中微公司:海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2022年度持续督导半年度跟踪报告

海通证券股份有限公司
关于中微半导体设备（上海）股份有限公司
2022年度持续督导半年度跟踪报告
保荐机构名称：海通证券股份有限公司被保荐公司简称：中微公司
保荐代表人姓名：吴志君、孙剑峰 被保荐公司代码：688012.SH经中国证监会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2019]1168号）核准，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”、“上市公司”、“公司”）首次公开发
行股票53486224万股，每股面值1元，每股发行价格29.01元，募集资金总额为155163.54万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为144570.28万元。本次发行证券已于2019年7月22日在上海证券交易所上市。海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”或“海通证券”）担任其持续督导保荐机构，持续督导期间为2019年7月22日至2022年12月31日。
经中国证监会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2021]645号）核准，公司发行股票80229335万股，每股面值1元，每股发行价格102.29元，募集资金总额为820665.87万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为811816.24万元。本次发行证券已于
2021年6月30日在上海证券交易所上市。海通证券继续担任其持续督导保荐机构，持续督导期间为2021年6月30日至2023年12月31日。
在2022年1月1日至6月30日持续督导期内（以下简称“本持续督导期间”、“报告期”），保荐机构及保荐代表人按照《证券发行上市保荐业务管理办法》（以下简称“《保荐办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》
及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》等相关规定，
1通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽职调查等方式进行持续督导，现就2022年半年度持续督导情况报告如下：
一、2022年保荐机构持续督导工作情况项目工作内容
1、建立健全并有效执行持续督导工作制度，保荐机构已建立健全并有效执行持续督导工
并针对具体的持续督导工作制定相应的工作作制度，并针对具体的持续督导工作制定相计划。应的工作计划。
2、根据中国证监会相关规定，在持续督导工
作开始前，与上市公司或相关当事人签署持续督导协议，明确双方在持续督导期间的权保荐机构已与上市公司签署了持续督导协利义务，并报上海证券交易所备案。持续督导议，协议明确了双方在持续督导期间的权利期间，协议相关方对协议内容做出修改的，应和义务。本持续督导期间，未发生对协议内容于修改后五个交易日内报上海证券交易所备做出修改或终止协议的情况。
案。终止协议的，协议相关方应自终止之日起五个交易日内向上海证券交易所报告，并说明原因。
3、持续督导期间，按照有关规定对上市公司
违法违规事项公开发表声明的，应于披露前本持续督导期间，上市公司未发生需公开发向上海证券交易所报告，并经审核后予以披表声明的违法违规事项。
露。
4、持续督导期间，上市公司或相关当事人出
现违法违规、违背承诺等事项的，应自发现或本持续督导期间，上市公司及相关当事人未应当发现之日起五个交易日内向上海证券交出现需报告的违法违规、违背承诺等事项。
易所报告。
本持续督导期间，保荐机构通过日常沟通、定期或不定期回访、现场检查、尽职调查等方
5、通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽式，对上市公司开展持续督导工作。其中，保职调查等方式开展持续督导工作。
