中微公司:海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2023年度持续督导跟踪报告

海通证券股份有限公司
关于中微半导体设备（上海）股份有限公司
2023年度持续督年度跟踪报告
保荐机构名称：海通证券股份有限公司被保荐公司简称：中微公司
保荐代表人姓名：吴志君、邬凯丞 被保荐公司代码：688012.SH经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2019]1168号）批复，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”、“上市公司”或“公司”）
首次公开发行股票53486224股，每股面值人民币1元，每股发行价格人民币
29.01元，募集资金总额为人民币155163.54万元，扣除发行费用后，实际募集
资金净额为人民币144570.28万元。本次发行证券已于2019年7月22日在上海证券交易所上市。海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”或“海通证券”）担任其持续督导保荐机构，持续督导期间为2019年7月22日至2022年12月
31日。
经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2021]645号）批复，公司非公开发行股票80229335股，每股面值1元，每股发行价格102.29元，募集资金总额为820665.87万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为811816.24万元。本次发行证券已于2021年6月30日在上海证券交易所上市。海通证券继续担任其持续督导保荐机构，持续督导期间为2021年6月30日至2023年12月
31日。
在2023年1月1日至2023年12月31日持续督导期内（以下简称“本持续督导期间”），保荐机构及保荐代表人按照《证券发行上市保荐业务管理办法》
1（以下简称“《保荐业务管理办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》
等相关规定，通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽职调查等方式进行持续督导，现就2023年度持续督导情况报告如下：
一、2023年保荐机构持续督导工作情况项目工作内容
1、建立健全并有效执行持续督导工作制度，保荐机构已建立健全并有效执行持续督导工
并针对具体的持续督导工作制定相应的工作作制度，并针对具体的持续督导工作制定相计划。应的工作计划。
2、根据中国证监会相关规定，在持续督导工
作开始前，与上市公司或相关当事人签署持续督导协议，明确双方在持续督导期间的权保荐机构已与上市公司签署了保荐协议，协利义务，并报上海证券交易所备案。持续督导议明确了双方在持续督导期间的权利和义期间，协议相关方对协议内容做出修改的，应务，并已报上海证券交易所备案。本持续督导于修改后五个交易日内报上海证券交易所备期间，未发生对协议内容做出修改或终止协案。终止协议的，协议相关方应自终止之日起议的情况。
五个交易日内向上海证券交易所报告，并说明原因。
3、持续督导期间，按照有关规定对上市公司
违法违规事项公开发表声明的，应于披露前本持续督导期间，上市公司未发生需公开发向上海证券交易所报告，并经审核后予以披表声明的违法违规事项。
露。
4、持续督导期间，上市公司或相关当事人出
现违法违规、违背承诺等事项的，应自发现或本持续督导期间，上市公司及相关当事人未应当发现之日起五个交易日内向上海证券交出现需报告的违法违规、违背承诺等事项。
易所报告。
本持续督导期间，保荐机构通过日常沟通、定
5、通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽
期或不定期回访、现场检查、尽职调查等方职调查等方式开展持续督导工作。
式，对上市公司开展持续督导工作。
6、督促上市公司建立和执行规范运作、承诺保荐机构已督促上市公司建立和执行规范运
履行、分红回报等制度。作、承诺履行、分红回报等制度。
保荐机构持续督促、指导上市公司及其董事、
