中微公司:2021年年度股东大会会议资料

证券代码：688012证券简称：中微公司
中微半导体设备（上海）股份有限公司
2021年年度股东大会会议资料
2022年4月中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
中微半导体设备（上海）股份有限公司
2021年年度股东大会会议须知
为了维护全体股东的合法权益，确保股东大会的正常秩序和议事效率，保证大会的顺利进行，根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《上市公司股东大会规则》以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》、
《中微半导体设备（上海）股份有限公司股东大会议事规则》等相关规定，特制定2021年年度股东大会会议须知：
一、为保证本次大会的严肃性和正常秩序，切实维护与会股东（或股东代理人）的合法权益，除出席会议的股东（或股东代理人）、公司董事、监事、高级管理人员、见证律师及董事会邀请的人员外，公司有权依法拒绝其他无关人员进入会场。
二、出席会议的股东及股东代理人须在会议召开前20分钟到会议现场办理
签到手续，并请按规定出示证券账户卡、身份证明文件或法人单位证明、授权委托书等，经验证后领取会议资料，方可出席会议。
会议开始后，由会议主持人宣布现场出席会议的股东人数及其所持有表决权的股份总数，在此之后进场的股东无权参与现场投票表决。
三、会议按照会议通知上所列顺序审议、表决议案。
四、股东及股东代理人参加股东大会依法享有发言权、质询权、表决权等权利。股东及股东代理人参加股东大会应认真履行其法定义务，不得侵犯公司和其他股东及股东代理人的合法权益，不得扰乱股东大会的正常秩序。
五、要求发言的股东及股东代理人，应当按照会议的议程，经会议主持人许可方可发言。有多名股东及股东代理人同时要求发言时，先举手者发言；不能确定先后时，由主持人指定发言者。会议进行中只接受股东及股东代理人发言或提问。股东及股东代理人发言或提问应围绕本次会议议题进行，简明扼要，时间不超过5分钟。
六、股东及股东代理人要求发言时，不得打断会议报告人的报告或其他股东
2中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
及股东代理人的发言，在股东大会进行表决时，股东及股东代理人不再进行发言。
股东及股东代理人违反上述规定，会议主持人有权加以拒绝或制止。
七、主持人可安排公司董事、监事、高级管理人员回答股东所提问题。对于
可能将泄露公司商业秘密及/或内幕信息，损害公司、股东共同利益的提问，主持人或其指定的有关人员有权拒绝回答。
八、出席股东大会的股东及股东代理人，应当对提交表决的议案发表如下意
见之一：同意、反对或弃权。未填、错填、字迹无法辨认的表决票、未投的表决票均视投票人放弃表决权利，其所持股份的表决结果计为“弃权”。
九、本次股东大会采取现场投票和网络投票相结合的方式表决，结合现场投票和网络投票的表决结果发布股东大会决议公告。
十、本次会议由公司聘请的律师事务所执业律师现场见证并出具法律意见书。
十一、开会期间参会人员应注意维护会场秩序，不要随意走动，手机调整为
静音状态，谢绝个人录音、录像及拍照，对干扰会议正常程序、寻衅滋事或侵犯其他股东合法权益的行为，会议工作人员有权予以制止，并报告有关部门处理。
十二、本公司不向参加股东大会的股东发放礼品，不负责安排参加股东大会
股东的住宿等事项，以平等原则对待所有股东。
十三、本次股东大会登记方法及表决方式的具体内容，请参见公司于2022年3月31日披露于上海证券交易所网站的《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于召开2021年年度股东大会的通知》。
特别提醒：新冠肺炎疫情防控期间，鼓励各位股东通过网络投票方式参会。
确需现场参会的，请务必确保本人体温正常、无呼吸道不适等症状，且出行符合国家疫情防控要求，参会当日须佩戴口罩等防护用具，做好个人防护。会议当日参会者需根据上海市疫情防控要求，出示48小时内核酸检测阴性证明，并进行体温测量和登记，体温正常者方可参会，请予配合。（具体防疫要求以股东大会当日的上海市疫情防控要求为准。）
3中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
中微半导体设备（上海）股份有限公司
2021年年度股东大会会议议程
一、会议时间、地点及投票方式
1、会议时间：2022年4月27日14点30分
2、现场会议地点：上海市浦东新区泰华路188号中微公司二号楼三楼2303
会议室
3、网络投票的系统、起止日期和投票时间
网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统
网络投票起止时间：自2022年4月27日至2022年4月27日
采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股东大会召开当日的交易时间段，即9:15-9:259:30-11:30，13:00-15:00；通过互联网投票平台的投票时间为股东大会召开当日的9:15-15:00。
二、会议议程
（一）参会人员签到、领取会议资料、股东进行发言登记
（二）主持人宣布会议开始，并向大会报告出席现场会议的股东人数及所持有的表决权数量
（三）宣读股东大会会议须知
（四）推举计票、监票成员
（五）审议会议议案1.《关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度报告及摘要的议案》
2.《关于公司2021年年度财务决算报告的议案》
3.《关于公司2021年年度利润分配预案的议案》
4.《关于预计2022年年度日常关联交易的议案》
5.《关于董事会2021年年度工作报告的议案》
4中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
6.《关于监事会2021年年度工作报告的议案》
7.《关于公司2022年年度董事薪酬方案的议案》
8.《关于公司2022年年度监事薪酬方案的议案》
9.《关于公司为董监高购买责任险的议案》
10.《关于续聘公司2022年度审计机构的议案》
听取《独立董事2021年年度述职报告》
（六）与会股东及股东代理人发言、提问
（七）与会股东及代理人对各项议案投票表决
（八）休会（统计表决结果）
（九）复会，宣读会议表决结果和股东大会决议
（十）见证律师宣读法律意见书
（十一）签署会议文件
（十二）会议结束
5中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
议案一关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度报告及摘要的议案
各位股东及股东代理人：
根据《公开发行证券的公司信息披露内容与格式准则第2号——年度报告的内容与格式（2021年修订）》《公开发行证券的公司信息披露编报规则第15号——财务报告的一般规定（2014年修订）》及《上海证券交易所科创板股票上市规则》等规范性文件的相关规定，公司编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度报告及其摘要》。