荐机构于2022年7月25日至26日对上市公司进行了现场检查。
6、督促上市公司建立和执行规范运作、承诺保荐机构已督促上市公司建立和执行规范运
履行、分红回报等制度。作、承诺履行、分红回报等制度。
保荐机构持续督促、指导上市公司及其董事、
7、督导上市公司及其董事、监事、高级管理
监事、高级管理人员，本持续督导期间，上市人员遵守法律、法规、部门规章和上海证券交
公司及其董事、监事、高级管理人员能够遵守
易所发布的业务规则及其他规范性文件，并相关法律法规的要求，并切实履行其所做出切实履行其所做出的各项承诺。
的各项承诺。
8、督导上市公司建立健全并有效执行公司治核查了上市公司治理制度建立与执行情况，理制度，包括但不限于股东大会、董事会、监上市公司《公司章程》、三会议事规则等制度事会议事规则以及董事、监事和高级管理人符合相关法规要求，本持续督导期间，上市公员的行为规范等。司有效执行了相关治理制度。
2项目工作内容
9、督导上市公司建立健全并有效执行内控制度，包括但不限于财务管理制度、会计核算制核查了上市公司内控制度建立与执行情况，度和内部审计制度，以及募集资金使用、关联上市公司内控制度符合相关法规要求，本持交易、对外担保、对外投资、衍生品交易、对续督导期间，上市公司有效执行了相关内控子公司的控制等重大经营决策的程序与规则制度。
等。
10、督导上市公司建立健全并有效执行信息
保荐机构督促上市公司严格执行信息披露制
披露制度，审阅信息披露文件及其他相关文度，审阅信息披露文件及其他相关文件，详见件，并有充分理由确信上市公司向上海证券“二、保荐机构对上市公司信息披露审阅的交易所提交的文件不存在虚假记载、误导性情况”。
陈述或重大遗漏。
11、对上市公司的信息披露文件及向中国证
监会、上海证券交易所提交的其他文件进行事前审阅，对存在问题的信息披露文件应及详见“二、保荐机构对上市公司信息披露审阅时督促上市公司予以更正或补充，上市公司的情况”。
不予更正或补充的，应及时向上海证券交易所报告。
12、对上市公司的信息披露文件未进行事前审阅的，应在上市公司履行信息披露义务后五个交易日内，完成对有关文件的审阅工作，详见“二、保荐机构对上市公司信息披露审阅对存在问题的信息披露文件应及时督促上市的情况”。
公司更正或补充，上市公司不予更正或补充的，应及时向上海证券交易所报告。
13、关注上市公司或其控股股东、实际控制本持续督导期间，上市公司或其控股股东、实
人、董事、监事、高级管理人员受到中国证监际控制人、董事、监事、高级管理人员未受到
会行政处罚、上海证券交易所监管措施或纪中国证监会行政处罚、上海证券交易所纪律
律处分的情况，并督促其完善内部控制制度，处分或者被上海证券交易所出具监管关注函采取措施予以纠正。的情况。
14、关注上市公司及控股股东、实际控制人等
履行承诺的情况，上市公司及控股股东、实际控制人等未履行承诺事项的，应及时向上海证券交易所报告。
上市公司或其控股股东、实际控制人作出承本持续督导期间，上市公司及控股股东、实际诺的，保荐机构、保荐代表人应当督促其对承控制人等不存在未履行承诺的情况。
诺事项的具体内容、履约方式及时间、履约能上市公司或其控股股东、实际控制人已对承
力分析、履约风险及对策、不能履约时的救济诺事项的具体内容、履约方式及时间、履约能
措施等方面进行充分信息披露。力分析、履约风险及对策、不能履约时的救济保荐机构、保荐代表人应当针对前款规定的措施等方面进行充分信息披露。
承诺披露事项，持续跟进相关主体履行承诺的进展情况，督促相关主体及时、充分履行承诺。
上市公司或其控股股东、实际控制人披露、履
3项目工作内容
行或者变更承诺事项，不符合法律法规、上市规则以及上海证券交易所其他规定的，保荐机构和保荐代表人应当及时提出督导意见，并督促相关主体进行补正。
15、关注公共传媒关于上市公司的报道，及时
针对市场传闻进行核查。经核查后发现上市公司存在应披露未披露的重大事项或与披露
本持续督导期间，上市公司未出现该等事项。
的信息与事实不符的，应及时督促上市公司如实披露或予以澄清；上市公司不予披露或澄清的，应及时向上海证券交易所报告。
16、发现以下情形之一的，应督促上市公司做
出说明并限期改正，同时向上海证券交易所报告：
（一）上市公司涉嫌违反《上市规则》等上海证券交易所相关业务规则；