7、督导上市公司及其董事、监事、高级管理
监事、高级管理人员，本持续督导期间，上市人员遵守法律、法规、部门规章和上海证券交
公司及其董事、监事、高级管理人员能够遵守
易所发布的业务规则及其他规范性文件，并相关法律法规的要求，并切实履行其所做出切实履行其所做出的各项承诺。
的各项承诺。
8、督导上市公司建立健全并有效执行公司治核查了上市公司治理制度建立与执行情况，理制度，包括但不限于股东大会、董事会、监上市公司《公司章程》、三会议事规则等制度事会议事规则以及董事、监事和高级管理人符合相关法规要求，本持续督导期间，上市公员的行为规范等。司有效执行了相关治理制度。
29、督导上市公司建立健全并有效执行内控制度，包括但不限于财务管理制度、会计核算制核查了上市公司内控制度建立与执行情况，度和内部审计制度，以及募集资金使用、关联上市公司内控制度符合相关法规要求，本持交易、对外担保、对外投资、衍生品交易、对续督导期间，上市公司有效执行了相关内控子公司的控制等重大经营决策的程序与规则制度。
等。
10、督导上市公司建立健全并有效执行信息
保荐机构督促上市公司严格执行信息披露制
披露制度，审阅信息披露文件及其他相关文度，审阅信息披露文件及其他相关文件，详见件，并有充分理由确信上市公司向上海证券“二、保荐机构对上市公司信息披露审阅的交易所提交的文件不存在虚假记载、误导性情况”。
陈述或重大遗漏。
11、对上市公司的信息披露文件及向中国证
监会、上海证券交易所提交的其他文件进行事前审阅，对存在问题的信息披露文件应及详见“二、保荐机构对上市公司信息披露审阅时督促上市公司予以更正或补充，上市公司的情况”。
不予更正或补充的，应及时向上海证券交易所报告。
12、对上市公司的信息披露文件未进行事前审阅的，应在上市公司履行信息披露义务后五个交易日内，完成对有关文件的审阅工作，详见“二、保荐机构对上市公司信息披露审阅对存在问题的信息披露文件应及时督促上市的情况”。
公司更正或补充，上市公司不予更正或补充的，应及时向上海证券交易所报告。
13、关注上市公司或其控股股东、实际控制本持续督导期间，上市公司或其控股股东、实
人、董事、监事、高级管理人员受到中国证监际控制人、董事、监事、高级管理人员未受到
会行政处罚、上海证券交易所监管措施或纪中国证监会行政处罚、上海证券交易所纪律
律处分的情况，并督促其完善内部控制制度，处分或者被上海证券交易所出具监管关注函采取措施予以纠正。的情况。
14、关注上市公司及控股股东、实际控制人等
履行承诺的情况，上市公司及控股股东、实际控制人等未履行承诺事项的，应及时向上海证券交易所报告。
上市公司或其控股股东、实际控制人作出承诺的，保荐机构、保荐代表人应当督促其对承本持续督导期间，上市公司及控股股东、实际诺事项的具体内容、履约方式及时间、履约能控制人等不存在未履行承诺的情况。
力分析、履约风险及对策、不能履约时的救济上市公司或其控股股东、实际控制人已对承
措施等方面进行充分信息披露。诺事项的具体内容、履约方式及时间、履约能保荐机构、保荐代表人应当针对前款规定的力分析、履约风险及对策、不能履约时的救济
承诺披露事项，持续跟进相关主体履行承诺措施等方面进行充分信息披露。
的进展情况，督促相关主体及时、充分履行承诺。
上市公司或其控股股东、实际控制人披露、履
行或者变更承诺事项，不符合法律法规、上市规则以及上海证券交易所其他规定的，保荐3机构和保荐代表人应当及时提出督导意见，
并督促相关主体进行补正。
15、关注公共传媒关于上市公司的报道，及时
针对市场传闻进行核查。经核查后发现上市公司存在应披露未披露的重大事项或与披露
本持续督导期间，上市公司未出现该等事项。
的信息与事实不符的，应及时督促上市公司如实披露或予以澄清；上市公司不予披露或澄清的，应及时向上海证券交易所报告。
16、发现以下情形之一的，应督促上市公司做
出说明并限期改正，同时向上海证券交易所报告：
（一）上市公司涉嫌违反《上市规则》等上海证券交易所相关业务规则；
（二）中介机构及其签名人员出具的专业意
见可能存在虚假记载、误导性陈述或重大遗本持续督导期间，上市公司及相关主体未出漏等违法违规情形或其他不当情形；现该等事项。
（三）上市公司出现《保荐业务管理办法》第
七十一条、第七十二条规定的情形；
（四）上市公司不配合保荐机构持续督导工作；
（五）上海证券交易所或保荐机构认为需要报告的其他情形。