现将《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度报告及摘要》提
请各位股东审议，报告具体内容详见公司2022年3月31日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）及指定信息披露媒体上的《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度报告及摘要》。
以上议案已经公司第二届董事会第五次会议及第二届监事会第四次会议审议通过，请各位股东及股东代理人就此议案进行表决。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年4月27日
6中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
议案二关于公司2021年年度财务决算报告的议案
各位股东及股东代理人：
根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规、规范性文件以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》的规定，综合公司2021年年度经营及财务状况，公司编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度财务决算报告》。
公司2021年度财务报告已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审计，并出具了标准无保留意见的审计报告，现将《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度财务决算报告》提请各位股东审议，报告具体内容详见本议案所附《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度财务决算报告》。
以上议案已经公司第二届董事会第五次会议及第二届监事会第四次会议审议通过，请各位股东及股东代理人就此议案进行表决。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年4月27日
附件一《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度财务决算报告》
7中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
议案三关于公司2021年年度利润分配预案的议案
各位股东及股东代理人：
经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审计确认，公司2021年度实现归属于上市公司股东的净利润为1011423670.06元，母公司实现的净利润为890210403.52元。充分考虑到公司目前处于发展期，经营规模不断扩大，资金需求较大，为更好地维护全体股东的长远利益，公司2021年度不分配利润，资本公积不转增。
具体内容详见公司2022年3月31日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）及指定信息披露媒体上的《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度利润分配方案公告》。
以上议案已经公司第二届董事会第五次会议及第二届监事会第四次会议审议通过，请各位股东及股东代理人就此议案进行表决。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年4月27日
8中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
议案四关于预计2022年年度日常关联交易的议案
各位股东及股东代理人：
根据《中华人民共和国公司法》等法律、法规、规范性文件以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》《中微半导体设备（上海）股份有限公司关联交易管理制度》的规定，为规范中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）的日常关联交易，同时满足公司日常生产经营的需要，结合公司2022年年度生产经营计划，公司对2022年度的日常关联交易情况进行了预计，具体如下：
一、日常关联交易基本情况
（一）本次日常关联交易预计金额和类别
单位：人民币万元本年年初本次预计至2022金额与上占同类年2月28占同类关联交易本次预计上年实际年实际发关联人业务比日与关联业务比类别金额发生金额生金额差例人累计已例异较大的发生的交原因易金额上海华力集成电路客户采购
向关联人60001.93%1490282309.08%制造有限计划调整销售商品公司及提供劳华灿光电务客户采购（浙江）40001.29%27224440.79%计划调整有限公司
9中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
华灿光电客户采购（苏州）40001.29%-00.00%计划调整有限公司上海华力
微电子有15000.48%22510090.32%—限公司拓荆科技
股份有限7000.23%213840.12%—公司上海芯元基半导体
3000.10%-2930.09%—
科技有限公司睿励科学
仪器（上
4000.13%-1160.04%—
海）有限公司上海集成电路研发
500.02%-180.01%—
中心有限公司上海集成电路装备新增客户
材料产业3500011.26%175900.00%采购计划创新中心有限公司南昌昂坤
200.01%-70.00%—
半导体设
10中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
备有限公司盛美半导体设备
200.01%-40.00%—（上海）有限公司
小计5199016.73%37673250510.46%—南昌昂坤半导体设采购计划
61002.59%119531991.36%
备有限公调整司上海集成电路研发
2000.08%-1660.07%—
中心有限向关联人公司采购商拓荆科技
品、设股份有限100.00%-240.01%—
备、接受公司劳务和承上海微电租房屋子装备（集团）200.01%-160.01%—股份有限公司上海芯元基半导体
500.02%--0.00%
科技有限公司
小计63802.71%119534051.44%—
注：上表中本次预计金额占同类业务比例计算公式的分母为2021年同类业务金额。
11中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
（二）前次日常关联交易的预计和执行情况
单位：人民币万元关联交易前次实际发生金预计金额与实际发生金关联人前次预计金额类别额额差异较大的原因上海华力集成电
2850028230—
路制造有限公司上海集成电路研
10018—