（二）中介机构及其签名人员出具的专业意
见可能存在虚假记载、误导性陈述或重大遗本持续督导期间，上市公司及相关主体未出漏等违法违规情形或其他不当情形；现该等事项。
（三）上市公司出现《保荐办法》第七十一条、
第七十二条规定的情形；
（四）上市公司不配合保荐机构持续督导工作；
（五）上海证券交易所或保荐机构认为需要报告的其他情形。
17、制定对上市公司的现场检查工作计划，明保荐机构制定了对上市公司的现场检查工作
确现场检查工作要求，确保现场检查工作质计划，明确现场检查工作要求。保荐机构于量。保荐机构对上市公司的定期现场检查每2022年7月25日至26日对上市公司进行了年不应少于一次，负责该项目的两名保荐代现场检查，负责该项目的两名保荐代表人有1表人至少应有一人参加现场检查。人参加了现场检查。
18、重点关注上市公司是否存在如下事项：
（一）存在重大财务造假嫌疑；
（二）控股股东、实际控制人及其关联人涉嫌资金占用；
（三）可能存在违规担保；
（四）控股股东、实际控制人及其关联人、董
事、监事或者高级管理人员涉嫌侵占上市公本持续督导期间，上市公司未出现该等事项。
司利益；
（五）资金往来或者现金流存在重大异常；
（六）本所或者保荐人认为应当进行现场核查的其他事项。
出现上述情形的，保荐机构及其保荐代表人应当督促公司核实并披露，同时应当自知道
4项目工作内容
或者应当知道之日起15日内按规定进行专项现场核查。公司未及时披露的，保荐机构应当及时向上海证券交易所报告。
19、识别并督促上市公司披露对公司持续经
本持续督导期间，上市公司及相关主体未出营能力、核心竞争力或者控制权稳定有重大现该等事项。
不利影响的风险或者负面事项，并发表意见
20、关注上市公司股票交易异常波动情况，督
本持续督导期间，上市公司及相关主体未出促上市公司按照本规则规定履行核查、信息现该等事项。
披露等义务
21、对上市公司存在的可能严重影响公司或
本持续督导期间，上市公司及相关主体未出者投资者合法权益的事项开展专项核查，并现该等事项。
出具现场核查报告
22、上市公司日常经营出现下列情形的，保荐
机构、保荐代表人应当就相关事项对公司经营的影响以及是否存在其他未披露重大风险
发表意见并披露：
（一）主要业务停滞或出现可能导致主要业务停滞的重大风险事件；
（二）资产被查封、扣押或冻结；
本持续督导期间，上市公司及相关主体未出
（三）未能清偿到期债务；
现该等事项。
（四）实际控制人、董事长、总经理、财务负责人或核心技术人员涉嫌犯罪被司法机关采取强制措施；
（五）涉及关联交易、为他人提供担保等重大事项；
（六）本所或者保荐机构认为应当发表意见的其他情形。
23、上市公司业务和技术出现下列情形的，保
荐机构、保荐代表人应当就相关事项对公司
核心竞争力和日常经营的影响，以及是否存在其他未披露重大风险发表意见并披露：
（一）主要原材料供应或者产品销售出现重大不利变化；
（二）核心技术人员离职；本持续督导期间，上市公司及相关主体未出
（三）核心知识产权、特许经营权或者核心技现该等事项。
术许可丧失、不能续期或者出现重大纠纷；
（四）主要产品研发失败；
（五）核心竞争力丧失竞争优势或者市场出现具有明显优势的竞争者；
（六）本所或者保荐机构认为应当发表意见的其他情形。
5项目工作内容
保荐机构对上市公司募集资金的专户存储、
24、持续关注上市公司建立募集资金专户存募集资金的使用以及投资项目的实施等承诺
储制度与执行情况、募集资金使用情况、投资事项进行了持续关注，督导公司执行募集资项目的实施等承诺事项，对募集资金存放与金专户存储制度及募集资金监管协议，于使用情况进行现场检查。2022年7月25日至26日对上市公司募集资金存放与使用情况进行了现场检查。
2022年度，保荐机构发表核查意见具体情况
如下：
2022年3月10日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股
份有限公司对睿励科学仪器（上海）有限公司增资暨关联交易的核查意见》；
2022年3月30日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年度募集资金存放与使用情况的核查意见》；