17、制定对上市公司的现场检查工作计划，明保荐机构制定了对上市公司的现场检查工作
确现场检查工作要求，确保现场检查工作质计划，明确现场检查工作要求。保荐机构于量。保荐机构对上市公司的定期现场检查每2024年3月27日对上市公司进行了现场检年不应少于一次，负责该项目的两名保荐代查，负责该项目的两名保荐代表人有1人参表人至少应有一人参加现场检查。加了现场检查。
18、重点关注上市公司是否存在如下事项：
（一）存在重大财务造假嫌疑；
（二）控股股东、实际控制人及其关联人涉嫌资金占用；
（三）可能存在违规担保；
（四）控股股东、实际控制人及其关联人、董
事、监事或者高级管理人员涉嫌侵占上市公司利益；
（五）资金往来或者现金流存在重大异常；本持续督导期间，上市公司未出现该等事项。
（六）本所或者保荐人认为应当进行现场核查的其他事项。
出现上述情形的，保荐机构及其保荐代表人应当督促公司核实并披露，同时应当自知道或者应当知道之日起15日内按规定进行专项现场核查。公司未及时披露的，保荐机构应当及时向上海证券交易所报告。
419、识别并督促上市公司披露对公司持续经
本持续督导期间，上市公司及相关主体未出营能力、核心竞争力或者控制权稳定有重大现该等事项。
不利影响的风险或者负面事项，并发表意见
20、关注上市公司股票交易异常波动情况，督
本持续督导期间，上市公司及相关主体未出促上市公司按照本规则规定履行核查、信息现该等事项。
披露等义务
21、对上市公司存在的可能严重影响公司或
本持续督导期间，上市公司及相关主体未出者投资者合法权益的事项开展专项核查，并现该等事项。
出具现场核查报告
22、上市公司日常经营出现下列情形的，保荐
机构、保荐代表人应当就相关事项对公司经营的影响以及是否存在其他未披露重大风险
发表意见并披露：
（一）主要业务停滞或出现可能导致主要业务停滞的重大风险事件；
（二）资产被查封、扣押或冻结；
本持续督导期间，上市公司及相关主体未出
（三）未能清偿到期债务；
现该等事项。
（四）实际控制人、董事长、总经理、财务负责人或核心技术人员涉嫌犯罪被司法机关采取强制措施；
（五）涉及关联交易、为他人提供担保等重大事项；
（六）本所或者保荐机构认为应当发表意见的其他情形。
23、上市公司业务和技术出现下列情形的，保
荐机构、保荐代表人应当就相关事项对公司
核心竞争力和日常经营的影响，以及是否存本持续督导期间，上市公司新增丛海、陶珩、在其他未披露重大风险发表意见并披露：姜勇、陈煌琳、刘志强、何伟业为公司核心技
（一）主要原材料供应或者产品销售出现重术人员，原核心技术人员杜志游、麦仕义、李
大不利变化；天笑因工作职责调整，不再认定为公司核心
（二）核心技术人员离职；技术人员，但仍继续在公司任职。本次核心技
（三）核心知识产权、特许经营权或者核心技术人员调整，有助于公司各项研发项目有序
术许可丧失、不能续期或者出现重大纠纷；高效推进不会对公司核心竞争力和日常经营
（四）主要产品研发失败；造成不利影响，详见上市公司于2023年8月（五）核心竞争力丧失竞争优势或者市场出25日公告的《中微半导体设备（上海）股份现具有明显优势的竞争者；有限公司关于调整核心技术人员的公告》。
（六）本所或者保荐机构认为应当发表意见的其他情形。
24、持续关注上市公司建立募集资金专户存保荐机构对上市公司募集资金的专户存储、储制度与执行情况、募集资金使用情况、投资募集资金的使用以及投资项目的实施等承诺
项目的实施等承诺事项，对募集资金存放与事项进行了持续关注，督导公司执行募集资使用情况进行现场检查。金专户存储制度及募集资金监管协议。
525、上市公司及其控股股东、董事、监事、高
级管理人员是否存在未依法规范运作，未切本持续督导期间，上市公司及相关主体未出实保障投资者的合法权益，侵害投资者利益现该等事项。
的情况
2023年度，保荐机构发表核查意见具体情况
如下：
2023年3月31日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2022年度日常关联交易执行情况及2023年度日常关联交易预计的核查意见》；
2023年3月31日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2022年度募集资金存放与使用情况的核查意见》；