发中心有限公司上海华力微电子
40001009客户采购计划变化
有限公司华灿光电（浙
50002444客户采购计划变化
江）有限公司拓荆科技股份有
600384—
向关联人限公司销售商品上海芯元基半导
200293—
及提供劳体科技有限公司
务 SolayerGmbH 50 - —睿励科学仪器（上海）有限公-116—司南昌昂坤半导体
-7—设备有限公司盛美半导体设备（上海）有限公-4—司
小计3845032505—
向关联人拓荆科技股份有3024—采购商限公司
12中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
品、设南昌昂坤半导体24003199采购计划变化
备、接受设备有限公司劳务和承昂坤视觉（北200-—租房屋京）科技有限公司
上海芯元基半导25-—体科技有限公司
上海华力集成电10-—路制造有限公司
上海集成电路研50166—发中心有限公司
上海微电子装备5016—（集团）股份有限公司
小计27653405—
二、关联人基本情况和关联关系
（一）关联人的基本情况
上海华力集成电路制造有限公司成立于2016年8月8日，法定代表人张素心，注册资本2960000万元人民币，注册地址位于上海市浦东新区良腾路6号。
其经营范围为开发、设计、销售集成电路和相关产品，从事货物与技术的进出口业务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。实际控制人为上海市国有资产监督管理委员会。
华灿光电（浙江）有限公司成立于2014年12月29日，上市公司华灿光电股份有限公司的全资子公司，法定代表人许菁麟，注册资本380450万元人民币，注册地址位于浙江省义乌市苏溪镇苏福路233号。其经营范围为一般项目：半导体材料、半导体器件、电子材料、电子器件、半导体照明设备、LED 芯片的设计、制造、销售；自有房屋租赁、机械设备租赁；蓝宝石加工技术研发（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。（除依法须经批准的项目外，
13中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料凭营业执照依法自主开展经营活动）。许可项目：货物进出口；技术进出口；危险化学品经营（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）。（分支机构经营场所设在：分支机构1.经营场所：浙江省义乌市北苑街道西城路469街秀禾问茶3号-1753（中国（浙江）自由贸易试验区金义片区）（自主申报），经营范围：半导体材料、半导体器件、电子材料、电子器件、半导体照明设备、LED 芯片的设计、销售；自有房屋租赁、机械设备租赁；蓝宝石加工技术研发；货物进出口；技术进出口）。
华灿光电（苏州）有限公司成立于2012年9月19日，上市公司华灿光电股份有限公司的全资子公司，法定代表人许菁麟，注册资本150000万元人民币，注册地址位于张家港经济开发区晨丰公路。其经营范围为半导体材料与器件、电子材料与器件、半导体照明设备的设计、制造、销售；自营和代理各类商品及技
术的进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）许可项目：危险化学品经营（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）.上海华力微电子有限公司成立于2010年1月18日，法定代表人张素心，注册资本2207239.728万元人民币，注册地址位于中国（上海）自由贸易试验区高斯路568号。其经营范围为开发、设计、加工、制造和销售集成电路和相关产品，从事货物及技术的进出口业务【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。实际控制人为上海市国有资产监督管理委员会。
拓荆科技股份有限公司成立于2010年4月28日，法定代表人吕光泉，注册资本9485.8997万元人民币，注册地址位于辽宁省沈阳市浑南区水家900号。其经营范围为一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、
技术推广，电子专用设备制造，电子专用设备销售，半导体器件专用设备制造，半导体器件专用设备销售，机械零件、零部件加工，机械零件、零部件销售，销售代理，非居住房地产租赁（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
上海芯元基半导体科技有限公司成立于2014年10月24日，法定代表人郝茂盛，注册资本675.0528万元人民币，注册地址位于中国（上海）自由贸易试验区祥科路111号3号楼507-2室。其经营范围为从事半导体领域内的技术开发、
14中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
技术咨询、技术服务、技术转让，电子元器件、芯片及其电子配件的研发，半导体、电子元器件、芯片及其电子配件的销售，机电设备的设计、销售，从事货物及技术的进出口业务【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。实际控制人为郝茂盛。
睿励科学仪器（上海）有限公司成立于 2005 年 6 月 27 日，法定代表人 FengYang（杨峰），注册资本 427941881.48 元人民币，注册地址位于中国（上海）自由贸易试验区华佗路68号6幢。其经营范围为研制、生产半导体设备，销售自产产品，提供相关的技术服务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。
上海集成电路研发中心有限公司成立于2002年12月16日，法定代表人赵宇航，注册资本31060万元人民币，注册地址位于中国（上海）自由贸易试验区龙东大道3000号。其经营范围为芯片的制造、销售，集成电路设计及销售，相关领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让；投资，国内贸易（除专项审批）；从事货物与技术的进出口业务【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司成立于2020年04月10日，注册资本为127000万人民币，注册地址为上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216 室。其经营范围包括一般项目：集成电路设计；集成电路芯片及产品销售；集成电路芯片设计及服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技
术转让、技术推广；机械设备租赁；货物进出口；技术进出口【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。
南昌昂坤半导体设备有限公司成立于2019年5月21日，法定代表人马铁中，注册资本3000万元人民币，注册地址位于江西省南昌市南昌高新技术产业开发区艾溪湖北路688号中兴科技园8号厂房一层。其经营范围为半导体器件专用设备的研发、销售；电子工业专用设备的生产、销售、安装、研发、技术转让、