2022年3月30日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年度日常关联交易执行情况
25、保荐机构发表核查意见情况。及2022年度日常关联交易预计的核查意见》；
2022年3月30日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金之专项核查意见》。
2022年7月11日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司使用闲置募集资金进行现金管理的核查意见》。
2022年7月14日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行部分限售股上市流通事项的核查意见》。
26、保荐机构发现的问题及整改情况（如有）不适用
二、保荐机构对上市公司信息披露审阅的情况海通证券持续督导人员对上市公司本持续督导期间的信息披露文件进行了
事先或事后审阅，包括股东大会会议决议及公告、董事会会议决议及公告、监事
6会会议决议及公告、募集资金使用和管理的相关报告和其他临时公告等文件，对
信息披露文件的内容及格式、履行的相关程序进行了检查。
经核查，保荐机构认为，上市公司严格按照证券监督部门的相关规定进行信息披露，依法公开对外发布各类定期报告或临时报告，确保各项重大信息的披露真实、准确、完整、及时，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。
三、重大风险事项
2022年上半年度，公司未发生重大风险事项。公司目前面临的风险因素主
要如下：
（一）经营风险
1、下游客户扩产不及预期的风险近年来，晶圆厂和 LED 芯片制造商审慎地进行扩产。不能排除下游晶圆厂和 LED 芯片制造商的后续投资不及预期，对相关设备的采购需求减弱，这将影响公司的订单量，进而对公司的业绩产生不利影响。
2、全体员工持股带来的公司治理风险
作为科技创新型企业，中微公司秉承扁平化的全员激励原则，对不同层级员工均给予股权激励。员工持股计划涉及公司全体员工的个人利益，在员工持股计划限售期届满后，如何实现员工保持相当的激励水平，对公司的管理能力提出了一定的挑战。如果公司未来未能使员工持股计划持续作为员工整体薪酬的重要组成部分，将可能导致公司人员流失等治理风险。
3、政府补助与税收优惠政策变动的风险
公司自成立以来先后承担了多项国家和地方重大科研项目。如果公司未来不能持续获得政府补助或政府补助显著降低，将会对公司经营业绩产生不利影响。
公司为高新技术企业，报告期内公司享受高新技术企业15%所得税的优惠税率，如果国家上述税收优惠政策发生变化，或者公司未能持续获得高新技术企业资质认定，则可能面临因税收优惠减少或取消而降低盈利的风险。
7（二）行业风险
1、行业政策变化风险
集成电路产业作为信息产业的基础和核心，是国民经济和社会发展的战略性产业。国家出台了一系列鼓励政策以推动我国集成电路及其装备制造业的发展，增强信息产业创新能力和国际竞争力。若未来国家相关产业政策支持力度减弱，将对公司发展产生一定影响。
2、国际贸易摩擦加剧风险近年来，国际贸易摩擦不断。中美贸易摩擦在众多国际贸易摩擦中备受关注。如果中美贸易摩擦继续恶化，公司的生产运营将受到一定影响。公司始终严格遵守中国和他国法律，一直保持与相关政府部门的及时沟通。公司拥有部分海外业务，存在一定的国际贸易摩擦风险。
（三）其他风险
1、知识产权风险
半导体设备行业是典型的技术密集型行业，为了保持技术优势和竞争力，防止技术外泄风险，已掌握先进技术的半导体设备企业通常会通过申请专利等方式设置较高的进入壁垒。公司一贯重视自主知识产权的研发，建立了科学的研发体系及知识产权保护体系，但仍不能排除与竞争对手产生知识产权纠纷，亦不能排除公司的知识产权被侵权，此类知识产权争端将对公司的正常经营活动产生不利影响。
公司在全球范围内销售产品，在多个国家或地区注册知识产权，但不同国别、不同的法律体系对知识产权的权利范围的解释和认定存在差异，若引发争议或诉讼将影响业务经营。
此外，产业链上下游供应商与客户的经营也可能受知识产权争议、诉讼等因素影响，进而间接影响公司正常的生产经营。
2、人才资源风险