2023年4月29日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股
26、保荐机构发表核查意见情况。份有限公司竞购睿励科学仪器（上海）有限公司部分股权暨关联交易的核查意见》；
2023年4月29日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的核查意见》。
2023年8月25日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司调整核心技术人员的核查意见》。
2023年8月25日，保荐机构发表《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司增加2023年度日常关联交易预计额度的核查意见》
27、保荐机构发现的问题及整改情况（如有）不适用
二、保荐机构对上市公司信息披露审阅的情况海通证券持续督导人员对上市公司本持续督导期间的信息披露文件进行了
事先或事后审阅，包括股东大会会议决议及公告、董事会会议决议及公告、监事会会议决议及公告、募集资金使用和管理的相关报告和其他临时公告等文件，对信息披露文件的内容及格式、履行的相关程序进行了检查。
6经核查，保荐机构认为，上市公司严格按照证券监督部门的相关规定进行信息披露，依法公开对外发布各类定期报告或临时报告，确保各项重大信息的披露真实、准确、完整、及时，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。
三、重大风险事项
2023年度，公司未发生重大风险事项。公司目前面临的风险因素主要如下：
（一）经营风险
1、下游客户资本性支出波动较大及行业周期性特点带来的风险近年来，设备市场周期性波动态势给公司带来相应的经营风险。在行业景气度提升过程中，产业往往加大资本性支出，快速提升对相关设备的需求；在行业景气度下降过程中，产业则可能削减资本支出，进而对设备的需求产生不利影响。
公司的销售和盈利情况也会受到上述影响发生相应波动，造成相应的经营风险。
2、下游客户扩产不及预期的风险近年来，晶圆厂和 LED 外延片制造商审慎地进行扩产。不能排除下游个别晶圆厂和 LED 外延片制造商的后续投资不及预期，对相关设备的采购需求减弱，这将影响公司的订单量，进而对公司的业绩产生不利影响。
3、全体员工持股带来的公司治理风险
作为科技创新型企业，公司秉承扁平化的全员激励原则，对不同层级员工均给予股权激励。员工持股计划涉及公司全体员工的个人利益，在员工持股计划限售期届满后，如何实现员工保持相当的激励水平，对公司的管理能力提出了一定的挑战。如果未来公司未能有效地管理员工持股计划，未能使员工持股计划持续作为员工整体薪酬的重要组成部分，将可能导致公司人员流失等治理风险。
在实施过程中，公司根据企业会计准则相关规定确认股份支付费用，上市后相关股份支付费用计入经常性损益，该等费用将对归属期内各年度扣非后净利润
7构成一定影响。由此，发行人实施员工持股计划可能面临股份支付费用影响短期
经营业绩的风险。
4、政府补助与税收优惠政策变动的风险
公司自成立以来先后承担了多项国家和地方重大科研项目。如果公司未来不能持续获得相关支持，将会对公司经营业绩产生不利影响。
公司为高新技术企业，报告期内公司享受高新技术企业15%所得税的优惠税率，如果国家上述税收优惠政策发生变化，或者公司未能持续获得高新技术企业资质认定，则可能面临因税收优惠减少或取消而降低盈利的风险。
（二）行业风险
1、行业政策变化风险
国家出台了一系列鼓励政策以推动我国集成电路、LED 及其装备制造业的发展，增强信息产业创新能力和国际竞争力。若未来国家相关产业政策支持力度减弱，将对公司发展产生一定影响。
2、国际贸易摩擦加剧风险近年来，国际贸易摩擦不断。公司始终严格遵守中国和他国法律，一直保持与相关国家政府部门的及时沟通。由于少数国家不断加强对中国半导体方面的出口管制限制，公司存在一定的国际贸易摩擦风险。
3、上游供应链产能紧张的风险近年来，随着全球经济和日常生活的加速数字化转型，半导体行业保持高景气周期，半导体器件供应链持续紧张。公司科学管理供应厂商，对关键零部件供应商采取多厂商策略保障零部件及时供应。若未来上游供应链产能紧张形势延续，将对公司设备交期产生不利影响。
（三）其他风险
1、知识产权风险