技术服务；软件开发；机械设备、仪器仪表、金属制品、五金交电、计算机及辅
助设备、软件的销售；自营或代理各类商品及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。实际控制人为马铁中。
盛美半导体设备（上海）有限公司成立于2005年5月17日，法定代表人
15中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
HUI WANG，注册资本 39020.1347 万元人民币，注册地址位于中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢，其经营范围为设计、生产、加工电子专用设备及其零部件，销售公司自产产品，并提供售后技术服务和咨询服务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。实际控制人为 HUIWANG。
上海微电子装备（集团）股份有限公司成立于2002年3月7日，法定代表人干频，注册资本14702.3788万人民币，注册地址位于中国（上海）自由贸易试验区张东路1525号。其经营范围为半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅材料的进口业务（但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外）。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】。
（二）与上市公司的关联关系序关联方名称关联关系号
在交易发生之日前12个月内，曾任
1上海华力集成电路制造有限公司公司董事沈伟国担任副董事长的公司
上海华力微电子有限公司之子公司
在交易发生之日前12个月内，曾任
2华灿光电（浙江）有限公司公司监事俞信华担任董事长的华灿光
电股份有限公司的全资子公司
在交易发生之日前12个月内，曾任
3华灿光电（苏州）有限公司公司监事俞信华担任董事长的华灿光
电股份有限公司的全资子公司
在交易发生之日前12个月内，曾任
4上海华力微电子有限公司
公司董事沈伟国担任副董事长的公司
公司参股公司，董事杨征帆、
5 拓荆科技股份有限公司 GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）担
任董事的公司
16中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
公司参股公司，董事 ZHI YOU DU
6上海芯元基半导体科技有限公司（杜志游）担任董事的公司
公司参股公司，董事长 GERALDZHEYAO YIN（尹志尧）担任董事
7睿励科学仪器（上海）有限公司
长、董事杨征帆担任董事、监事黄晨担任董事的公司
8上海集成电路研发中心有限公司董事朱民担任董事的公司
上海集成电路装备材料产业创新董事朱民担任董事的上海集成电路研
9
中心有限公司发中心有限公司的控股子公司董事张亮担任董事的昂坤视觉（北京）科技有限公司的全资子公司，昂
10南昌昂坤半导体设备有限公司
坤视觉（北京）科技有限公司为公司参股公司
盛美半导体设备（上海）有限公监事黄晨担任董事的公司
11
司
上海微电子装备（集团）股份有董事朱民、张卫担任董事的公司
12
限公司
（三）履约能力分析
上述关联方依法存续经营，双方交易能正常结算，前期合同往来执行情况良好。公司将就上述交易与相关方签署相关合同或协议并严格按照约定执行，双方履约具有法律保障。
三、日常关联交易主要内容
（一）关联交易主要内容
公司的关联交易主要为向关联方销售商品及提供劳务，主要包括销售刻蚀设备及 MOCVD 设备及相应的备品备件、提供劳务等，关联销售价格主要根据客户在规格型号、产品标准、技术参数等方面的要求，依据市场公允价格确定，不同客户的产品在性能、结构等方面不同，销售价格会存在一定的差异。
（二）关联交易协议签署情况
17中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
为维护双方利益，公司与上述关联方将根据业务开展情况签订对应合同或协议。
四、日常关联交易目的和对上市公司的影响
公司与关联方交易均遵循公平、公正、公开的原则，依据市场价格定价、交易；上述关联交易均是公司的正常业务，有利于公司经营业务的发展，不存在损害公司和全体股东利益的行为；公司及关联人在业务、人员、资产、机构、财务
等方面保持独立，上述关联交易不会对公司的独立性构成影响，公司的主要业务也不会因此类交易而对关联方形成依赖。
独立董事就《关于预计2022年年度日常关联交易的议案》发表了事前认可意见。
以上议案已经公司第二届董事会第五次会议审议通过，请各位股东就公司与各关联方2022年年度日常关联交易预计进行逐项表决，关联股东需回避表决对应关联议案：
序议案名称需回避表决关联股东号关于与上海华力集成电路制造有限公司2022
1—
年年度日常关联交易预计的议案
关于与华灿光电(浙江)有限公司2022年年度
2—
日常关联交易预计的议案
关于与华灿光电(苏州)有限公司2022年年度
3—
日常关联交易预计的议案关于与上海华力微电子有限公司2022年年度
4—
日常关联交易预计的议案关于与拓荆科技股份有限公司 2022 年年度日 Gerald Zheyao Yin（尹志
5常关联交易预计的议案尧）关于与上海芯元基半导体科技有限公司2022
6 Zhiyou Du（杜志游）
年年度日常关联交易预计的议案
7 关于与睿励科学仪器（上海）有限公司 2022 Gerald Zheyao Yin（尹志
18中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料年年度日常关联交易预计的议案尧）关于与上海集成电路研发中心有限公司2022
8—
年年度日常关联交易预计的议案关于与上海集成电路装备材料产业创新中心有
9—
限公司2022年年度日常关联交易预计的议案关于与南昌昂坤半导体设备有限公司2022年
10—
年度日常关联交易预计的议案
关于与盛美半导体设备(上海)有限公司2022
11—
年年度日常关联交易预计的议案
关于与上海微电子装备（集团）股份有限公司
12—
2022年年度日常关联交易预计的议案
以上议案，请审议。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年4月27日
19中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
议案五关于董事会2021年年度工作报告的议案
各位股东及股东代理人：
根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司治理准则》与《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规、规范性文件以及