8关键技术人员是公司生存和发展的关键，也是公司获得持续竞争优势的基础。公司已经通过全员持股方式，有效提高了关键技术人员和研发团队的忠诚度和凝聚力，但随着半导体设备行业对专业技术人才的需求与日俱增，人才竞争不断加剧，若公司不能提供更好的发展平台、更有竞争力的薪酬待遇及良好的研发条件，存在关键技术人员流失的风险。
3、投资风险
针对契合中微公司的中长期发展战略、有发展潜力的标的公司或部门，公司计划通过股权投资、并购等方式进行布局，以拓展公司业务领域，培育新的利润增长点，进一步提升公司防范市场波动风险并提升公司盈利能力。在进行投资和并购项目实施过程中，将面临投资风险及并购风险。
（1）投资风险
基于产业支持政策、市场环境和发展趋势，公司经过尽职调查及可行性研究作出项目投资决策。公司投资项目标的企业在后续发展过程中，可能面临产业政策变化、市场环境变化、产品技术水平不达预期等诸多不确定因素，可能导致其实际经营表现不达预期，进而导致投资项目的实际效益与预期结果存在较大差异。
（2）并购风险
公司强调稳健发展，坚持实施内生性增长与外延式并购相结合的发展策略。
虽然公司未来并购时将继续秉承审慎原则，相应制定整合计划，防范并购风险，但若出现宏观经济波动、市场竞争加剧、地缘政治环境变化、被并购公司业绩低
于预期或协同效应未显现等情形，将对公司的经营业绩产生不利影响。
4、疫情风险
新冠肺炎疫情继续在全球范围蔓延，受疫情影响，全球经济面临较大下行压力，国内行业的健康发展也受到影响；疫情爆发对半导体行业上下游的影响仍在持续，市场对公司所处行业上下游的影响也传递至公司，对公司的经营造成一定影响。
5、研发投入不足导致技术被赶超或替代的风险
9公司所处的半导体设备行业属于技术密集型行业，半导体关键设备的研发
涉及等离子体物理、射频及微波学、结构化学、微观分子动力学、光谱及能谱学、
真空机械传输等多种科学技术及工程领域学科知识的综合应用，具有产品技术升级快、研发投入大、研发周期长、研发风险高等特点。
国外领先的半导体设备公司均在研发方面投入巨额资金。公司研发投入总额与国外领先的半导体公司有相当大的差距。如果公司未来研发资金投入不足，不能满足技术升级需要，可能导致公司技术被赶超或替代的风险，对公司未来的经营业绩产生不利影响。
四、重大违规事项
2022年上半年度，公司不存在重大违规事项。
五、主要财务指标的变动原因及合理性
2022年上半年度，公司主要会计数据如下所示：
单位：万元本报告期本报告期比上年同主要会计数据上年同期
（1－6月）期增减（%）营业收入197179.48133862.7747.30
归属于上市公司股东的净利润46779.3939663.2317.94归属于上市公司股东的扣除非经常性
44070.686161.52615.26
损益的净利润
经营活动产生的现金流量净额6230.92-3522.25不适用本报告期末比上年本报告期末上年度末
度末增减（%）
归属于上市公司股东的净资产1468566.891394001.985.35
总资产1822547.151673298.908.92
2022年上半年度，公司主要财务指标如下所示：
本报告期本报告期比上年同期主要财务指标上年同期
（1－6月）增减（%）基本每股收益（元／股）0.760.742.70
稀释每股收益（元／股）0.760.742.7010扣除非经常性损益后的基本每股收益（
0.720.12500.00元／股）
加权平均净资产收益率（%）3.288.56减少5.28个百分点扣除非经常性损益后的加权平均净资产
3.091.33增加1.76个百分点
收益率（%）
研发投入占营业收入的比例（%）17.5621.40减少3.84个百分点
1、营业收入同比增长47.30%，主要系公司克服了疫情的不利影响，同时受
益于设备市场发展及公司产品竞争优势。公司2022年上半年刻蚀设备收入为
12.99 亿元，同比增长约 51.48%，毛利率达到 46.05%；其中 CCP 刻蚀设备上半
年收入 8.86 亿元，同比增长 13.98%；ICP 刻蚀设备上半年收入 4.13 亿元，同比增长 414.08%；公司 2022 年上半年 MOCVD 设备收入为 2.41 亿元，同比增长约
9.90%，本期 MOCVD 设备的毛利率达到 35.42%，同比增长约 4.65%。2022 年
上半年公司新增订单金额达30.6亿元，同比增长约61.8%。