8半导体设备行业是典型的技术密集型行业，为了保持技术优势和竞争力，防
止技术外泄风险，已掌握先进技术的半导体设备企业通常会通过申请专利等方式设置较高的进入壁垒。公司一贯重视自主知识产权的研发，建立了科学的研发体系及知识产权保护体系，但仍不能排除与竞争对手产生知识产权纠纷，亦不能排除公司的知识产权被侵权，此类知识产权争端将对公司的正常经营活动产生不利影响。
公司在全球范围内销售产品，在多个国家或地区注册知识产权，但不同国别、不同的法律体系对知识产权的权利范围的解释和认定存在差异，若引发争议甚至诉讼将影响业务经营。
此外，产业链上下游供应商与客户的经营也可能受知识产权争议、诉讼等因素影响，进而间接影响公司正常的生产经营。
2、人才资源风险
关键技术人员是公司生存和发展的关键，也是公司获得持续竞争优势的基础。公司已经通过全员持股方式，有效提高关键人员和研发团队的忠诚度和凝聚力。但随着行业对专业人才的需求与日俱增，人才竞争不断加剧。若公司不能提供优质的发展平台、有竞争力的薪酬待遇及良好的研发条件，存在关键人员流失的风险，进而可能对公司研发项目的实施和进程等方面造成一定的影响。
公司拥有大量技术和管理资深专家，集聚并培养了一大批行业内顶尖的技术人才。但如果未能持续引进、培养、激励顶尖技术人才，公司将面临专业技术人才不足的风险，进而可能导致在技术突破、产品创新方面有所落后。
此外，创始人团队对公司日常生产经营及技术研发具有重要作用，公司十分注重保障创始人团队的稳定性，创始人团队在可预期的未来发生变动的可能性较低，但如公司创始人团队出现重大变动，将可能对公司的在研项目进程、客户关系维护、日常经营管理等方面造成一定的影响。
3、投资及并购风险
针对契合中微公司的中长期发展战略、有发展潜力的标的公司或部门，中微公司计划通过股权投资、并购等方式进行布局，以拓展公司业务领域，培育新的
9利润增长点，进一步提升公司防范市场波动风险并提升公司盈利能力。在进行投
资和并购项目实施过程中，将面临投资风险及并购风险。
（1）投资风险
基于产业支持政策、市场环境和发展趋势，公司经过充分的可行性研究作出项目投资决策。公司投资项目标的企业在后续发展过程中，可能面临产业政策变化、市场环境变化、产品技术水平不达预期等诸多不确定因素，可能导致其实际经营表现不达预期，进而导致投资项目的实际效益与预期结果存在较大差异。
（2）并购风险
公司强调稳健发展，坚持实施内生性增长与外延式并购相结合的发展策略。
虽然公司未来并购时将继续秉承审慎原则，相应制定整合计划，防范并购风险，但若出现宏观经济波动、市场竞争加剧、被并购公司业绩低于预期或协同效应未
出现等情形，将对公司的经营业绩产生不利影响。
四、重大违规事项
2023年度，公司不存在重大违规事项。
五、主要财务指标的变动原因及合理性
2023年度，公司主要会计数据如下所示：
单位：万元
2023年度/20232022年度/2022本期比上年同期增
主要会计数据
年末年末减(%)
营业收入626351.36473983.1032.15%
归属于上市公司股东的净利润178590.80116979.2452.67%归属于上市公司股东的扣除非经常性
119143.4891945.8529.58%
损益的净利润
经营活动产生的现金流量净额-97679.1961752.34-258.18%
归属于上市公司股东的净资产1782612.291548393.1915.13%
总资产2152554.662003478.157.44%
2023年度，公司主要财务指标如下所示：
1020232022本期比上年同期增减主要财务指标年年(%)
基本每股收益（元／股）2.891.9052.11%
稀释每股收益（元／股）2.891.9052.11%扣除非经常性损益后的基本每股收益（1.931.4929.44%元／股）
加权平均净资产收益率（%）10.72%7.94%增加2.78个百分点
扣除非经常性损益后的加权平均净资产7.15%6.24%增加0.91个百分点
收益率（%）
研发投入占营业收入的比例（%）20.15%19.59%增加0.56个百分点
1、营业收入较2022年增加约15.24亿元，同比增长约32.15%。其中，2023年刻蚀设备销售约 47.03 亿元，同比增长约 49.43%；MOCVD 设备销售约 4.62亿元，同比下降约33.95%。