《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》《中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会议事规则》的规定，公司董事会编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会2021年年度工作报告》。
现将《中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会2021年年度工作报告》提请各位股东审议，报告具体内容详见本议案所附《中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会2021年年度工作报告》。
以上议案已经公司第二届董事会第五次会议审议通过，请各位股东及股东代理人就此议案进行表决。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年4月27日
附件二《中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会2021年年度工作报告》
20中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
议案六关于监事会2021年年度工作报告的议案
各位股东及股东代理人：
根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司治理准则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规、规范性文件以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》《中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会议事规则》的规定，公司监事会编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会2021年年度工作报告》。
现将《中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会2021年年度工作报告》提请各位股东审议，报告具体内容详见本议案所附《中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会2021年年度工作报告》。
以上议案已经公司第二届监事会第四次会议审议通过，请各位股东及股东代理人就此议案进行表决。
中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
2022年4月27日
附件三《中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会2021年年度工作报告》
21中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
议案七关于公司2022年年度董事薪酬方案的议案
各位股东及股东代理人：
根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》的规定，结合公司实际经营发展情况，并参照行业、地区薪酬水平，公司制定了2022年年度董事的薪酬方案，具体如下：
一、适用对象：公司的董事。
二、适用期限：2022年1月1日至2022年12月31日。
三、薪酬标准：
1、公司董事薪酬方案
（1）公司董事在公司担任管理职务者，按照所担任的管理职务领取薪酬，未担任管理职务的董事，不领取董事津贴。
（2）公司独立董事津贴为人民币40万元/年（税前）。
四、其他规定：
1、公司董事基本年薪按月发放；独立董事薪酬按月度发放。
2、公司董事因届次、改选、任期内辞职等原因离任的，按其实际任期计算并予以发放。
3、上述人员绩效工资部分视公司年度经营情况实际支付金额会有所浮动。
4、上述薪酬金额均为税前金额，涉及的个人所得税由公司统一代扣代缴。
请各位股东及股东代理人就此议案进行表决。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年4月27日
22中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
议案八关于公司2022年年度监事薪酬方案的议案
各位股东及股东代理人：
根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》的规定，结合公司实际经营发展情况，并参照行业、地区薪酬水平，公司制定了2022年年度监事的薪酬方案，具体如下：
一、适用对象：公司的监事。
二、适用期限：2022年1月1日至2022年12月31日。
三、薪酬标准：
公司监事薪酬按其在公司任职岗位领取报酬外，不领取监事津贴。
四、其他规定：
1、公司监事基本年薪按月发放。
2、公司监事因届次、改选、任期内辞职等原因离任的，按其实际任期计算并予以发放。
3、上述人员绩效工资部分视公司年度经营情况实际支付金额会有所浮动。
4、上述薪酬金额均为税前金额，涉及的个人所得税由公司统一代扣代缴。
请各位股东及股东代理人就此议案进行表决。
中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
2022年4月27日
23中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
议案九关于公司为董监高购买责任险的议案
各位股东及股东代理人：
为完善公司风险管理体系，保障公司董事、监事及高级管理人员的权益和广大投资者利益、降低公司运营风险，同时促进公司管理层充分行使权利、履行职责，根据《上市公司治理准则》的有关规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司拟为全体董事、监事及高级管理人员购买责任保险，责任保险的具体方案如下：
1、投保人：中微半导体设备（上海）股份有限公司。
2、被保险人：公司董事、监事、高级管理人员。
3、赔偿限额：责任限额：人民币1.5亿元；
4、保费支出：不超过人民币70万元（具体以保险公司最终报价审批数据为准）。
5、保险期限：1年。
董事会拟提请股东大会在上述权限内授权管理层办理全体董监高责任险购买的相关事宜（包括但不限于确定其他相关责任人员；确定保险公司；确定保险金额、保险费及其他保险条款；选择及聘任保险经纪公司或其他中介机构；签署相关法律文件及处理与投保相关的其他事项等），以及在今后董监高责任险保险合同期满时或之前办理与续保或者重新投保等相关事宜。
请各位股东及股东代理人就此议案进行表决。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年4月27日
24中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
议案十关于续聘公司2022年度审计机构的议案
各位股东及股东代理人：
根据财务活动的持续性特征，公司拟定2022年度续聘普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“普华永道中天”）为本公司进行2022年度财务报告和内部控制的审计。