2、归属于上市公司股东的扣除非经常性损益后的净利润同比增加约3.79亿元，增长幅度为615.26%，主要系2022年上半年公司营业收入和毛利同比均有大幅增长。
3、归属于上市公司股东的净利润同比增加约0.71亿元，增长约17.94%，主
要系：（1）本期收入和毛利增长下扣除非经常性损益后的归母净利润同比增加约
3.79亿元；（2）本期非经常性损益同比减少3.08亿元。非经常性损益变动主要
包括：本期计入非经常经损益的政府补助同比减少约2.03亿元；公司本期因股
权投资产生的公允价值变动收益同比减少约1.70亿元，主要是由于公司持有的中芯国际（688981.SH）和天岳先进（688234.SH）的股票价格在本期有所下降。
4、经营活动产生的现金流量净额由去年同期的-3522.25万元，提升至
6230.92万元，主要系本期销售商品、提供劳务收到的现金同比增加所致。
5、基本每股收益同比提升2.70%，主要系公司净利润增长所致。
6、归属于上市公司股东的净资产同比增长5.53%，主要系公司利润增长所致。
六、核心竞争力的变化情况
11本持续督导期间，公司核心竞争力未发生变化。
七、研发支出变化及研发进展
（一）研发支出变化情况
公司面向世界先进技术前沿，以国际先进的研发理念为依托，专注于高端微观加工设备的自主研发和创新。公司始终保持大额的研发投入和较高的研发投入占比，报告期内研发投入达到2.86亿元，同比增加7898.64万元，投入规模持续保持上升态势；研发投入占营业收入的比重为21.40%，与上年度同期相比，稳中有增。
公司面向世界先进技术前沿，以国际先进的研发理念为依托，专注于高端微观加工设备的自主研发和创新。公司始终保持大额的研发投入和较高的研发投入占比，报告期内研发投入达到3.46亿元，占营业收入的比重为17.56%。公司具有一支技术精湛、勇于创新的国际化人才研发队伍，形成了良好的企业创新文化，为公司持续创新和研发提供保障力量。
（二）研发进展
公司积累了深厚的技术储备和丰富的研发经验，公司拥有多项自主知识产权和核心技术，截至2022年6月30日，公司已申请2085项专利，其中发明专利
1799项；已获授权专利1189项，其中发明专利1011项。
在逻辑集成电路制造环节，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中若干关键步骤的加工；同时，公司根据先进集成电路厂商的需求持续进行设备开发和工艺优化。在
3D NAND 芯片制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备技术和电感性等离子
体刻蚀设备技术均已应用于客户 64 层、128 层及 200 层以上 3D NAND 的量产，市场占有率不断提升，同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺；公司也根据逻辑器件客户的需求，正在开发更先进刻蚀应用的设备。公司的 MOCVD 设备 Prismo A7、Prismo UniMax能分别实现单腔单腔
34片 4英寸和 41片 4英寸外延片加工能力。公司的 Prismo A7与 Prismo UniMax
12设备技术实力突出，已在全球氮化镓基 LED MOCVD 市场中占据领先地位。公
司和诸多一流的 LED 外延片厂商公司紧密合作，实现了产业深度融合。公司所开发的钨沉积设备具有优秀的阶梯覆盖率和填充能力，能够满足先进逻辑器件接触孔填充应用，以及 64 层、128 层和 200 层以上 3D NAND 中的多个关键应用，目前已通过关键客户的工艺验证，并积极推进设备在客户产线进行量产验证。公司的原子层沉积设备的研发正在积极推进中，所开发的设备能够满足先进存储器件和逻辑器件金属阻挡层的应用，以及先进逻辑器件中金属栅极的应用。公司会持续拓展原子层沉积设备及相关应用的研发，向逻辑和存储器件客户提供完善的金属薄膜解决方案。公司还正在开发拥有自主知识产权的外延设备（EPI），采用优化的反应腔室设计，能实现气流场均匀性和高温加热均匀性。公司高端设备产品和技术处于世界先进水平，产品研发提前布局，符合行业发展趋势。
八、新增业务进展是否与前期信息披露一致不适用。
九、募集资金的使用情况是否合规