2、归属于母公司所有者的净利润约17.86亿元，较上年同期增加52.67%主
要系：2023年收入增长和毛利维持较高水平，公司扣非后归母净利润较上年同期增加约2.72亿元。2023年非经常性损益约5.94亿元，较上年同期的2.50亿元增加约3.44亿元。非经常性损益的变动主要系公司于2023年出售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生税后净收益约4.06亿元。
3、归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约11.91亿元，较上
年同期增加29.58%，主要系：2023年营业收入约62.64亿元，较2022年增加约
15.24亿元，同比增长约32.15%；2023年毛利约28.70亿元，较2022年增加约
7.02亿元，同比增长约32.40%。
4、经营活动产生的现金流量净额由去年同期的61752.34万元，下降至-
97679.19万元，主要系：公司刻蚀设备的收款政策主要为发货后收取85%~90%货款，客户调试验收后收取剩余尾款，本期公司刻蚀设备新增订单约69.5亿元，同比增长约60.1%，但由于销售合同签署和客户对设备搬入时间要求等因素，大部分新签的刻蚀设备仍在生产过程中尚未发货，因此公司收到刻蚀设备的发货款较上年减少；此外，原材料采购增加和员工人数增长下薪酬增加导致公司现金支付较上年增加。
5、基本每股收益同比提升52.11%，主要系公司净利润增长所致。
11六、核心竞争力的变化情况
本持续督导期间，公司核心竞争力未发生变化。
七、研发支出变化及研发进展
（一）研发支出变化情况
公司面向世界先进技术前沿，以国际先进的研发理念为依托，专注于高端微观加工设备的自主研发和创新。公司始终保持大额的研发投入和较高的研发投入占比。公司具有一支技术精湛、勇于创新的国际化人才研发队伍，形成了良好的企业创新文化，为公司持续创新和研发提供保障力量。
公司坚持自主创新，产品布局及技术研发面向世界科技前沿。报告期内，公司继续保持较高的研发投入，与国内外一流客户保持紧密合作，相关设备产品研发进展顺利、客户端验证情况良好。2023年公司研发投入为12.62亿元，相较去年同期增长35.89%，占收入比例为20.15%。
（二）研发进展
公司积累了深厚的技术储备和丰富的研发经验，这一优势保证了公司产品和服务的不断进步。公司拥有多项自主知识产权和核心技术，截至2023年12月，公司已申请2551项专利，其中发明专利2161项；已获授权专利1570项，其中发明专利1329项。
在逻辑集成电路制造环节，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中若干关键步骤的加工；同时，公司根据先进集成电路厂商的需求持续进行设备开发和工艺优化。在
3D NAND 芯片制造环节，公司的等离子体刻蚀设备已应用于 128 层及以上的量产，同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺；
公司也根据逻辑器件客户的需求，正在开发更先进刻蚀应用的设备。公司的MOCVD 设备 Prismo A7、Prismo UniMax能分别实现单腔单腔 34 片 4 英寸和
41 片 4 英寸外延片加工能力。公司的 Prismo A7 与 Prismo UniMax设备技术实力突出，已在全球氮化镓基 LED MOCVD 市场中占据领先地位。公司和诸多一
12流的 LED 外延片厂商公司紧密合作，实现了产业深度融合。公司开发的 12 英寸
低压薄膜沉积设备可以用于先进逻辑电路接触孔填充工艺，以及128层及以上
3D NAND 的多个工艺的制程要求，同时公司还致力于更先进逻辑电路的接触孔
填充设备和更多层数的存储器件接触孔和金属互联填充设备的开发和工艺验证。
公司高端设备产品和技术处于世界先进水平，产品研发提前布局，符合行业发展趋势。
八、新增业务进展是否与前期信息披露一致不适用。
九、募集资金的使用情况是否合规
（一）2019年首次公开发行股票募集资金
截至2023年12月31日，公司首发募集资金专户余额为人民币2587.58万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
项目金额（万元）
首发募集资金专户年初余额1913.97
