平、公正、公开原则开展，未损害公司和全体股东的利益。公司在不断致力于减少关联交易的同时，与关联方的关联交易将继续遵循公平、合理的原则，双方的交易行为均通过合同的方式予以约定，不会损害公司和非关联股东的利益。关联交易对公司的财务状况、经营成果不会产生任何不利影响，公司的主要业务也不会因此类交易而对关联方形成依赖。
（二）募集资金使用情况
根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》等法律法规及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》的有关规定，本人对公司2021年度募集资金存放与实际使用情况进行了认真核实，公司不存在违规使用募集资金的情况。
（三）信息披露的执行情况
在2021年度，公司完成了2020年年度报告、2021年第一季度报告、半年度报告、第三季度报告等其他临时公告的编制及披露工作。该等披露均符合《公司章程》及《中微半导体设备（上海）股份有限公司信息披露管理制度》的规定，并履行了必要的审批、报送程序，信息披露真实、准确、完整、及时，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。
（四）内控制度的有效性
公司已经根据《公司法》《证券法》等法律法规和中国证监会、上海证券交易所有关
规定建立了较为完善的公司治理结构和内控制度。在2021年度内，股东大会、董事会、管理层严格根据相关法律法规、《公司章程》以及内部管理制度的规定规范运作，切实保障了公司和股东的合法权益。公司的内部控制实际运作情况符合中国证监会、上海证券交易所发布的有关上市公司内部控制的要求。
（五）公司及股东承诺履行情况在2021年度内，公司及股东恪守承诺，严格遵守《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关规定，未出现延迟履行或违反承诺的情形。
（六）公司对外担保情况在2021年度内，公司不存在依照《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《公司章程》等规定需要提交董事会审议的对外担保事项。
（七）高管薪酬
在2021年度内，公司高级管理人员的薪酬考核与发放符合公司绩效考核和薪酬制度，严格按照考核结果发放。
（八）利润分配
在2021年度内，公司未进行利润分配。
（九）会计师聘任情况
在2021年度内，公司聘请普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2021年度的财务审计和内部控制审计机构。本人认为：普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）具有从事证券业务资质，严谨敬业，计划安排详细，派驻的审计人员具有良好的职业操守，审计工作经验丰富，熟悉公司的经营发展情况，其为公司出具的审计报告客观、公正地反映了公司的财务状况和经营成果。
四、对公司进行现场调查的情况
在2021年度内，本人利用参加公司各项会议的机会，对公司进行了现场走访和调研，与公司其他董事、管理层密切沟通及深入联系，就公司经营管理情况、财务状况、发展规划等重大事项的决策及进展展开了多次讨论及探讨。本人还通过电话和邮件等方式，与公司董事、高级管理人员保持联系，并时常关注公司网站、上海证券交易所网站、报纸等传媒的相关报道，及时获悉公司所处行业及公司业务运营的相关重大信息。
五、保护投资者权益方面所做的工作
在2021年度内，本人积极关注公司生产经营状况和财务状况，及时了解公司在生产运用中可能遇到的风险。本人对每一个提交董事会审议的议案，均认真查阅相关文件资料并与相关负责人员讨论等，利用自身的专业知识和经验独立、客观、公正地行使表决权，在工作中保持充分的独立性，切实维护了公司中小投资者的利益。
同时，本人持续关注公司的信息披露工作，督促公司严格按照法律法规及《公司章程》等的规定真实、准确、完整、及时地完成信息披露工作。六、独立性及自律情况
作为独立董事，本人具备《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》所要求的独立性，不存在任何影响本人独立性的情况。
在2021年度内，本人按照相关法律法规及《公司章程》《独立董事工作制度》等规定，严格自律，认真履职，忠实地维护公司及公司股东尤其是中小投资者的相关权益。
七、学习和培训情况
在2021年度内，本人认真学习中国证监会、中国证监会上海监管局及上海证券交易所发布的有关科创板上市公司法律法规及其它相关文件，积极参加公司及券商准备的相关法律法规及履职培训，加强对公司内部治理结构和保护中小投资者合法权益的理解和认识，以期更好地履行本人作为公司独立董事的职责。
八、总体评价及建议作为公司的独立董事，本人在2021年度严格遵守相关法律法规、规范性文件以及《公司章程》的相关规定，积极有效的履行了独立董事职责，对公司的相关事项发表了独立意见，与公司董事、监事、管理层就公司经营、业务等事项密切沟通、积极讨论。本人运用自身的专业知识及经验为公司的重大事项决策提供切实可行的建议，维护了公司的整体利益，尤其是中小股东的合法权益，尽到了勤勉尽责的义务。
在2022年，本人将在去年工作的基础上，进一步加强与公司董事、监事及管理层的沟通，继续独立公正、谨慎勤勉地履行独立董事的职责，利用自己的专业知识和经验为公司业务运营提供更多合理有效的建议，切实维护公司整体利益和中小股东的合法权益。
特此报告。
张卫
2022年3月30日