（一）2019年首次公开发行股票募集资金截至2022年6月30日，公司首发募集资金专户余额为28639.25万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
项目金额（万元）
首发募集资金专户年初余额4384.57
加：年初用于现金管理金额46041.40
首发募集资金年初余额50425.97
减：募投项目结余资金转出用于永久补充流动资金4414.55
加：募集资金利息收入扣减手续费净额627.83
减：年末用于现金管理的金额-18000.00
首发募集资金专户年末余额28639.25
（二）2020 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
截至2022年6月30日，公司再融资募集资金专户余额为100847.18万元
13（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
项目金额（万元）
再融资募集资金专户年初余额167701.42
加：年初用于现金管理金额583804.08
再融资募集资金年初余额751505.49
减：本年度直接投入募投项目-42320.46
加：再融资募集资金利息收入扣减手续费净额2615.42
减：年末用于现金管理金额610953.28
再融资募集资金专户期末余额100847.18公司2022年上半年募集资金存放与使用情况符合《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，募集资金具体使用情况与公司已披露情况一致，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情形，募集资金管理和使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。
十、控股股东、实际控制人、董事、监事、高级管理人员的持股、质押、冻结及减持情况
（一）直接持股情况
截至2022年6月30日，公司无控股股东、实际控制人，公司董事、监事、高级管理人员直接持有公司股份的情况如下：
姓名职务持股数（股）持股比例GERALD ZHEYAO YIN（尹志董事长、总经理62002661.01%
尧）
ZHIYOU DU（杜志游） 董事、副总经理 2331436 0.38%
TUQIANG NI（倪图强） 副总经理 1274358 0.21%
副总经理、财务
WEIWEN CHEN（陈伟文） 1162842 0.19%负责人
14（二）报告期内授予的股权激励情况
公司董事、监事、高级管理人员报告期内被授予的股权激励为第二类限制性股票，截止2022年6月30日尚未到归属期，具体情况如下：
期末已期初已获授报告期新授获授予可归属已归属姓名职务予限制性股予限制性股限制性数量数量票数量票数量股票数量
GERALD ZHEYAO 董事长、
010112000101120
YIN（尹志尧） 总经理ZHIYOU DU（杜志 董事、副
0713000071300
游）总经理HSIN-PING CHU（朱副总经理0547000054700
新萍）TUQIANG NI（倪图副总经理0412000041200
强）副总经WEIWEN CHEN（陈理、财务0394000039400
伟文）负责人副总经
刘晓宇理、董事0298000029800会秘书
合计/033752000337520
截至2022年6月30日，公司董事、监事、高级管理人员持有的股份均不存在质押、冻结及减持的情形。
十一、上市公司是否存在《保荐办法》及上海证券交易所相关规则规定应向中国证监会和上海证券交易所报告或应当发表意见的其他事项经核查，截至本报告出具之日，上市公司不存在按照《保荐办法》及上海证券交易所相关规则规定应向中国证监会和上海证券交易所报告或应当发表意见的其他事项。
（以下无正文）15（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2022年度持续督导半年度跟踪报告》之签字盖章页）
保荐代表人签名：
吴志君孙剑峰海通证券股份有限公司年月日
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