加：年初用于现金管理金额45000.00
首发募集资金年初余额46913.97
减：本年度直接投入募投项目-
减：募投项目结项资金转出-
加：募集资金利息收入扣减手续费净额673.61
减：年末用于现金管理的金额45000.00
首发募集资金专户年末余额2587.58
（二）2020 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
截至2023年12月31日，公司再融资募集资金专户余额为人民币43851.80万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
项目金额（万元）
再融资募集资金专户年初余额674669.80
13减：本年度直接投入募投项目111238.45
加：募集资金利息收入扣减手续费净额16412.74
减：年末用于现金管理的金额535992.30
再融资募集资金专户期末余额43851.80公司2023年度募集资金存放与使用情况符合《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，募集资金具体使用情况与公司已披露情况一致，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情形，募集资金管理和使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。
十、控股股东、实际控制人、董事、监事和高级管理人员的持股、质押、冻结及减持情况
截至2023年12月31日，公司无控股股东、实际控制人，公司董事、监事、高级管理人员和核心技术人员持有公司股份变动的情况如下：
年度内股年初持股年末持股数份增减变增减变动姓名职务数（股）（股）动量原因
（股）
董事长、总经
尹志尧理、核心技术55707664559436-1011330减持人员
董事、副总经
杜志游理、核心技术18643261398326-466000减持人员（离任）
副总经理、核
倪图强1139358934358-205000减持心技术人员
财务负责人、
陈伟文872142654242-217900减持副总经理减持，实杨伟核心技术人员1001770585517-416253施股权激励
14实施股权
陈煌琳核心技术人员203078205790激励实施股权刘志强核心技术人员057905790激励减持，实核心技术人员
李天笑19371571663782-273375施股权激（离任）励减持，实核心技术人员
麦仕义22121061851326-360780施股权激（离任）励
2023年度，公司董事、监事、高级管理人员和核心技术人员被授予的股权激
励情况如下：
年初已获报告期新期末已获报告期内报告期内授予限制授予限制授予限制姓名职务可归属数已归属数性股票数性股票数性股票数量量量量量
董事长、总经
尹志尧理、核心技术人10112011070025280-211820员
董事、核心技术
陶珩422994450019949-71799人员
董事、核心技术
丛海309053280014634-52651人员
副总经理、核心
倪图强412006170010300-102900技术人员
副总经理、财务
陈伟文39400445009850-83900负责人
副总经理、董事
刘晓宇29800445007450-74300会秘书杨伟核心技术人员6050029420295002950060420姜勇核心技术人员326271674615393960333980陈煌琳核心技术人员326942325515410962040539刘志强核心技术人员2288515444154447441何伟业核心技术人员12559292529259634
合计/41054544356516613567092749384
十一、上市公司是否存在《保荐业务管理办法》及上海证券交易所相关规则规定应向中国证监会和上海证券交易所报告或应当发表意见的其他事项15经核查，截至本持续督导跟踪报告出具之日，上市公司不存在按照《保荐业务管理办法》及上海证券交易所相关规则规定应向中国证监会和上海证券交易所报告或应当发表意见的其他事项。
（以下无正文）
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