一、拟续聘的会计事务所基本情况
（一）机构信息
1、基本信息
普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“普华永道中天”）
前身为1993年3月28日成立的普华大华会计师事务所，经批准于2000年6月更名为普华永道中天会计师事务所有限公司；经2012年12月24日财政部财会函[2012]52号批准，于2013年1月18日转制为普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）。注册地址为中国（上海）自由贸易试验区陆家嘴环路1318号星展银行大厦507单元01室。
普华永道中天是普华永道国际网络成员机构，拥有会计师事务所执业证书，也具备从事 H股企业审计业务的资质，同时也是原经财政部和证监会批准的具有证券期货相关业务资格的会计师事务所。此外，普华永道中天也在 US PCAOB（美国公众公司会计监督委员会）及 UK FRC（英国财务汇报局）注册从事相关审计业务。普华永道中天在证券业务方面具有丰富的执业经验和良好的专业服务能力。
普华永道中天的首席合伙人为李丹。截至2021年12月31日，普华永道中天合伙人数为257人，注册会计师人数为1401人，其中自2013年起签署过证券服务业务审计报告的注册会计师人数为346人。普华永道中天经审计最近一个会计年
度（2020年度）业务收入总额为人民币61.15亿元，审计业务收入为人民币56.92亿元，证券业务收入为人民币 28.61 亿元。普华永道中天的 2020 年度 A 股上市公司财务报表审计客户数量为103家，上市公司财务报表审计收费为人民币5.84亿元，主要行业包括制造业，金融业，交通运输、仓储和邮政业，房地产业及批发和零售业等，与本公司同行业(制造业)的 A股上市公司审计客户共 5家。
25中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
2、投资者保护能力
在投资者保护能力方面，普华永道中天已按照有关法律法规要求投保职业保险，职业保险累计赔偿限额和职业风险基金之和超过人民币2亿元，职业风险基金计提或职业保险购买符合相关规定。普华永道中天近3年无因执业行为在相关民事诉讼中承担民事责任的情况。
3、诚信记录
普华永道中天及其从业人员近三年未因执业行为受到刑事处罚、行政处罚以
及证券交易所、行业协会等自律组织的自律监管措施、纪律处分；普华永道中天也未因执业行为受到证监会及其派出机构的行政监管措施。普华永道中天四名初级员工因其个人投资行为违反独立性相关规定，于2019年收到上海证监局对其个人出具的警示函，上述个人行为不影响普华永道中天质量控制体系的有效性或涉及审计项目的执业质量，该四名人员随后均已从普华永道中天离职。根据相关法律法规的规定，上述行政监管措施不影响普华永道中天继续承接或执行证券服务业务和其他业务。
（二）项目成员信息
1、项目成员信息
项目合伙人及签字注册会计师：林晓帆，注册会计师协会执业会员，2005年起成为注册会计师，2002年起开始从事上市公司审计，2021年起开始为本公司提供审计服务，2002年起开始在本所执业，近3年已签署或复核4家上市公司审计报告。
质量复核合伙人：傅文轩，注册会计师协会执业会员，2004年起成为注册会计师，1999年起开始从事上市公司审计，2021年起开始为本公司提供审计服务，
1999年起开始在本所执业，近3年已签署或复核6家上市公司审计报告。
签字注册会计师：胡玉琢，注册会计师协会执业会员，2014年起成为注册会计师，2011年起开始从事上市公司审计，2021年起开始为本公司提供审计服务，
2011年起开始在本所执业，近3年已签署或复核2家上市公司审计报告。
2、项目成员的独立性和诚信记录情况
就拟聘任普华永道中天为中微公司的2022年度审计机构，项目合伙人及签字注册会计师林晓帆先生、质量复核合伙人傅文轩先生及签字注册会计师胡玉琢
先生最近3年未受到任何刑事处罚及行政处罚，未因执业行为受到证券监督管理
26中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
机构的行政监督管理措施，未因执业行为受到证券交易所、行业协会等自律组织的自律监管措施、纪律处分。
（三）审计收费
2021年度审计费用为人民币320万元。本期审计费用按照市场公允合理的
定价原则与会计师事务所协商确定。
二、续聘的理由
普华永道会计师事务所是一家专业化、规模化、国际化的大型会计师事务所，具备多年为上市公司提供审计服务的能力及丰富的审计经验，具有从事证券相关业务资格。在担任公司2021年度审计机构期间，普华永道会计师事务所严格遵循了相关法律、法规和政策，遵照独立、客观、公正的执业准则，勤勉尽责，较好地履行了双方所约定的责任和义务，公允合理地发表了独立审计意见，为本公司出具的审计意见能够客观、真实地反映公司的财务状况和经营成果，圆满完成了公司的审计工作。公司认为普华永道会计师事务所在相关业务的处理上具有丰富的经验，该事务所执业人员有良好的执业素质和执业道德，对会计信息的审计结果能真实地反映企业的实际情况，能够满足股东和债权人等对公司财务状况的了解需求。
以上议案已经公司第二届董事会第五次会议及第二届监事会第四次会议审议通过，请各位股东及股东代理人就此议案进行表决。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年4月27日
27中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
听取《独立董事2021年年度述职报告》
根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司独立董事规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规、规范性文件以
及《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》《中微半导体设备（上海）股份有限公司独立董事工作制度》的规定，公司四名独立董事张卫、陈世敏、陈大同、孔伟已向公司董事会进行了2021年度工作述职，具体内容详见公司2022年
3 月 31 日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）及指定信息披露媒体上
的《中微半导体设备（上海）股份有限公司独立董事2021年年度述职报告》。
上述四名独立董事2021年年度述职报告已经公司第二届董事会第五次会议
审议通过，董事会认为：四名独立董事严格遵守《公司法》等法律法规和《公司章程》等有关规定和要求，勤勉尽责地履行独立董事的职责和义务，公正客观地发表独立意见，维护了公司整体利益及全体股东的合法权益。现向股东大会进行书面报告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年4月27日
28中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料附件一《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度财务决算报告》
一、2021年度决算主要财务数据
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）2021年度财务报
表已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审计，并出具了标准无保留意见的审计报告。现将公司有关的财务决算情况汇报如下：
单位：人民币元本期比上主要会计数据2021年2020年年同期增2019年减(%)
营业收入3108134730.672273291898.0636.721946949250.75
归属于上市公司1011423670.06492199161.31105.49188564219.09股东的净利润
归属于上市公司324395998.3123319394.771291.1147539304.73股东的扣除非经常性损益的净利润
经营活动产生的1016256088.40846292855.0420.08133270991.54现金流量净额本期末比上年同期
2021年末2020年末2019年末末增减（%）
归属于上市公司13940019843.264369057694.76219.063751076960.24股东的净资产
总资产16732989003.955800876895.94188.464774054304.04
二、2021年度决算主要财务数据说明
公司资产、负债情况及相关指标、经营成果及现金流的情况及说明请见公司披露于上海证券交易所网站的《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度报告》。
中微半导体设备（上海）股份有限公司
2022年3月30日
29中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
30中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料附件二《中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2021年年度工作报告》
2021年，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）董事会
依照《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》
及《中微半导体设备（上海）股份有限公司公司章程》（以下简称“《公司章程》”）、《中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会议事规则》（以下简称“《董事会议事规则》”）等相关规定，以保障全体股东权益为目标，切实依法履行董事会职责，依规召开董事会、认真执行股东大会的各项决议，勤勉尽责地开展董事会各项工作。现将董事会2021年度工作情况报告如下：
一、2021年主要经营情况指标
2021年，公司实现营业总收入310813.47万元，比上年增长36.72%；实现
归属于上市公司股东的净利润101142.37万元，比上年增长105.49%。
二、2021年度董事会履职情况
（一）董事会召开情况
在2021年度内，公司董事会根据《公司法》《公司章程》《董事会议事规则》等规定要求，共召开9次董事会会议，充分发挥了董事会的决策作用，具体情况如下：
1.第一届董事会第十八次会议
主要审议事项：本次会议于2021年3月30日召开，审议通过2020年年报及相关报告、2021年董事薪酬方案、日常关联交易预计等议案。
2.第一届董事会第十九次会议
主要审议事项：本次会议于2021年4月27日召开，审议通过一季报、续聘审计机构、闲置募集资金管理等议案。
3.第一届董事会第二十次会议
31中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
主要审议事项：本次会议于2021年6月11日召开，审议通过公司再融资相关议案。
4.第一届董事会第二十一次会议
主要审议事项：本次会议于2021年7月9日召开，审议通过第一期员工股权激励归属及作废、再融资募集资金调整、参股公司借款等议案。
5.第一届董事会第二十二次会议
主要审议事项：本次会议于2021年8月24日召开，审议通过半年报、再融资募集资金置换等议案。
6.第一届董事会第二十三次会议
主要审议事项：本次会议于2021年9月29日召开，审议通过参与基金设立等议案。
7.第一届董事会第二十四次会议
主要审议事项：本次会议于2021年10月27日召开，审议通过三季报、制度修订、董事换届等议案。
8.第二届董事会第一次会议
主要审议事项：本次会议于2021年12月9日召开，审议通过选举董事长、专业委员会、高级管理人员等议案。
9.第二届董事会第二次会议
主要审议事项：本次会议于2021年12月28日召开，审议通过参股公司增资等议案。
（二）召集股东大会并履行股东大会情况
在2021年度内，公司董事会根据《公司法》、《公司章程》等规定要求，召集并组织了5次股东大会。董事会严格根据股东大会的决议及授权，认真执行并履行股东大会通过的相关决议，具体情况如下：
序会议届次召开日期决议刊登的指定网站决议刊登的披露日号的查询索引期
1.2021年第一次临2021年1月15日上海证券交易所网站2021年1月16日
时股东大会 （www.sse.com.cn）
2.2020年年度股东2021年4月27日上海证券交易所网站2021年4月28日
大会 （www.sse.com.cn）
3.2021年第二次临2021年5月18日上海证券交易所网站2021年5月19日
时股东大会 （www.sse.com.cn）
32中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
4.2021年第三次临2021年7月29日上海证券交易所网站2021年7月30日
时股东大会 （www.sse.com.cn）
5.2021年第三次临2021年12月9日上海证券交易所网站2021年12月10日
时股东大会 （www.sse.com.cn）
（三）董事会各专门委员会履职情况
公司董事会下设四个专门委员会：战略委员会、审计委员会、提名委员会及薪酬与考核委员会。董事会就各专门委员会制定了相应的工作细则。各专门委员会的产生、人员组成及议事程序，均符合相关法律法规及《公司章程》等规定。
在2021年度，董事会各专门委员会根据法律法规、《公司章程》及相应工作细则的规定，认真谨慎履职，为董事会决策提供了良好的建议及支持。
在2021年度内，公司战略委员会根据市场经济、行业发展态势、政策变化等多方面因素，并结合公司目前的实际运营情况，与公司高级管理人员、董事及监事多次沟通讨论公司未来的发展目标及前景，为公司将来的发展战略提出了切实有效的建议。公司审计委员会与公司财务部、内审部及外部会计师事务所保持沟通联系，了解公司的财务情况，保证公司财务定期报告真实、准确、完整，符合相关法律法规的要求。公司提名委员会与公司董事、高级管理人员、人力资源等部门就公司董事、核心人员的任职资格等进行认真的沟通讨论。公司薪酬与考核委员会与公司人力资源等部门保持联系，沟通并讨论公司董事、高管薪酬方案及考核指标。
（四）信息披露情况及防范内幕交易
在2021年度内，公司董事会依照《公司法》《证券法》《上市公司信息披露管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《公司章程》等相关规定，认真自觉履行信息披露义务，切实提高公司规范运作水平和信息公开透明度。公司信息披露真实、准确、完整、及时，合法地履行了信息披露的义务，确保投资者及时了解公司重大事项，最大程度地保护投资者利益。此外，公司重视防范内幕交易，对公司董事、监事、高级管理人员及其他员工定期作出禁止内幕交易的提示及教育，敦促董事、监事、高级管理人员及其他相关知情人员严格履行保密义务及信息披露义务，严格遵守买卖股票规定。
（五）内控制度的有效性
公司已经根据《公司法》《证券法》等法律法规和中国证监会、上海证券交
易所有关规定，建立了较为完善的公司治理结构和内控制度。在2021年度内，
33中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
股东大会、董事会、管理层严格根据相关法律法规、《公司章程》以及内部管理
制度的规定规范运作，切实保障了公司和股东的合法权益。公司的内部控制实际运作情况符合中国证监会、上海证券交易所发布的有关上市公司内部控制的要求。
（六）独立董事履职情况
公司独立董事根据《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》《公司章程》《董事会议事规则》《独立董事工作制度》等相关要求，履行义务，积极出席及列席董事会及股东大会，认真审议董事会的各项议案，运用其自身的经验及知识对公司重大事项充分表达意见，对有关需要独立董事发表事前认可意见或独立意见的事项均按要求发表了相关意见，充分发挥了独立董事作用，为董事会的科学决策提供了有效的支持及保障。
三、2022年度董事会工作重点
2022年，公司董事会将继续从维护股东尤其是中小投资者利益的角度出发，
优化产品结构、拓宽业务范围、提高行业竞争力、进一步推动公司业务及盈利能
力的增长，实现公司和全体股东利益最大化。
在董事会日常工作方面，董事会将继续严格按照法律法规和规范性文件的有关要求，认真做好公司信息披露、防范内幕交易、投资者关系管理等工作，认真及时地在股东大会授权范围内执行其各项决议，不断完善法人治理结构，进一步提高公司规范化运作水平。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年3月30日
34中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料附件三《中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
2021年年度工作报告》
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）监事会严格按照
《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）《上海证券交易所科创板上市规则》及《中微半导体设备（上海）股份有限公司公司章程》（以下简称“《公司章程》”）《中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会议事规则》（以下简称“《监事会议事规则》”）
等相关规定，以维护公司利益和股东利益为原则，勤勉尽责，依规召开监事会、积极列席董事会和股东大会，并对公司重大事项的决策程序及合法合规性进行了核查，对公司董事、高级管理人员履行职责的情况进行监督，推动公司规范化运作。现将监事会2021年度工作情况报告如下：
一、监事会工作情况
在2021年度内，公司监事会根据《公司法》《公司章程》《监事会议事规则》等规定要求，共召开6次监事会会议，充分发挥了监事会的监督作用，具体情况如下：
（一）第一届监事会第十三次会议
主要审议事项：本次会议于2021年3月30日召开，审议并通过了2021年监事薪酬、日常关联交易等年度监事会相关事项。
（二）第一届监事会第十四次会议
主要审议事项：本次会议于2021年4月27日召开，审议并通过了2020年年度监事会相关事项。
（三）第一届监事会第十五次会议
主要审议事项：本次会议于2021年7月9日召开，审议并通过了第一期员工股权激励归属、再融资募集资金调整等相关事项。
（四）第一届监事会第十六次会议
主要审议事项：本次会议于2021年8月24日召开，审议并通过了半年报、再融资募集资金置换、选举监事会主席等相关事项。
35中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
（五）第一届监事会第十七次会议
主要审议事项：本次会议于2021年10月27日召开，审议并通过了三季报、监事换届等相关事项。
（六）第二届监事会第一次会议
主要审议事项：本次会议于2021年12月9日召开，审议并通过了监事会主席选举、预留股权激励符合归属条件等相关事项。
二、监事会对相关事项的意见
（一）公司依法运作情况
在2021年度内，公司遵循了《公司法》《公司章程》的有关要求，规范运作，依规召开董事会、股东大会及监事会，相关事项的决策程序合法有效；公司董事、高管执行职务时勤勉尽责，未发现违反法律、法规、公司章程或损害公司及股东利益的情形。
（二）公司财务情况
在2021年度内，公司监事会对公司财务制度和财务状况进行了认真的监督，公司财务会计内控制度健全，财务运作规范，公司定期报告真实地反映了公司的财务状况和经营成果，会计师事务所对公司出具的审计报告真实、客观和公正，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。
（三）公司募集资金管理和使用情况
监事会对募集资金使用情况进行了检查，公司建立了募集资金管理制度，资金存放、使用程序规范。在2021年度内，未发现违规使用募集资金的情况。
（四）公司收购、出售资产交易情况
2021年度内，公司无需提交监事会审核的重大收购和出售资产交易。
（五）公司关联交易情况
报告期内，监事会对公司关联交易事项的审议及履行情况进行了监督和核查，相关交易的发生必要且合理，定价公允，关联交易事项决策程序合法，未损害公司和关联股东利益的情况。
（六）公司对外担保情况
36中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度股东大会会议资料
2021年度内公司无需提交监事会审核的对外担保。
（七）公司建立和实施内幕信息知情人管理制度的情况
2021年度内，公司按照相关法律法规的要求做好内幕信息登记和管理工作，
未发现内幕信息知情人利用内幕信息买卖公司股份的情况。
三、2022年监事会工作计划2022年监事会将继续认真学习国家相关部门制定的政策规定，严格按照《公司法》《证券法》《上海证券交易所科创板上市规则》及《公司章程》《监事会议事规则》等相关规定忠实勤勉地履行自己的职责，进一步促进公司的规范运作，切实维护股东和公司的合法权益。
中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
2022年3月30日
37